Marangoni 干燥 Marangoni 馬蘭戈尼干燥是基于 Marangoni 效應(yīng)發(fā)展起來的干燥技術(shù)。典型的 Marangoni 干燥過程如圖 4 所示。晶片進(jìn)入干燥系統(tǒng)后,在水槽內(nèi)溢流。由氮?dú)鈹y帶 IPA 氣體充滿系統(tǒng),在水面上形成 IPA 氣體環(huán)境。隨后晶片與水面緩慢脫離(可通過晶片提拉上升或緩慢排水兩種方式實(shí)現(xiàn)) 由于 IPA 的表面張力比水小得多(25 ℃下,IPA 表面張力為 20.9×10-3 N/m;水的表面張力為 72.8×10-3 N/m),所以會在坡狀水流表層形成表面張力梯度,產(chǎn)生 Marangoni 對流,水被“吸回”水面,如下圖所示 雖然同樣是 IPA 干燥,但是 Marangoni 干燥與 IPA Vapor 干燥有本質(zhì)的不同,前者是通過表面張力梯度將水拉回水面,后者則是靠水的蒸發(fā)。 相比于IPA Vapor 干燥 ,Marangoni 干燥IPA 用量很少,且能夠克服深窄溝渠的脫水困難,比較適合直徑 150 mm ( 6 英寸) 以上晶片的干燥。Marangoni 干燥存在的問題是晶片易出現(xiàn)水痕缺陷,晶片與晶舟接觸處、晶片下方是常見的水痕區(qū)域 。為消除水痕缺陷,這類設(shè)備中一般配備簡易晶舟,以減少晶片與晶舟的接觸面積,另外,采用溫水浴、超聲波震蕩 IPA Bub- bler 和變速提拉等也是常用的消除水痕缺陷的手段。Marangoni 干燥(馬蘭戈尼干燥)受多種因素影響,如晶片的提拉速度,IPA/N2 流量和排風(fēng)的設(shè)置等,因此此種方法技術(shù)難度較高。作為濕制程設(shè)備制造商,華林科納(...
在線加熱器由過濾器改制而成,加熱絲有進(jìn)口加熱絲和國產(chǎn)加熱絲之分,采用低溫拉絲工藝,保證產(chǎn)品的尺寸,且有效防止加熱絲由于在加工過程中產(chǎn)生損耗,導(dǎo)致本身壽命的降低。加熱絲經(jīng)過加工后,進(jìn)行表面拉鐵氟龍材質(zhì)進(jìn)行保護(hù)??梢栽谌魏位瘜W(xué)品中進(jìn)行加熱。鐵氟龍材質(zhì)采用大金原材料,保證了產(chǎn)品的質(zhì)量,且會按照客戶使用提出更加合適的鐵氟龍配方,應(yīng)對各種復(fù)雜的應(yīng)用場景。 加熱絲拉氟完成后,進(jìn)行計(jì)算,按照功率計(jì)算出米數(shù),進(jìn)行后套加工,完成后安裝到在線加熱器當(dāng)中。加熱器帶有華林科納自研的控制器,控制器可是加熱器更加安全有效的工作。本公司生產(chǎn)的加熱器是專門用于各種具有腐蝕作用液體加熱的一種加熱器,采用進(jìn)口pt100Q,和高溫型k型熱電偶,具有使用壽命長、不腐蝕、不漏電、安全可靠以及優(yōu)良的抗老化性和比較好的繞曲性能等優(yōu)勢;為保證使用安全,接頭采取完全封閉式的設(shè)計(jì),可以有效防酸堿,同時冷端及過熱安全保護(hù)系統(tǒng)可完全按照客戶需要定制。
1.外型結(jié)構(gòu)緊湊美觀2.本體重量輕容易安裝3.耐腐蝕性能強(qiáng),應(yīng)用范圍廣4.材質(zhì)衛(wèi)生無毒5.耐磨損,容易拆卸,維護(hù)簡單易行。
隔膜閥采用高流量的緊湊型設(shè)計(jì),隔膜可使流道內(nèi)的腐蝕性介質(zhì)與所有驅(qū)動部件處於完全隔離的狀態(tài),從而杜絕了通常閥門的“跑、冒、滴、漏”等弊端。由于隔膜閥的流道平滑,流阻小,故而可獲得較大的流量。根據(jù)流體,可選膜片:EPDM / FPM / PTFE,因此具有優(yōu)越的耐腐蝕的特點(diǎn)。本閥由閥體、閥蓋、隔膜和其它驅(qū)動零件等組成。
隔膜閥采用高流量的緊湊型設(shè)計(jì),隔膜可使流道內(nèi)的腐蝕性介質(zhì)與所有驅(qū)動部件處於完全隔離的狀態(tài),從而杜絕了通常閥門的“跑、冒、滴、漏”等弊端。由于隔膜閥的流道平滑,流阻小,故而可獲得較大的流量。根據(jù)流體,可選膜片:EPDM / FPM / PTFE,因此具有優(yōu)越的耐腐蝕的特點(diǎn)。本閥由閥體、閥蓋、隔膜和其它驅(qū)動零件等組成。
種植體全自動腐蝕清洗機(jī)設(shè)備——華林科納CSE設(shè)備名稱種植體全自動腐蝕清洗設(shè)備適用領(lǐng)域醫(yī)療種植體系統(tǒng)設(shè)備用途種植體化學(xué)腐蝕和清洗的設(shè)備基本介紹主要功能:通過對清洗物腐蝕、噴砂→清洗→酸腐蝕→清洗等方式進(jìn)行處理,從而達(dá)到一個用戶要求的效果設(shè)備形式:室內(nèi)放置型操作形式:自動設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn 0513-87733829;18051335986 在種植體制造過程中,完成種植體的機(jī)械塑形后,需要將種植體浸入酸液里,對表面進(jìn)行陽極處理,它會使表面形成多個孔洞,增進(jìn)種植體與病人頜骨之間的緊密結(jié)合。經(jīng)歷了酸液的陽極處理后,將會轉(zhuǎn)移到最后一道清潔工序,在清潔槽內(nèi)通過超聲波清洗,形成氣泡和水波,輕輕地刷洗種植體,完成種植體的清潔,完成種植體的成品制造。種植體表面腐蝕清洗的主要目的是要讓鈦更好更快地與人骨結(jié)合,在表面進(jìn)行涂層處理技術(shù)后,進(jìn)行表面粗化技術(shù),以便獲得某種粗糙的表面,以增大表面積,這可使頜骨與種植體間的結(jié)合面積大大增加。目前,種植體的表面處理工藝較為常見的基本過程為:清洗→噴砂→清洗→酸腐蝕→清洗,多次清洗是為了實(shí)現(xiàn)不同的目的。第一次清洗主要是為了在噴砂前清洗除污,第二次清洗則是為了去除噴砂后殘留雜質(zhì),第三次是為了去除酸腐蝕后的酸液殘留。第二步的噴砂加工工藝,是為了進(jìn)行表面粗化處理,一般噴砂介質(zhì)為氧化鋁砂,粒度根據(jù)表面粗化特性來定義。第四步的酸腐蝕加工,酸溶液的選擇比較靈活,一般可使用強(qiáng)酸溶液(如硝酸、鉻酸等)、強(qiáng)酸混合溶液(如硫酸和鹽酸混合溶液)、強(qiáng)酸和中強(qiáng)酸混合溶液(如硝酸和氫氟酸混合溶液)等,使用酸液能夠有效地達(dá)到粗化目的,又不會在表面上產(chǎn)生有害物質(zhì)。這與半導(dǎo)體集成電路工藝過程中的刻蝕清洗方式極為相似,作為國內(nèi)先進(jìn)的濕制程專業(yè)制造商,華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司在集成...
紅外器件清洗機(jī)設(shè)備名稱:紅外器件清洗機(jī)-CSE產(chǎn)品特點(diǎn):設(shè)備由預(yù)洗槽、超聲波清洗槽、漂洗槽、超聲波電源柜等組成。清洗槽材質(zhì)為不銹鋼,經(jīng)久耐用。預(yù)洗槽底部設(shè)置了壓力噴嘴,使浸泡過程中靜止的液體變?yōu)榱鲃拥囊后w,上下翻滾,形成湍流,有效去除散熱片狹縫中的污物。超聲波清洗槽底部、側(cè)面均設(shè)置了換能器,使被清洗的工件表面得到均勻的聲強(qiáng)。在超聲作用下,采用水劑代替煤油或有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗,可顯著降低清洗成本。更多半導(dǎo)體設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備官網(wǎng)regal-bio.cn;現(xiàn)在咨詢400-8768-096,18913575037,可立即免費(fèi)獲取華林科納CSE提供的設(shè)備相關(guān)方案
溝槽腐蝕機(jī)-CSE概述1.1 設(shè)備概況:主要功能:本設(shè)備主要手動搬運(yùn)方式,通過對si片腐蝕、漂洗、等方式進(jìn)行處理,從而達(dá)到一個用戶要求的效果。1.1.1 設(shè)備名稱:溝槽腐蝕機(jī)1.1.2 設(shè)備型號:CSE-SC-N6011.1.3 整機(jī)尺寸(參考):約2000mm(L)×1400mm(W)×2000mm(H);1.1.4 被清洗硅片尺寸:5寸/6寸1.1.5 設(shè)備形式:室內(nèi)放置型;1.1.6 操作形式:手動1.2 設(shè)備組成該設(shè)備主要由清洗部分、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成設(shè)備工藝走向:參照本方案臺面布局圖1.3 設(shè)備描述●此裝置是一個半自動的處理設(shè)備?!?.0英寸PROFACE 人機(jī)界面顯示 / 檢測 / 操作●主體材料:10mmPP板,優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架,外包3mmPP板防腐;●化學(xué)槽槽體材料:德國勞士領(lǐng) 10mm PVDF板;●純水槽槽體材料:德國勞士領(lǐng) 10mm NPP板;●臺面板為10mm PP板(帶有菱形漏液孔);●DIW主管路及構(gòu)件采用日本進(jìn)口clean-PVC管材,支管路及閥件采用PFA材質(zhì),需滿足18M去離子水水質(zhì)要求;酸 堿管路材質(zhì)為進(jìn)口PFA/PVDF;●采用國際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工,焊接組裝均在萬級凈化間內(nèi)完成●排風(fēng):位于機(jī)臺后下部●工作照明:上方防酸型白光照明●歐姆龍/三菱 PLC控制。●安全考慮:1. 設(shè)有EMO(急停裝置), 2. 強(qiáng)電弱點(diǎn)隔離3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面4. 電控箱正壓裝置(CDA Purge)5. 設(shè)備三層防漏 樓盤傾斜 漏液報警 設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi)6. 排放管路加過濾裝置7 排液按鈕具有連鎖功能。啟動排液時,同時切斷泵啟動。8 槽內(nèi)配液位開關(guān),無液不循環(huán)。更多半導(dǎo)體設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備官網(wǎng)regal-bio.cn;現(xiàn)...
陶瓷盤清洗機(jī)-CSE設(shè)備名稱:陶瓷盤清洗機(jī)-華林科納CSE設(shè)備外型結(jié)構(gòu)及主要參數(shù) 控制模式: 手動控制模式 自動控制模式。 清洗對象:陶瓷盤 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。 尺寸(參考,詳見圖紙,含地腳):3000 mm(L)× 1500 mm(W)× 2200 mm(H)。 機(jī)臺總體結(jié)構(gòu)暫定分為兩部分,機(jī)械運(yùn)行機(jī)構(gòu)裝置與機(jī)臺前方;機(jī)臺前方為清洗工作區(qū)域及機(jī)械行走區(qū),機(jī)臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域,后下方為液路布置區(qū)域。更多半導(dǎo)體設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備官網(wǎng)regal-bio.cn;現(xiàn)在咨詢400-8768-096,18913575037,可立即免費(fèi)獲取華林科納CSE提供的設(shè)備相關(guān)方案
兆聲波清洗機(jī)—華林科納CSE Mega sonic cleaning machine華林科納(江蘇)CSE-兆聲波清洗機(jī) 適用于硅晶片 藍(lán)寶石晶片 砷化鎵晶片 磷化銦晶片 碳化硅晶片 石英晶片可處理晶片尺寸2'-8';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體 太陽能光伏 液晶等 設(shè)備名稱CSE-兆聲波清洗機(jī)類型槽式尺寸(參考)約3500(L)×1350 (W)×2300mm (H)清洗件規(guī)格4” 2籃50片設(shè)備凈重1T運(yùn)行重量1.5T±10%電源380v 50hz 功率70kw槽體尺寸200mm*400mm*260mm槽數(shù)6個操作方式手動/半自動/全自動適用規(guī)格2英寸-8英寸適用領(lǐng)域半導(dǎo)體、太陽能、液晶等 設(shè)備穩(wěn)定性1、清洗良品率≥99%2、≥0.2um顆粒少于10顆 產(chǎn)品簡介1設(shè)備機(jī)架采用不銹鋼骨架外包PP板,耐酸堿腐蝕;2電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部,與濕區(qū)和管路區(qū)完全隔離;3槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料;4機(jī)械手探入濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理;5設(shè)備排風(fēng)采用頂部百級FFU送新風(fēng),臺面下抽風(fēng),每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋,槽蓋下有單獨(dú)的抽風(fēng)裝置,排風(fēng)口處設(shè)有自動調(diào)節(jié)風(fēng)門,即上電打開風(fēng)門,斷電關(guān)閉風(fēng)門,具有風(fēng)壓檢測功能,以及氮?dú)?、壓縮空氣壓力報警功能;6溶液槽中藥液自動供液按設(shè)定好比例混合,并可在工作過程中根據(jù)設(shè)定補(bǔ)液;客戶根據(jù)自身工藝條件自行設(shè)定;7臺面為多孔結(jié)構(gòu),便于臺面上沖洗水、液的排出;8操作面設(shè)有透明PVC安全門;9設(shè)備設(shè)有漏電、急停、液位、過溫、安全門開、漏液、超時等保護(hù)和報警裝置,保證設(shè)備的安全可靠;10配備有進(jìn)口PFA,水、氣槍各一。 更多半導(dǎo)體兆聲清洗...
片盒清洗機(jī)-華林科納CSE 設(shè)備概況:主要功能:本設(shè)備主要手動/自動搬運(yùn)方式,通過對片盒化學(xué)液體浸泡、沖洗、漂洗、鼓泡、快排等方式進(jìn)行處理,從而達(dá)到一個用戶要求的效果。設(shè)備名稱:片盒清洗機(jī)設(shè)備型號:CSE-SC-N259整機(jī)尺寸(參考):約1700mm(L)×1400mm(W)×2000mm(H);(該設(shè)備非標(biāo)定制)操作形式:手動 設(shè)備組成該設(shè)備主要由清洗部分、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成 設(shè)備描述此裝置是一個手動的處理設(shè)備;設(shè)備前上方有各閥門、工藝流程的控制按鈕、指示燈、觸摸屏(PROFACE/OMRON)、音樂盒等,操作方便;主體材料:德國進(jìn)口 10mmPP 板,優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架,外包 3mmPP 板防腐;臺面板為德國 10mm PP 板;DIW 管路及構(gòu)件采用日本進(jìn)口 clean-PVC 管材,需滿足 18MW去離子水水質(zhì)要求;采用國際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工,焊接組裝均在萬級凈化間內(nèi)完成排風(fēng):位于機(jī)臺后上部工作照明:上方防酸照明安全考慮:1. 設(shè)有 EMO(急停裝置)2. 強(qiáng)電弱點(diǎn)隔離3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面4. 設(shè)備排風(fēng)口加負(fù)壓檢測表5. 設(shè)備三層防漏 漏盤傾斜 漏液報警 設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi) 更多的花籃和片盒清洗機(jī)設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096 18913575037可立即獲取免費(fèi)的片盒清洗機(jī)解決方案。