?芯片鍍金設(shè)備-華林科納(江蘇)CSE
? ?晶圓電鍍工藝在半導(dǎo)體、MEMS、LED 和 WL package 等領(lǐng)域中應(yīng)用非常廣泛。華林科納(江蘇)的晶圓電鍍設(shè)備針對這些應(yīng)用研發(fā)和生產(chǎn)的,對所有客戶提供工藝和設(shè)備一體化服務(wù)。產(chǎn)品分生產(chǎn)型和研發(fā)型兩大類,適合不同客戶的需求。?
設(shè)備名稱 | 華林科納(江蘇)CSE-芯片鍍金設(shè)備 |
應(yīng)用領(lǐng)域: | 半導(dǎo)體、MEMS、LED |
操作模式: | PLC集成控制 |
具體應(yīng)用: | 電鍍、電鑄 |
工藝類型: | 電鍍Au,Cu,Ni,Sn,Ag |
晶圓尺寸: | 8inch或以下尺寸,單片或多片 |
基本配置: | 操作臺(1套),主電鍍槽(2套),腐蝕槽(2套),清洗(1套) |
設(shè)備功能和特點 | (不同電鍍工藝配置有所差異)? 1. 產(chǎn)品名稱:芯片鍍金設(shè)備? 2. 產(chǎn)品系列:CSE-XL 3. 晶圓尺寸:4-6inch.? 4. 集成控制系統(tǒng),內(nèi)置MST-MP-COTROL程序? 5. 主體材料:勞士領(lǐng)PP? 6. 四面溢流設(shè)計? 7. 溫度控制系統(tǒng):70+/-1C? 8. 循環(huán)過濾出系統(tǒng),流量可調(diào)。? 9. 垂直噴流掛鍍操作。? 10. 專用陰陽極? 11. 陰極擺動裝置,頻率可調(diào)。? 12. 陽極均化裝置。? 13. 防氧化系統(tǒng)。? 14. 充N2裝置。? 15. 排風(fēng)操作臺,風(fēng)量可調(diào)。? 16. 活化腐蝕系統(tǒng)。? 17. 三級清洗系統(tǒng)。? 18. 電鍍液體系:均為無氰電鍍液體系。? 19. 工藝:表面均勻,厚度1-100um,均勻性5%? |
設(shè)備制造商 | 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn?400-8768-096 ;18913575037 |
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