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發(fā)布時間: 2016 - 03 - 14
2設備構(gòu)成及詳細技術說明2.1工藝說明 2.2.臺面結(jié)構(gòu)圖如下      3.設備說明3.1 排風系統(tǒng)?●排風裝置(排風壓力、風量根據(jù)實際情況或客戶要求設計)將設備內(nèi)揮發(fā)的有毒氣體抽到車間排風管道或戶外(室外排放遵守國家環(huán)保要求),避免擴散到室內(nèi);?●排風通道內(nèi)設有風量導流板,從而使排風效果達到最佳;?●本體頂部后方自帶強力抽風1個風道口裝置(每個藥劑槽對應一個),排風口直徑大于或等于 200mm 與本體焊成一體;?●排風口處設有手動調(diào)節(jié)風門,操作人員可根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風量;3.2設備防護門:?●本體前方安裝有防護隔離門,隔離門采用透明PVC板制成,前門可以輕松開合,在清洗過程中,隔離門關閉,以盡量改善工作環(huán)境并減小對人體的傷害. ?●形式:上下推拉門。3.3 給排水/廢液系統(tǒng)?●給水管路為一路去離子水;?●給排水排廢接頭均為活性連接;?●排放方式均采用氣動控制的方式來保證安全3.4 電氣控制系統(tǒng)?●采用優(yōu)質(zhì)PLC可編程控制器控制全操作過程, ?●人機界面為觸摸屏,接口中有手動操作、故障報警、安全保護等功能,各工作位過程完成提前提示報警,觸摸屏選用優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品;?●觸摸屏加鎖定,以防非授權(quán)人員修改或設定參數(shù);?●所有電控部分需獨立封閉,帶抽風系統(tǒng),獨立的配電柜?●設備照明:設備其它部位--低電壓燈,根據(jù)工作需要可控照明;?●設備整體采取人性化設計,方便操作;并裝有漏電保護和聲光報警提示裝置,保證性能安全可靠;電控部分導線采用耐高溫、耐腐蝕的專用導線,電氣控制部分內(nèi)部還通有壓縮空氣保護,可防水耐腐蝕;?●設備所有處于腐蝕腔中的線纜均通過PE管進行保護,免受腐蝕;?●設備具有良好的接地裝置;
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 14
設備概況:(僅做參考)主要功能:本設備主要手動搬運方式,通過對硅片腐蝕、漂洗、等方式進行處理,從而達到一個用戶要求的效果。設備名稱:KOH  Etch刻蝕清洗機           設備型號:CSE-SC-NZD254整機尺寸(參考):自動設備約2500mm(L)×1800mm(W)×2400mm(H);被清洗硅片尺寸: 2--6寸(25片/籃)設備形式:室內(nèi)放置型;操作形式:手動各槽位主要技術工藝:設備組成:該設備主要由清洗部分、抽風系統(tǒng)及電控部分組成設備走向:方案圖按 “左進右出”方式,另可按要求設計“右進左出”方式;設備描述:此裝置是一個全自動的處理設備。8.0英寸大型觸摸屏(PROFACE/OMRON)顯示 / 檢測 / 操作每個槽前上方對應操作按鈕,與觸摸屏互相配合主體材料:德國進口10mmPP板,優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架,外包3mmPP板防腐;臺面板為德國10mm PP板;DIW管路及構(gòu)件采用日本進口clean-PVC管材,需滿足18M去離子水水質(zhì)要求,酸堿管路材質(zhì)為進口PFA/PVDF;采用國際標準生產(chǎn)加工,焊接組裝均在萬級凈化間內(nèi)完成;排風:位于機臺后上部工作照明:上方防酸照明三菱、歐姆龍 PLC控制。安全考慮:設有EMO(急停裝置), 強電弱點隔離所有電磁閥均高于工作槽體工作液面電控箱正壓裝置(CDA Purge)設備三層防漏  樓盤傾斜   漏液報警  設備整體置于防漏托盤內(nèi)排放管路加過濾裝置所有槽體折彎成型,可有效避免死角顆粒;更多化學品相關濕法腐蝕相關設備(KOH腐蝕刻蝕機、RCA清洗機、去膠機、外延片清洗機、酸堿腐蝕機、顯影機等)以及干燥設備(馬蘭戈尼干燥機Marangoni、單腔...
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導讀: 目前全球硅晶圓已集中在前五大供貨商手中,包括信越半導體、勝高、臺灣的環(huán)球晶、德國的Silitronic、南韓LG等,全球市占率達92%,其中勝高是臺積電最大供貨商,其次是信越,但信越全球市占高達27%,略高于勝高的26%,預料在二大硅晶圓廠下半年采取溫和漲價下...全球前二大半導體硅晶圓廠信越半導體和日本勝高(SUMCO)達成默契,下半年硅晶圓漲幅僅一成,遠低于市場傳言的三成,跌破市場眼鏡。此外,勝高也與臺積電議定四年的供應長約,約定漲幅不會超過四成,凸顯面臨硅晶圓供不應求的情況,全球市占超過五成的日本二大半導體硅晶圓廠決定維持溫和調(diào)漲,不希望急漲讓部分停產(chǎn)的小廠死灰復燃。這也是硅晶圓在連二季大漲后,主要供應大廠在價格策略踩煞車,對近期市場傳出下半年再漲三成,且明年再漲一倍的傳言,澆了一盆冷水。臺積電最大硅晶圓供貨商日本勝高,證實對臺積電硅晶圓供應價格不會如外傳般狂飆,而會采取溫和且保證長期供應穩(wěn)定,不會恣意漲價。半導體業(yè)者表示,全球硅晶圓過去因長期處于供過于求,不堪嚴重虧損,部分業(yè)者逐步停產(chǎn)或出售,例如環(huán)球晶近幾年就相繼收購日本CVS和美國的半導體硅晶圓廠。但前年半導體硅晶圓逐趨供需平穩(wěn),前年下半年一度試著漲價,但短暫調(diào)漲一季后就沉寂。去年下半年,市場擔心中國大陸晶圓廠產(chǎn)能開出后硅晶圓恐缺貨,因此大量屯積貨源,導致供需產(chǎn)生缺口,甚至連測試片都缺貨,導致今年首季主...
發(fā)布時間: 2017 - 04 - 25
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導讀:國內(nèi)近些年開始重視半導體投資,試圖減少對國外進口芯片的依賴,各地陸續(xù)上馬了芯片廠項目。不過據(jù)臺灣電子時報網(wǎng)站4月21日報道,最近多個項目的建設暫時擱置,可能和市場過熱有關。   國內(nèi)近些年開始重視半導體投資,試圖減少對國外進口芯片的依賴,各地陸續(xù)上馬了芯片廠項目。不過據(jù)臺灣電子時報網(wǎng)站4月21日報道,最近多個項目的建設暫時擱置,可能和市場過熱有關。 根據(jù)國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會的消息,2017年,中國市場將會建成的芯片工廠數(shù)量為14家。到2018年,中國半導體行業(yè)設備投資將超過100億美元,成為全球第二大生產(chǎn)設備投資國。  眾所周知的是,半導體和芯片廠是一個投資密集型的產(chǎn)業(yè),建設一個工廠需要幾十億甚至是上百億美元的資金。之前,中國中央政府已經(jīng)制定了鼓勵發(fā)展半導體產(chǎn)業(yè)的遠期計劃,而各地地方政府也正在積極引進項目,發(fā)展芯片制造業(yè)?! ⌒袠I(yè)觀察人士指出,中國芯片廠建設出現(xiàn)熱潮,和地方政府的支持密切相關?! 〔贿^最近據(jù)行業(yè)人士觀察,中國的多家12英寸芯片廠建設項目,暫時擱置。在半導體行業(yè),12英寸指的是晶圓的直徑,晶圓面積越大,生產(chǎn)芯片的效率也就越高,意味著技術更加先進?! ?jù)消息人士稱,福建晉華集成電路公司計劃在臺灣臺南市建設芯片廠,而臺聯(lián)電為該公司進行的一些技術開發(fā)工作已經(jīng)暫停。據(jù)悉,該公司計劃建設一座12英寸晶圓的芯片廠,主要生產(chǎn)內(nèi)存芯片,使用臺聯(lián)電的技...
發(fā)布時間: 2017 - 04 - 24
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導讀: 近日,由沈陽拓荊科技有限公司建設的我國首個半導體薄膜設備生產(chǎn)基地在沈陽市渾南區(qū)落成投產(chǎn)。近日由沈陽拓荊科技有限公司建設的我國首個半導體薄膜設備生產(chǎn)基地在沈陽市渾南區(qū)落成投產(chǎn)。該基地一期可容納1000人規(guī)模的研發(fā)制造團隊,年產(chǎn)能可達100臺(套),實現(xiàn)產(chǎn)值15億元。全部達產(chǎn)后,年產(chǎn)能可達350臺(套)。我國是全球最大的電子制造國。IC即集成電路是電子設備中最重要的組成部分,承擔著運算和存儲的功能,是計算機、數(shù)字家電、通信等行業(yè)的“心臟”。據(jù)行業(yè)協(xié)會發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示,去年,我國集成電路產(chǎn)業(yè)總營收達4335.5億元,同比增長20.1%。沈陽拓荊科技是由海外技術專家組建的高新技術企業(yè),創(chuàng)立于2010年4月。2015年,拓荊科技獲得國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(簡稱“國家大基金”)2.7億元戰(zhàn)略投資,是“國家大基金”在遼寧投資的第一家企業(yè)。同年,拓荊科技新廠區(qū)在沈陽市渾南區(qū)破土動工。新廠區(qū)占地面積5.2萬平方米,擁有先進的研發(fā)設備、場所及生產(chǎn)用十級、百級和千級無塵潔凈間,是我國首個半導體薄膜設備生產(chǎn)基地。此前,該技術一直被發(fā)達國家壟斷,設備進口嚴重受限,極大地制約了國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展。作為IC裝備核心裝備之一,該項目的建成一舉填補了國內(nèi)空白,顯著提升了我國集成電路產(chǎn)業(yè)整體競爭力。拓荊科技的產(chǎn)品性能、指標達到國際一流設備水平,設備國產(chǎn)化率超過70%,產(chǎn)能是進口設備的1.1倍,成本卻比...
發(fā)布時間: 2017 - 04 - 18
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華力微基于SONOS的55納米閃存試產(chǎn)日前,賽普拉斯與華力微共同宣布,基于華力 55納米低功耗工藝技術和賽普拉斯SONOS (氧化硅氮氧化硅)嵌入式閃存知識產(chǎn)權(quán)相結(jié)合,為閃存產(chǎn)品樹立了一個新的里程碑。華力的客戶已經(jīng)開始使用這項技術進行低功耗嵌入式閃存產(chǎn)品的試生產(chǎn),針對藍牙低功耗和物聯(lián)網(wǎng)應用。賽普拉斯高耐用性、可擴展的SONOS嵌入式閃存工藝針對低功耗需求進行了優(yōu)化,使其成為微控制器(MCU)和物聯(lián)網(wǎng)(IoT)應用的理想選擇。2017年下半年,華力的客戶即可采用該技術和設計IP進行全面量產(chǎn)。高性能氧化銥/鉑納米錐復合鍍層提高神經(jīng)電極電刺激性能近日,中國科學院深圳先進技術研究院醫(yī)工所微納中心研究員吳天準及其研究團隊成功研發(fā)出一種具有納米結(jié)構(gòu)的高性能氧化銥/鉑納米錐復合鍍層。這種高性能復合鍍層有效解決了隨著電極陣列化和集成化帶來的高電化學阻抗、低電荷存儲能力及低電荷注入能力的問題,并顯著提高了神經(jīng)電極的電刺激性能。相關研究成果Electrodeposited Iridium Oxide on Platinum Nanocones for Improving Neural Stimulation Microelectrodes(《鉑納米錐上電沉積氧化銥在改善神經(jīng)刺激電極中的應用》)已在線發(fā)表于電化學期刊ElectrochimicaActa。同時該工作的階段性成果被IEEE NEMS 201...
發(fā)布時間: 2017 - 04 - 17
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中芯國際今年總銷售增長率上看20%,其中先進制程產(chǎn)能擴產(chǎn)與28納米工藝放量成長,將是主要兩大驅(qū)動力。中芯國際也將在13日舉辦專題技術研討會,全面對客戶展現(xiàn)先進工藝制程與物聯(lián)網(wǎng)平臺的完整布局。下面就隨半導體小編一起來了解一下相關內(nèi)容吧?! ≈行緡H日前預估,2017年相較2016年增長率將上看20%,盡管2017年上半年正在經(jīng)歷季節(jié)性調(diào)整,但是中芯國際對于下半年業(yè)績抱持樂觀展望,很可能展現(xiàn)“先蹲后跳”的實力?! ∑渲校瑳_刺28納米最先進制程工藝的布局,進展最快的就是中芯國際。根據(jù)統(tǒng)計,2016年中芯國際28納米晶圓產(chǎn)能全球占比不足1%,與28納米制程市占率分別為66.7%、16.1%與8.4%的前三大純晶圓代工廠商臺積電、格羅方德、聯(lián)電仍保持較大的差距?! 《?8納米將是2017年中芯主要成長動能之一,預期2017年底28納米以下制程工藝將占公司營收比重達到7%-9%。并將在2017年底28納米季度營收占比接近10%?! ”M管中芯國際的28納米制程工藝已在此前量產(chǎn),但從產(chǎn)品規(guī)格來看,多偏向中低端的28納米Ploy/SiON技術,對于高端的28納米HKMG制程工藝涉足并不深,今年能否在HKMG制程工藝如期放量成長,乃外界觀察指標之一。       今年中芯國際在先進工藝平臺有幾個重點,一是28納米放量成長,二是14納米起步開始有營收貢獻,三是7納...
發(fā)布時間: 2017 - 04 - 13
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鳳凰科技訊 據(jù)The Investor網(wǎng)站北京時間4月12日報道,三星電子將從7月份開始運營位于韓國京畿道平澤市的新半導體工廠。新設施是全球規(guī)模最大的芯片工廠,占地289萬平方米。三星將在該工廠量產(chǎn)第四代3D NAND閃存芯片,該芯片垂直堆疊達到64層。據(jù)《首爾經(jīng)濟新聞》報道,三星已要求合作伙伴在5月底之前供應必要的芯片制造設備。消息稱,一開始,新工廠的產(chǎn)量將較為有限,需要幾年時間才能全面運轉(zhuǎn)。三星預計將于今年開始在這一芯片制造綜合體運營,但是尚未正式宣布具體時間表。新工廠從2015年開始建造,耗資15.6萬億韓元(約合136億美元)。平面和垂直NAND閃存芯片的總產(chǎn)能預計將達到每月45萬片晶圓,3D NAND閃存芯片將占據(jù)一半以上。三星目前是全球最大的NAND閃存芯片制造商。市場研究公司IHS Markit發(fā)布的報告顯示,三星去年在NAND閃存芯片市場的份額從2015年的32%增長到了36.1%。更多半導體相關新聞信息,可以關注華林科納(江蘇)CSE網(wǎng)站http://www.hlcas.com/
發(fā)布時間: 2017 - 04 - 13
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導讀: 去年,中國成功發(fā)射了全球第一顆量子通信衛(wèi)星,目前正在按照預期工作。在量子通信方面,中國已經(jīng)走在世界前列。傳統(tǒng)硅基半導體計算機的提升越來越困難,而量子計算機普遍被視為未來的新希望,尤其是美國正全力投入研發(fā),已經(jīng)有了不少成果。那么中國呢?其實也在悄然進行中。據(jù)中科院院長白春禮透露,中科院正在研制中國第一臺量子計算機,預計最近幾年就有望研制成功。白春禮表示,科學家已經(jīng)能夠?qū)瘟W雍土孔討B(tài)進行調(diào)控,量子通信、量子計算機等都將產(chǎn)生變革性的突破。那么,量子計算機到底有多厲害?白春禮舉了一個形象的例子:如果要求解一個億億億變量的方程組,如果用億億次的當今第一超級計算機天河二號計算,需要長達100年,而使用一臺萬億次的量子計算機計算,只需區(qū)區(qū)0.01秒。去年,中國成功發(fā)射了全球第一顆量子通信衛(wèi)星,目前正在按照預期工作。在量子通信方面,中國已經(jīng)走在世界前列。 更多半導體行業(yè)新聞可以關注華林科納(江蘇)網(wǎng)站:http://regal-bio.cn/
發(fā)布時間: 2017 - 04 - 12
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導讀: 隨著聯(lián)電廈門子公司聯(lián)芯的 28 納米先進制程計劃在今年第二季正式量產(chǎn),TrendForce 旗下拓墣產(chǎn)業(yè)研究院指出,中國本土晶圓代工廠今年將沖刺在 28 納米最先進制程的布局,進度最快的本土晶圓代工廠為中芯國際與華力微電子...隨著聯(lián)電廈門子公司聯(lián)芯的 28 納米先進制程計劃在今年第二季正式量產(chǎn),TrendForce 旗下拓墣產(chǎn)業(yè)研究院指出,中國本土晶圓代工廠今年將沖刺在 28 納米最先進制程的布局,進度最快的本土晶圓代工廠為中芯國際與華力微電子,然而,隨著外資紛紛于中國大陸地區(qū)設立晶圓廠,本土晶圓代工廠面臨技術、人才、市場上的直接競爭壓力。拓墣指出,中國大陸地區(qū)純晶圓代工廠商目前最先進的量產(chǎn)制程為 28 納米,根據(jù)統(tǒng)計,中芯國際 28 納米晶圓產(chǎn)品 2016 年的年晶圓產(chǎn)能全球占比不足 1%,與 28 納米制程市占率分別為 66.7%、16.1% 與 8.4% 的前三大純晶圓代工廠商臺積電、格羅方德、聯(lián)電仍有較大差距。不過,根據(jù)中芯國際季報顯示,2016 年第四季 28 納米營收占比達到 3.5%。中芯國際首席CEO邱慈云在 2 月 15 日的法說會上表示,28 納米以下制程會是 2017 年中芯的成長動能之一,預期 2017 年底 28 納米以下制程,將占公司營收比重達到 7%~9%。甫公布的中芯國際 2016 年業(yè)績報告中,也展望 2017 年底 28 納米...
發(fā)布時間: 2017 - 04 - 11
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半導體新聞    1、力晶合肥12寸廠6月量產(chǎn) DRAM缺貨或持續(xù)至明年力晶董事長黃崇仁出席臺灣半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會會員大會,他表示,目前臺灣地區(qū)旗下所有12寸廠的產(chǎn)能都滿載,還把客人趕走了,因為根本就不夠用,而新投資的大陸合肥也就是晶合廠預計6月落成量產(chǎn),初期月產(chǎn)能規(guī)劃2萬片。市場關心存儲器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展情況,黃崇仁引用美光執(zhí)行長杜肯的說法,這一波存儲器的熱度將會延續(xù)到今年底,如果沒有新廠蓋出來的話,明年會缺貨更嚴重。黃崇仁說,以他對杜肯的認識,他是非常保守的人,這次在法說會上釋出如此樂觀的訊息,我也認同他的看法。黃崇仁表示,臺灣P1、P2、P3廠的產(chǎn)能全部滿載,市場需求強勁,現(xiàn)在還把客人趕走,因為產(chǎn)能實在不夠用,而且以現(xiàn)在的設備來生產(chǎn),是非常有競爭力,未來會考慮慢慢擴產(chǎn),不過大陸合晶晶合廠不會生產(chǎn)存儲器。力晶大舉投資的大陸12寸晶合廠正在趕工當中,預計最快6月落成投產(chǎn),初期月產(chǎn)能規(guī)劃維持2萬片不變,先以導入90納米,并生產(chǎn)面板驅(qū)動芯片、傳感等為主,據(jù)悉已經(jīng)有不少廠商開始搶先下單,力晶臺灣廠也希望產(chǎn)能全滿,所以也會把部分產(chǎn)能轉(zhuǎn)移到晶合廠。力晶臺灣P3產(chǎn)能由存儲器模組大廠金士頓全吃下,以生產(chǎn)DRAM為主,今年將轉(zhuǎn)進2X納米制程,月產(chǎn)能維持3萬片。至于P1與P2廠生產(chǎn)面板驅(qū)動芯片、電源管理芯片、CMOS傳感器等等,合計月產(chǎn)能約6~7萬片。 2、...
發(fā)布時間: 2017 - 04 - 10
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導讀: 法國專利與技術分析公司KnowMade Co.日前發(fā)表一份報告,聲稱七家專利授權(quán)公司可能對于經(jīng)營半導體市場的業(yè)者構(gòu)成威脅。法國專利與技術分析公司KnowMade Co.日前發(fā)表一份報告,聲稱七家專利授權(quán)公司(patent licensing companies;PLC)可能對于經(jīng)營半導體市場的業(yè)者構(gòu)成威脅。這七家公司分別是WiLAN、Acacia Research、Conversant IP Management (原為Mosaid)、Intellectual Ventures、Rambus、Round Rock Research以及Tessera。 KnowMade主要根據(jù)2013年以來的專利收購行動與訴訟行為進行評估。根據(jù)KnowMade表示,半導體產(chǎn)業(yè)具有吸引專利授權(quán)公司的特性,預計這些專利授權(quán)公司將尋求從半導體產(chǎn)業(yè)獲取更多的資金。KnowMade并參考了RPX Corp.在2015年三月發(fā)表的一份報告中所提到的:“2014年非實施專利事業(yè)體(NPE)讓營運公司付出了法律費用以及和解或判決等其他有關法律成本等估計約122億美元?!盞nowMade執(zhí)行長兼共同創(chuàng)辦人Nicolas Baron說:“WiLAN可能是半導體公司的主要威脅?!?在2015年期間,WiLAN從英飛凌科技(Infineon Technologies)、奇夢達(Qimonda)和飛思卡爾(...
發(fā)布時間: 2017 - 04 - 06
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