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1、設備概況:
主要功能:本設備主要采用手動搬運方式,通過對擴散、外延等設備的石英管、碳化硅管腐蝕、漂洗等方式進行處理,從而達到一個用戶要求的清洗效果。主體采用德國勞士領 瓷白PP板,骨架采用不銹鋼 外包PP 防腐板;
設備名稱:半自動石英管清洗機
設備型號:CSE-SC-N401
整機尺寸(參考):4500mm*1500mm*2100mm;
被清洗爐管尺寸(Max):也可清洗其它可放入清洗槽中的石英器皿等被清洗物
設備形式:室內(nèi)放置型;
節(jié)拍:約1--12小時(節(jié)拍可調(diào)根據(jù)實際工藝時間而定)??????
操作形式:半自動
2、設備描述:
此裝置是一個半自動的處理設備。
PROFACE 8.0英寸大型觸摸屏顯示 / 檢測 / 操作
清洗工作過程由三菱 / 歐姆龍PLC控制。
3、設備特點:
腐蝕漂洗能力強,性能穩(wěn)定,安全可靠;
設備成本合理,自動化程度高,使用成本低;
技術先進,結構合理,適宜生產(chǎn)線上大批次操作;
結合華林科納公司全體同仁之力,多年品質(zhì)保障,使其各部分遠遠領先同類產(chǎn)品;
設備上層電器控制系統(tǒng)及抽風系統(tǒng),中層工作區(qū),下層為管道安裝維修區(qū),主體結構由清洗機主體、酸洗槽、水清洗槽、防漏盤、抽風系統(tǒng)、工件滾動系統(tǒng)、氮氣鼓泡系統(tǒng)、支撐及旋轉驅動機構、管路部分、電控部分。
本設備裝有雙防漏盤結構,并有防漏檢測報警系統(tǒng),在整臺設備的底部裝有接液盤。
設備配有在槽體下方配有傾斜式防漏層。
4、工藝流程:
檢查水、電、氣正?!鷨与娫础斯ど狭稀⑺帷垠w底部氮氣鼓泡→石英管轉動(7轉/min)→進入酸泡程序→自動排酸(到儲酸箱)→槽體底部自動注水(同時氣動碟閥關閉)→懸浮顆粒物經(jīng)過溢流壩流出→排水碟閥打開(重顆粒雜質(zhì)排出)→初級潔凈水經(jīng)過溢流壩溢出→清洗次數(shù)重復循環(huán)(人工控制)→下料。?
酸洗和水洗在同一槽內(nèi)完成
1#,2#可通過循環(huán)泵循環(huán)使用
?5、臺面布局如下:
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6、各槽工藝參數(shù):
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7、設備可靠性保障措施:
系統(tǒng)結構采用國外典型處理方法,保證系統(tǒng)結構的合理性和適應性;
結構采用潔凈化處理技術,可達到國外同類產(chǎn)品水平;
采用國外引進元器件及專業(yè)廠家產(chǎn)品;
國產(chǎn)元器件采用國內(nèi)專業(yè)廠家生產(chǎn)和經(jīng)證實質(zhì)量優(yōu)質(zhì)的高性能元件;
設計、生產(chǎn)、制造采用 ISO9001 和軍工質(zhì)量管理體系保證;
設備的生產(chǎn)加工除下料、焊接在普通廠房內(nèi)進行外,裝配、調(diào)試等工序都在萬級超凈間內(nèi)進行;
所有零部件在進入萬級超凈間前均進行清洗;
設備出廠前都經(jīng)過嚴格的滲漏檢查;
更多的半導體石英管清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。?
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