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2017
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甩干機(jī)—華林科納CSESpin-dry machine 設(shè)備名稱CSE-甩干機(jī)主要功能晶圓或器件的清洗甩干腔體數(shù)量單腔/雙腔/四腔尺寸(參考)約L×D×H＝面寬480mm×縱深820mm×高度1750mm清洗件規(guī)格4寸/5/寸6寸/8寸等尺寸晶圓或器件操作流程人工上貨→DI噴洗加轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)→HOTN2吹干加轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)→加速旋干含艙體加熱保溫→完成設(shè)備預(yù)設(shè)之制程結(jié)束。工作轉(zhuǎn)速300—2400r/min主體構(gòu)造特點(diǎn)外觀材質(zhì)：本體以W-PP10t板材質(zhì)組焊組合。設(shè)備骨架：SUS25*25*1.2T骨架組合，結(jié)構(gòu)強(qiáng)固。作業(yè)視窗：視窗采透明壓克力材質(zhì)，有效掌握作業(yè)情況。管路系統(tǒng)：OneChamber模塊化。排風(fēng)系統(tǒng)：間接式抽風(fēng)設(shè)計(jì)，有效穩(wěn)定空氣擾流，并同時(shí)減低異味。機(jī)臺支腳：具高低調(diào)整及鎖定功能。機(jī)臺正壓保護(hù)：采N2正壓保護(hù)。機(jī)臺微塵控制量：無刷伺服電機(jī)去靜電 氮?dú)饪刂茊卧?)管件閥門：SMC電磁閥、PFA高純管件、PTFE氣動(dòng)閥門。2)氮?dú)饧訜峁δ埽翰讳P鋼加熱器在線加熱3)低壓氮?dú)夤δ埽捍龣C(jī)時(shí)，保持腔內(nèi)正壓，防止污染。DIW控制單元1)采用旋流式?jīng)_洗噴嘴。2)排水口安裝電阻率探頭，對腔體排水水質(zhì)進(jìn)行監(jiān)測。3)沖洗工藝完成后，氮?dú)鈱埩粼跊_洗管路內(nèi)的去離子水吹凈。4)待機(jī)時(shí)，保持回水盒內(nèi)有水流入且流量可調(diào)。電控單元及軟件系統(tǒng)1）控制器操作界面：5.7”記憶人機(jī)+PLC可程序自動(dòng)化控制器(人機(jī)TouchScreen)。2）軟件功能：編輯/儲存：制程/維修/警示/編輯/配方/，皆可從操作熒幕上修改。3）儲存能力：記憶模塊：參數(shù)記憶，配方設(shè)定。 更多的甩干機(jī)清洗相關(guān)設(shè)備，可以關(guān)注http://regal-bio.cn ,0513-87733829