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濕法制程整體解決方案提供商

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發(fā)布時間: 2016 - 03 - 10
太陽能硅片制絨腐蝕清洗機-CSE在光伏發(fā)電領(lǐng)域,由于多晶硅電池片成本較低,其 市 場 占有率已躍居首位,但相對于單晶硅電池片而言仍存在著反 射率較高、電池效率不足的缺陷。為縮小多晶硅太陽能電池 片與單晶硅太陽能電池片之間的差距,采用織構(gòu)化多晶硅表 面的方法提高多晶硅片吸光能力是一條行之有效的途徑。目前,多晶硅表面織構(gòu)化的方法主要有機械刻槽、激光刻槽、反應(yīng)離子體蝕刻、酸腐蝕制絨等,其中各 向同性酸腐制絨技術(shù)的工藝簡單,可以較容易地整合到多晶 硅太陽能電池的生產(chǎn)工序中,同時成 本 最 低,因 而 在 大 規(guī) 模 的工業(yè)生產(chǎn)中得到了廣泛的應(yīng)用。更多的太陽能硅片制絨腐蝕清洗機設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導(dǎo)體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 12 - 05
花籃/片盒清洗機-華林科納CSE 完美適應(yīng)當(dāng)前所有型號的花籃和片盒、傳輸片盒、前端開口片盒(Foup片盒)的清洗和干燥系統(tǒng)優(yōu)點裝載晶圓直徑至200mm的花籃和片盒—或不同晶圓尺寸的花籃和片盒,同時可裝載晶圓直徑至300mm的前端開口片盒(Foup片盒)三種設(shè)備尺寸滿足客戶特殊需求 CleanStep I – 用于4組花籃和片盒加載和清洗能力:每次4組花籃和片盒清洗產(chǎn)能:每小時12組花籃和片盒 CleanStep II – 用于8組花籃和片盒加載和清洗能力:每次8組花籃和片盒清洗產(chǎn)能:每小時24組花籃和片盒 CleanStep III – 用于6組前端開口片盒(Foup)加載和清洗能力:每次6組前端開口片盒(Foup片盒)清洗產(chǎn)能:每小時18組前端開口片盒(Foup片盒) 適用于晶圓直徑至200mm的花籃和片盒的標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)籠(Cleanstep I/II) 適用于所有片盒一次清洗過程 或是同時4組花籃和片盒,或是12個花籃(Cleanstep I/II) 簡單快捷的對不同尺寸的片盒和花籃進行切換 旋轉(zhuǎn)籠內(nèi)的可旋轉(zhuǎn)載體方便加載或卸載花籃和片盒 通過控制系統(tǒng)對自鎖裝置的檢測,達到安全加載片盒和花籃,及其運行特征和優(yōu)點可應(yīng)用不同化學(xué)品(稀釋劑)來清洗 泵傳輸清洗液 計量調(diào)整可通過軟件設(shè)置控制操作熱水噴淋裝置 熱水一般由廠務(wù)供應(yīng) — 標(biāo)準(zhǔn)化 或有一個體積約100升的熱水預(yù)備槽(循環(huán)泵和加熱棒用于熱水預(yù)備槽—選項) 籠子 帶有可變速旋轉(zhuǎn)的控制的高扭矩伺服電機(按照加載量和設(shè)備配置,最大旋轉(zhuǎn)速度200rpm,) 旋轉(zhuǎn)的不銹鋼籠子 會自動停止工作(運行過程中出現(xiàn)失衡狀態(tài)時)熱空氣干燥 頂端吹下熱空氣 采用根據(jù)設(shè)備待機和工藝運行模式的可調(diào)風(fēng)量的風(fēng)扇裝置 不銹鋼架上裝有加熱器,可以溫度控制 軟件監(jiān)控溫度 帶有反壓控制的高效過濾器輔助功能和操作控制 觸摸屏安裝在前面—標(biāo)準(zhǔn)化 也...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
RCA濕法腐蝕清洗機設(shè)備——華林科納CSE華林科納CSE濕法處理設(shè)備是國內(nèi)最早致力于集成電路濕法設(shè)備的研制單位,多年來與眾多的集成電路生產(chǎn)企業(yè)密切合作,研制開發(fā)出適合于4吋-8吋的全自動系列濕法處理設(shè)備設(shè) 備 名  稱華林科納(江蘇)CSE-RCA濕法腐蝕清洗機使 用 對 象硅晶片2-12inch適 用 領(lǐng)  域半導(dǎo)體、太陽能、液晶、MEMS等設(shè) 備 用 途硅晶片化學(xué)腐蝕和清洗的設(shè)備主體構(gòu)造特點1. 設(shè)備包括:設(shè)備主體、電氣控制部分、化學(xué)工藝槽、純水清洗槽等;并提供與廠務(wù)供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統(tǒng)配套的接口等。2.設(shè)備為半敞開式,主體使用進口WPP15和10mm厚板材,結(jié)構(gòu)設(shè)計充分考慮長期工作在酸腐蝕環(huán)境,堅固耐用,雙層防漏,機臺底盤采用德國產(chǎn)瓷白PP板,熱焊接而成,可長期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中3.主體:設(shè)備為半敞開式,主體使用進口WPP15和10mm厚板材,結(jié)構(gòu)設(shè)計充分考慮長期工作在酸腐蝕環(huán)境,堅固耐用,雙層防漏,機臺底盤采用德國產(chǎn)瓷白PP板,熱焊接而成,可長期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中;4.骨 架:鋼骨架+PP德國勞施領(lǐng)板組合而成,防止外殼銹蝕。5.儲物區(qū):位于工作臺面左側(cè),約280mm寬,儲物區(qū)地板有漏液孔和底部支撐;6.安全門:前側(cè)下開透明安全門,腳踏控制;7.工藝槽:模組化設(shè)計,腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統(tǒng)一的承漏底盤中。底盤采用滿焊接工藝加工而成,杜絕機臺的滲漏危險;8.管路系統(tǒng):位于設(shè)備下部,所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標(biāo)簽注明;藥液管路采用PFA管,純水管路采用白色NPP噴淋管,化學(xué)腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過專用管道排放;9.電氣保護:電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機臺頂部電控區(qū),電氣元件有充分的防護以免酸霧腐蝕以保障設(shè)備性能運行穩(wěn)定可靠;所有可能與酸霧接...
發(fā)布時間: 2020 - 04 - 21
拋光液供液系統(tǒng)//拋光液供酸系統(tǒng)//拋光液供液設(shè)備//拋光液供酸設(shè)備設(shè)備功能1.提供拋光液和表面活性劑供應(yīng)緩存桶,從而保證設(shè)備工藝流量穩(wěn)定;2.提供溫度,PH值控制,以滿足拋光設(shè)備的工藝需求;3.滿足stock slurry循環(huán)使用需求;特點:1.所有Tank箱體采用SUS304框架+米黃PVC 保管,需配置排氣,排液,排漏以及漏液檢測報警。2.Tank材質(zhì)采用NPP或PVDF以上,管道使用PFA,選用材料對slurry無顆粒和金屬污染(包括Pump內(nèi)部與Slurry接觸部分);3.Stock slurry tank配置chiller(指定ORION CHILLER)和heater,4.Tank內(nèi)的 Slurry 以及Surfactant處于常時循環(huán)狀態(tài), 供應(yīng)設(shè)備管路末端有壓力表;5.為檢測Tank內(nèi) Slurry 以及Surfactant的容量(Level), 配置***個**液位傳感器;6.所有Tank配置水槍,同時slurry桶上部能開啟,以方便沖洗Tank。7.所有的 Tank內(nèi)要配置溫度和PH sensor,同時需要將數(shù)據(jù)同步傳送給設(shè)備主機;8.Tank使用控制面板進行顯示和操作控制。 供液泵使用磁力泵或磁浮泵,滿足現(xiàn)場實際揚程,流量等能力需求。9. 每個tank外部供應(yīng)管路配置有自動配送閥并由設(shè)備自我控制。更多拋光液供液系統(tǒng)//拋光液供酸系統(tǒng)//拋光液供液設(shè)備//拋光液供酸設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司官網(wǎng)regal-bio.cn,熱線0513-87733829
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 19
片盒清洗機-華林科納CSE 設(shè)備概況:主要功能:本設(shè)備主要手動/自動搬運方式,通過對片盒化學(xué)液體浸泡、沖洗、漂洗、鼓泡、快排等方式進行處理,從而達到一個用戶要求的效果。設(shè)備名稱:片盒清洗機設(shè)備型號:CSE-SC-N259整機尺寸(參考):約1700mm(L)×1400mm(W)×2000mm(H);(該設(shè)備非標(biāo)定制)操作形式:手動 設(shè)備組成該設(shè)備主要由清洗部分、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成 設(shè)備描述此裝置是一個手動的處理設(shè)備;設(shè)備前上方有各閥門、工藝流程的控制按鈕、指示燈、觸摸屏(PROFACE/OMRON)、音樂盒等,操作方便;主體材料:德國進口 10mmPP 板,優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架,外包 3mmPP 板防腐;臺面板為德國 10mm PP 板;DIW 管路及構(gòu)件采用日本進口 clean-PVC 管材,需滿足 18MW去離子水水質(zhì)要求;采用國際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工,焊接組裝均在萬級凈化間內(nèi)完成排風(fēng):位于機臺后上部工作照明:上方防酸照明安全考慮:1. 設(shè)有 EMO(急停裝置)2. 強電弱點隔離3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面4. 設(shè)備排風(fēng)口加負壓檢測表5. 設(shè)備三層防漏 漏盤傾斜 漏液報警 設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi) 更多的花籃和片盒清洗機設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096 18913575037可立即獲取免費的片盒清洗機解決方案。
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
自動供液系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-CDS自動供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J?、自動控制模式設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動供液系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N2601設(shè)計基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間: 2016 - 06 - 13
設(shè)備名稱:晶棒腐蝕機---CSE產(chǎn)品描述:        ●此設(shè)備自動化程度高,腐蝕清洗裝置主要由水平通過式腐蝕清洗主體(槽體部分/管路部分等),移動機械傳送裝置,CDS系統(tǒng),抽風(fēng)系統(tǒng),電控及操作臺等部分組成;         ●進口優(yōu)質(zhì)透明PVC活動門(對開/推拉式),保證設(shè)備外部環(huán)境符合勞動保護的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),以保證設(shè)備操作人員及其周圍工作人員的身體健康;         ●機械臂定位精度高;         ●整體設(shè)備腐蝕漂洗能力強,性能穩(wěn)定,安全可靠;         ●設(shè)備成本合理,自動化程度高,使用成本低;技術(shù)先進,結(jié)構(gòu)合理,適宜生產(chǎn)線上大批次操作.         ●非標(biāo)設(shè)備,根據(jù)客戶要求具體定制,歡迎詳細咨詢!更多半導(dǎo)體清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlcas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導(dǎo)體清洗解決方案。
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Marangoni 干燥 Marangoni 馬蘭戈尼干燥是基于 Marangoni 效應(yīng)發(fā)展起來的干燥技術(shù)。典型的 Marangoni 干燥過程如圖 4 所示。晶片進入干燥系統(tǒng)后,在水槽內(nèi)溢流。由氮氣攜帶 IPA 氣體充滿系統(tǒng),在水面上形成 IPA 氣體環(huán)境。隨后晶片與水面緩慢脫離(可通過晶片提拉上升或緩慢排水兩種方式實現(xiàn)) 由于 IPA 的表面張力比水小得多(25 ℃下,IPA 表面張力為 20.9×10-3  N/m;水的表面張力為 72.8×10-3  N/m),所以會在坡狀水流表層形成表面張力梯度,產(chǎn)生 Marangoni 對流,水被“吸回”水面,如下圖所示 雖然同樣是 IPA 干燥,但是 Marangoni 干燥與 IPA Vapor 干燥有本質(zhì)的不同,前者是通過表面張力梯度將水拉回水面,后者則是靠水的蒸發(fā)。 相比于IPA Vapor 干燥 ,Marangoni 干燥IPA 用量很少,且能夠克服深窄溝渠的脫水困難,比較適合直徑 150 mm ( 6 英寸) 以上晶片的干燥。Marangoni 干燥存在的問題是晶片易出現(xiàn)水痕缺陷,晶片與晶舟接觸處、晶片下方是常見的水痕區(qū)域 。為消除水痕缺陷,這類設(shè)備中一般配備簡易晶舟,以減少晶片與晶舟的接觸面積,另外,采用溫水浴、超聲波震蕩 IPA Bub- bler 和變速提拉等也是常用的消除水痕缺陷的手段。Marangoni 干燥(馬蘭戈尼干燥)受多種因素影響,如晶片的提拉速度,IPA/N2  流量和排風(fēng)的設(shè)置等,因此此種方法技術(shù)難度較高。作為濕制程設(shè)備制造商,華林科納(...
在線加熱器由過濾器改制而成,加熱絲有進口加熱絲和國產(chǎn)加熱絲之分,采用低溫拉絲工藝,保證產(chǎn)品的尺寸,且有效防止加熱絲由于在加工過程中產(chǎn)生損耗,導(dǎo)致本身壽命的降低。加熱絲經(jīng)過加工后,進行表面拉鐵氟龍材質(zhì)進行保護??梢栽谌魏位瘜W(xué)品中進行加熱。鐵氟龍材質(zhì)采用大金原材料,保證了產(chǎn)品的質(zhì)量,且會按照客戶使用提出更加合適的鐵氟龍配方,應(yīng)對各種復(fù)雜的應(yīng)用場景。 加熱絲拉氟完成后,進行計算,按照功率計算出米數(shù),進行后套加工,完成后安裝到在線加熱器當(dāng)中。加熱器帶有華林科納自研的控制器,控制器可是加熱器更加安全有效的工作。本公司生產(chǎn)的加熱器是專門用于各種具有腐蝕作用液體加熱的一種加熱器,采用進口pt100Q,和高溫型k型熱電偶,具有使用壽命長、不腐蝕、不漏電、安全可靠以及優(yōu)良的抗老化性和比較好的繞曲性能等優(yōu)勢;為保證使用安全,接頭采取完全封閉式的設(shè)計,可以有效防酸堿,同時冷端及過熱安全保護系統(tǒng)可完全按照客戶需要定制。
1.外型結(jié)構(gòu)緊湊美觀2.本體重量輕容易安裝3.耐腐蝕性能強,應(yīng)用范圍廣4.材質(zhì)衛(wèi)生無毒5.耐磨損,容易拆卸,維護簡單易行。
隔膜閥采用高流量的緊湊型設(shè)計,隔膜可使流道內(nèi)的腐蝕性介質(zhì)與所有驅(qū)動部件處於完全隔離的狀態(tài),從而杜絕了通常閥門的“跑、冒、滴、漏”等弊端。由于隔膜閥的流道平滑,流阻小,故而可獲得較大的流量。根據(jù)流體,可選膜片:EPDM / FPM / PTFE,因此具有優(yōu)越的耐腐蝕的特點。本閥由閥體、閥蓋、隔膜和其它驅(qū)動零件等組成。
隔膜閥采用高流量的緊湊型設(shè)計,隔膜可使流道內(nèi)的腐蝕性介質(zhì)與所有驅(qū)動部件處於完全隔離的狀態(tài),從而杜絕了通常閥門的“跑、冒、滴、漏”等弊端。由于隔膜閥的流道平滑,流阻小,故而可獲得較大的流量。根據(jù)流體,可選膜片:EPDM / FPM / PTFE,因此具有優(yōu)越的耐腐蝕的特點。本閥由閥體、閥蓋、隔膜和其它驅(qū)動零件等組成。
種植體全自動腐蝕清洗機設(shè)備——華林科納CSE設(shè)備名稱種植體全自動腐蝕清洗設(shè)備適用領(lǐng)域醫(yī)療種植體系統(tǒng)設(shè)備用途種植體化學(xué)腐蝕和清洗的設(shè)備基本介紹主要功能:通過對清洗物腐蝕、噴砂→清洗→酸腐蝕→清洗等方式進行處理,從而達到一個用戶要求的效果設(shè)備形式:室內(nèi)放置型操作形式:自動設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn 0513-87733829;18051335986     在種植體制造過程中,完成種植體的機械塑形后,需要將種植體浸入酸液里,對表面進行陽極處理,它會使表面形成多個孔洞,增進種植體與病人頜骨之間的緊密結(jié)合。經(jīng)歷了酸液的陽極處理后,將會轉(zhuǎn)移到最后一道清潔工序,在清潔槽內(nèi)通過超聲波清洗,形成氣泡和水波,輕輕地刷洗種植體,完成種植體的清潔,完成種植體的成品制造。種植體表面腐蝕清洗的主要目的是要讓鈦更好更快地與人骨結(jié)合,在表面進行涂層處理技術(shù)后,進行表面粗化技術(shù),以便獲得某種粗糙的表面,以增大表面積,這可使頜骨與種植體間的結(jié)合面積大大增加。目前,種植體的表面處理工藝較為常見的基本過程為:清洗→噴砂→清洗→酸腐蝕→清洗,多次清洗是為了實現(xiàn)不同的目的。第一次清洗主要是為了在噴砂前清洗除污,第二次清洗則是為了去除噴砂后殘留雜質(zhì),第三次是為了去除酸腐蝕后的酸液殘留。第二步的噴砂加工工藝,是為了進行表面粗化處理,一般噴砂介質(zhì)為氧化鋁砂,粒度根據(jù)表面粗化特性來定義。第四步的酸腐蝕加工,酸溶液的選擇比較靈活,一般可使用強酸溶液(如硝酸、鉻酸等)、強酸混合溶液(如硫酸和鹽酸混合溶液)、強酸和中強酸混合溶液(如硝酸和氫氟酸混合溶液)等,使用酸液能夠有效地達到粗化目的,又不會在表面上產(chǎn)生有害物質(zhì)。這與半導(dǎo)體集成電路工藝過程中的刻蝕清洗方式極為相似,作為國內(nèi)先進的濕制程專業(yè)制造商,華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司在集成...
紅外器件清洗機設(shè)備名稱:紅外器件清洗機-CSE產(chǎn)品特點:設(shè)備由預(yù)洗槽、超聲波清洗槽、漂洗槽、超聲波電源柜等組成。清洗槽材質(zhì)為不銹鋼,經(jīng)久耐用。預(yù)洗槽底部設(shè)置了壓力噴嘴,使浸泡過程中靜止的液體變?yōu)榱鲃拥囊后w,上下翻滾,形成湍流,有效去除散熱片狹縫中的污物。超聲波清洗槽底部、側(cè)面均設(shè)置了換能器,使被清洗的工件表面得到均勻的聲強。在超聲作用下,采用水劑代替煤油或有機溶劑進行清洗,可顯著降低清洗成本。更多半導(dǎo)體設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備官網(wǎng)regal-bio.cn;現(xiàn)在咨詢400-8768-096,18913575037,可立即免費獲取華林科納CSE提供的設(shè)備相關(guān)方案
溝槽腐蝕機-CSE概述1.1 設(shè)備概況:主要功能:本設(shè)備主要手動搬運方式,通過對si片腐蝕、漂洗、等方式進行處理,從而達到一個用戶要求的效果。1.1.1 設(shè)備名稱:溝槽腐蝕機1.1.2 設(shè)備型號:CSE-SC-N6011.1.3 整機尺寸(參考):約2000mm(L)×1400mm(W)×2000mm(H);1.1.4 被清洗硅片尺寸:5寸/6寸1.1.5 設(shè)備形式:室內(nèi)放置型;1.1.6 操作形式:手動1.2 設(shè)備組成該設(shè)備主要由清洗部分、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成設(shè)備工藝走向:參照本方案臺面布局圖1.3 設(shè)備描述●此裝置是一個半自動的處理設(shè)備?!?.0英寸PROFACE 人機界面顯示 / 檢測 / 操作●主體材料:10mmPP板,優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架,外包3mmPP板防腐;●化學(xué)槽槽體材料:德國勞士領(lǐng) 10mm  PVDF板;●純水槽槽體材料:德國勞士領(lǐng) 10mm  NPP板;●臺面板為10mm PP板(帶有菱形漏液孔);●DIW主管路及構(gòu)件采用日本進口clean-PVC管材,支管路及閥件采用PFA材質(zhì),需滿足18M去離子水水質(zhì)要求;酸 堿管路材質(zhì)為進口PFA/PVDF;●采用國際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工,焊接組裝均在萬級凈化間內(nèi)完成●排風(fēng):位于機臺后下部●工作照明:上方防酸型白光照明●歐姆龍/三菱 PLC控制?!癜踩紤]:1. 設(shè)有EMO(急停裝置), 2. 強電弱點隔離3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面4. 電控箱正壓裝置(CDA Purge)5. 設(shè)備三層防漏  樓盤傾斜   漏液報警  設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi)6. 排放管路加過濾裝置7 排液按鈕具有連鎖功能。啟動排液時,同時切斷泵啟動。8 槽內(nèi)配液位開關(guān),無液不循環(huán)。更多半導(dǎo)體設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備官網(wǎng)regal-bio.cn;現(xiàn)...
陶瓷盤清洗機-CSE設(shè)備名稱:陶瓷盤清洗機-華林科納CSE設(shè)備外型結(jié)構(gòu)及主要參數(shù)  控制模式:  手動控制模式   自動控制模式。                清洗對象:陶瓷盤    設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。  尺寸(參考,詳見圖紙,含地腳):3000  mm(L)× 1500 mm(W)× 2200 mm(H)。  機臺總體結(jié)構(gòu)暫定分為兩部分,機械運行機構(gòu)裝置與機臺前方;機臺前方為清洗工作區(qū)域及機械行走區(qū),機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域,后下方為液路布置區(qū)域。更多半導(dǎo)體設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備官網(wǎng)regal-bio.cn;現(xiàn)在咨詢400-8768-096,18913575037,可立即免費獲取華林科納CSE提供的設(shè)備相關(guān)方案
兆聲波清洗機—華林科納CSE Mega sonic cleaning machine華林科納(江蘇)CSE-兆聲波清洗機 適用于硅晶片 藍寶石晶片 砷化鎵晶片 磷化銦晶片 碳化硅晶片 石英晶片可處理晶片尺寸2'-8';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體 太陽能光伏 液晶等  設(shè)備名稱CSE-兆聲波清洗機類型槽式尺寸(參考)約3500(L)×1350 (W)×2300mm (H)清洗件規(guī)格4” 2籃50片設(shè)備凈重1T運行重量1.5T±10%電源380v 50hz 功率70kw槽體尺寸200mm*400mm*260mm槽數(shù)6個操作方式手動/半自動/全自動適用規(guī)格2英寸-8英寸適用領(lǐng)域半導(dǎo)體、太陽能、液晶等 設(shè)備穩(wěn)定性1、清洗良品率≥99%2、≥0.2um顆粒少于10顆  產(chǎn)品簡介1設(shè)備機架采用不銹鋼骨架外包PP板,耐酸堿腐蝕;2電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部,與濕區(qū)和管路區(qū)完全隔離;3槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料;4機械手探入濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理;5設(shè)備排風(fēng)采用頂部百級FFU送新風(fēng),臺面下抽風(fēng),每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋,槽蓋下有單獨的抽風(fēng)裝置,排風(fēng)口處設(shè)有自動調(diào)節(jié)風(fēng)門,即上電打開風(fēng)門,斷電關(guān)閉風(fēng)門,具有風(fēng)壓檢測功能,以及氮氣、壓縮空氣壓力報警功能;6溶液槽中藥液自動供液按設(shè)定好比例混合,并可在工作過程中根據(jù)設(shè)定補液;客戶根據(jù)自身工藝條件自行設(shè)定;7臺面為多孔結(jié)構(gòu),便于臺面上沖洗水、液的排出;8操作面設(shè)有透明PVC安全門;9設(shè)備設(shè)有漏電、急停、液位、過溫、安全門開、漏液、超時等保護和報警裝置,保證設(shè)備的安全可靠;10配備有進口PFA,水、氣槍各一。 更多半導(dǎo)體兆聲清洗...
片盒清洗機-華林科納CSE 設(shè)備概況:主要功能:本設(shè)備主要手動/自動搬運方式,通過對片盒化學(xué)液體浸泡、沖洗、漂洗、鼓泡、快排等方式進行處理,從而達到一個用戶要求的效果。設(shè)備名稱:片盒清洗機設(shè)備型號:CSE-SC-N259整機尺寸(參考):約1700mm(L)×1400mm(W)×2000mm(H);(該設(shè)備非標(biāo)定制)操作形式:手動 設(shè)備組成該設(shè)備主要由清洗部分、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成 設(shè)備描述此裝置是一個手動的處理設(shè)備;設(shè)備前上方有各閥門、工藝流程的控制按鈕、指示燈、觸摸屏(PROFACE/OMRON)、音樂盒等,操作方便;主體材料:德國進口 10mmPP 板,優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架,外包 3mmPP 板防腐;臺面板為德國 10mm PP 板;DIW 管路及構(gòu)件采用日本進口 clean-PVC 管材,需滿足 18MW去離子水水質(zhì)要求;采用國際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工,焊接組裝均在萬級凈化間內(nèi)完成排風(fēng):位于機臺后上部工作照明:上方防酸照明安全考慮:1. 設(shè)有 EMO(急停裝置)2. 強電弱點隔離3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面4. 設(shè)備排風(fēng)口加負壓檢測表5. 設(shè)備三層防漏 漏盤傾斜 漏液報警 設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi) 更多的花籃和片盒清洗機設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096 18913575037可立即獲取免費的片盒清洗機解決方案。
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