?金屬剝離清洗機(jī)-華林科納（江蘇）CSE
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS)是指用微機(jī)械加工技術(shù)制作的包括傳感器/微致動器/微能源/等微機(jī)械基本部分以及高性能的電子集成線路組成的微機(jī)電器件與裝置。
其典型的生產(chǎn)工藝流程為：成膜工藝（氧化/CVD:LPCVD PECVD/PVD:濺射/電鍍/摻雜：擴(kuò)散 注入 退火）→光刻圖形（旋涂/光刻/顯影）→干法/濕法/ 刻蝕（濕法刻蝕/硅刻蝕/SiO?刻蝕/去膠清洗/金屬刻蝕/金屬剝離/RCA清洗）
設(shè)備名稱 | 華林科納（江蘇）CSE-金屬剝離清洗機(jī) |
設(shè)備系列 | CSE-CX13系列 |
設(shè)備概況 | 尺寸(參考)：機(jī)臺尺寸 : 1750mmWx1400mmDx1900mmH（具體尺寸根據(jù)實(shí)際圖紙確定） 清洗量：6寸25裝花籃2籃； 重量：500Kg( 大約)； 工作環(huán)境：室內(nèi)放置； |
主體構(gòu)造特點(diǎn) | 外 殼：不銹鋼304 板組合焊接而成。 安全門：無安全門，采用敞開式設(shè)計(jì)； 管路系統(tǒng)：藥液管路采用不銹鋼管，純水管路采用CL-PVC管； 閥門：藥液管路閥門采用不銹鋼電磁閥門； 排 風(fēng)：后下抽風(fēng)，動力抽風(fēng)法蘭位于機(jī)臺上部； 水汽槍：配有水氣槍各2把，分置于兩側(cè)； 隔板：藥液槽之間配有隔離板，防止藥液交叉污染； 照明：機(jī)臺上方配照明（與工作區(qū)隔離）； 機(jī)臺支腳：有滑輪裝置及固定裝置，并且有高低調(diào)整及鎖定功能。 三色警示燈置于機(jī)臺上方明顯處。 |
工作槽參數(shù) | 剝離洗槽 槽體：不銹鋼316，有效尺寸405×220×260mm； 化學(xué)藥品：剝離洗液； 藥液供液：人工手動加入； 工作溫度：60℃并可調(diào)；溫度可調(diào)； 加熱方式：五面體貼膜加熱/投入式加熱器加入熱； 液位控制：采用N2背壓數(shù)位檢測； 計(jì)時功能：工藝時間可設(shè)定，并可調(diào)，到設(shè)定時間后聲鳴提示，點(diǎn)擊按鈕后開始倒序計(jì)時； 批次記憶：藥液使用次數(shù)可記憶，藥液供入時間可記憶，設(shè)定次數(shù)和設(shè)定時間到后更換藥液； 排液：排液管道材質(zhì)為不銹鋼管，按鈕控制； 槽蓋：配有手動槽蓋； IPA槽 槽體：不銹鋼316，有效尺寸405×220×260mm； 化學(xué)藥品：IPA； 供液：手動供液 工作時間：約5min并可調(diào)； 工作溫度：常溫； 排放: 槽體底部單獨(dú)直排； QDR槽 槽體：長×寬×高= 405×220×260mm，NPP板焊接而成； 供水：雙管路自動供水,3/4供水管徑，1/2溢流給水管，氣動閥控制； 工作溫度：RT； 溢流方式：四面溢流,溢流口為波紋狀； 噴淋: 由槽體頂部兩側(cè)的DIW噴淋管和噴嘴實(shí)現(xiàn)； 鼓泡：槽底部安裝N2鼓泡系統(tǒng)，均勻鼓泡，也可根據(jù)需要關(guān)閉； 排放:氣動閥控制快速排放，N P P排放管路，快速排放時間≤7秒； 工藝流程：水滿→放入花籃→氮?dú)夤呐荽蜷_→溢流漂洗＋氮?dú)夤呐荨炫砰y打開，快速排放，→噴淋→快排閥關(guān)閉，同時底部注水，一次沖洗快排工藝結(jié)束； |
設(shè)備制造商 | 華林科納（江蘇）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn?400-8768-096 ；18913575037 |
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