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零部件清洗機_華林科納CSE

CleanStep的零部件被設計用于PECVD刻蝕清洗設備，以及石墨舟、石 英舟、碳化硅舟等擴散舟的刻蝕和清洗設備。

優(yōu)點

> 通過關閉的工藝腔室的安全操作，加載和僅一次工藝腔室 沖洗之后卸載，完成整個工藝過程。

> 安全門自鎖裝置

> 工藝腔室保護防止水溢流

> 排風監(jiān)控部件

> 用于門自鎖的電導傳感器（僅適用于石英舟清洗設備）

> 簡便、安全操作的高品質觸摸屏

> 很少的化學品消耗產生最小的生產費用，與浸泡式工藝相 比至少節(jié)約2-3倍

> 減少了操作次數(shù)

> 化學品的消耗，與浸泡式工藝相比要少于大約10倍

> 穩(wěn)定的清洗工藝，水的消耗，與浸泡式工藝相比少于2倍

> 設備高利用率和低維修率，得益于它獨特的模塊化設計和 長壽命零部件的應用

> 最佳的占地

應用

CleanStep的零部件被設計用于PECVD刻蝕清洗設備，以及石墨舟、石英舟、碳化硅舟等擴散舟的 刻蝕和清洗設備。標準化設計的設備是用于2個石墨舟或4個石英舟的清洗。同時也強有力的證明 了用噴淋工藝代替浸泡工藝不僅節(jié)約了工藝時間，同時也節(jié)約了化學品的消耗量。

選項

> 廢液槽起重裝置

> 系統(tǒng)外殼結構[FM認可材質]

> HF有毒氣體檢測裝置

> Centrotherm 一套石墨舟花籃可裝載19片到21片晶圓?可拆卸石墨舟?

> Centrotherm 一套石墨舟可裝載23片?可拆卸石墨舟?

> 石英部件清洗的石英舟夾具

> 漏液盤連接閥

> 電阻率監(jiān)測裝置

> 手動加載花籃干燥的烘干箱

> 30升的HNO3 / HF/ DI-H2O的預備槽

> 獨立的設備化學品供應用于回收用過的HF

> 氮氧化物有毒氣體檢測裝置

> 晶圓背面腐蝕的ACL片盒夾

> N2 凈化

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