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始于90年代末

濕法制程整體解決方案提供商
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發(fā)布時間： 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領域，濕法設備占據約40%以上的工藝，隨著工藝技術的不斷發(fā)展，濕法設備已經成為LED外延及芯片制造領域的關鍵設備，如SPM酸清洗、有機清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納（江蘇）CSE深入研究LED生產工藝，現已形成可滿足LED產業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標準成套設備。 LED 芯片的制造工藝流程為：外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機設備 設備名稱華林科納（江蘇）CSE-外延片清洗機設備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應用領域集成電路、聲表面波（SAW）器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進封裝等專有技術系統(tǒng)潔凈性技術均勻性技術晶圓片N2干燥技術模塊化系統(tǒng)集成技術自動傳輸及精確控制技術溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術主要技術特點系統(tǒng)結構緊湊、安全腔體獨立密封，具有多種功能可實現晶圓干進干出采用工控機控制，功能強大，操作簡便可根據用戶要求提供個性化解決方案設備制造商華林科納（江蘇）半導體設備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ；18915583058更多的外延片清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網（regal-bio.cn），現在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費的半導體行業(yè)相關清洗設備解決方案。
發(fā)布時間： 2017 - 12 - 06
旋轉式噴鍍臺結合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應用要求等特點，在6＂ （150mm）晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉噴鍍技術傾斜式旋轉噴鍍單元分由兩個部分組成，一為陰極夾具、旋轉單元、導線電刷、Ｎ２ 保護單元組成的陰極回轉體，二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉噴鍍結構示意圖如下：從鍍制結構方式、鍍制工藝應用分析可以看出，采用傾斜式旋轉噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結構方式易實現槽體密封和附加N2 保護功能。二是在這種鍍制工藝中，陰極的旋轉運動使槽內電場不均問題得以解決，從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉的方式，可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進行鍍液噴射，實現攪拌功能，消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結構方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產需求。傾斜旋轉噴鍍技術、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結構本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結構，鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行，可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進行相關模擬、仿真和驗證，鍍液入口采用扇形噴咀式結構，可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結構的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納（江蘇）CSE采用傾斜旋轉噴鍍方法進行晶圓電鍍工藝處理，由于結構上的特點，該方法經實驗驗證具有：①結構簡單；②工藝參數控制容易；③有利氣泡的消除；④鍍制均勻性得到提高；⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝，同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉噴鍍系統(tǒng)，目前已批量生產并在工藝線上得到較好的應用，產品已通過技術定型鑒定和用戶驗收。實現的主要工藝指標：最...
發(fā)布時間： 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機1. 應用范圍:l 本機臺適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設備為垂直式雙槽體機臺，可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統(tǒng)設計, 高穩(wěn)定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機臺內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計，隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子，並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨，並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告，氣體不足，傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen，整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/，皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間： 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機-華林科納CSE華林科納（江蘇）半導體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長：單片式清洗裝置的優(yōu)點（與浸漬.槽式比較）1.晶片表面的微粒數非常少（到25nm可對應）例：附著粒子數…10個/W以下（0.08UM以上粒子）（參考）槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…（例）1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size（根據每個客戶可以定制） 液體濺射（塵埃強制除去）  （推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設備相關信息可以關注華林科納CSE官網（www.hlkncas.com），現在熱線咨詢400-8768-096；18913575037可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發(fā)布時間： 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)（CDS）-華林科納（江蘇）CSEChemical Dispense System System 華林科納（江蘇）半導體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途：本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送，經管道至設備；具有自動化程度高，配比精確，操作簡便等特點；具有良好的耐腐蝕性能?？刂颇Ｊ剑菏謩涌刂颇Ｊ健⒆詣涌刂颇Ｊ皆O備名稱華林科納（江蘇）CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N1507設計基準1.供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS2. CDS 將設置于化學房內：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房；3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材，內部管路及組件采PFA 451 HP 材質；4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點；5. 過濾器：配有10” PFA材質過濾器外殼；6. 供液泵：每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵；7. Empty Sensor & Level Sensor：酸堿類采用一般型靜電容近接開關；8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能：每種化學液體配兩個桶（自動切換）、配兩臺泵（一用一備）、帶過濾器；系統(tǒng)控制單元：配帶OMRON 8”彩色觸摸屏，OMRON品牌PLC系統(tǒng)；2. 操作模式： CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間： 2018 - 01 - 23
單片清洗機-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納（江蘇）CSE-自動單片式腐蝕清洗機應用于清洗（包括光刻板清洗）刻蝕 去膠 金屬剝離等；可處理晶圓尺寸2'-12'；可處理晶圓材料：硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等；主要應用領域：集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進封裝等  設 備 名 稱CSE-單片清洗機類  型單片式適 用 領 域半導體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量：1L/min/片4、蝕刻均一性良好（SiO?氧化膜被稀釋HF處理）：≤2%5、干燥時間：≤20S6、藥液回收率：＞95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短（相較于槽式清洗機）2、節(jié)約成本（藥液循環(huán)利用，消耗量遠低于槽式）3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結構，占地面積小 更多的單片（枚葉）式清洗相關設備可以關注華林科納（江蘇）半導體官網，關注http://regal-bio.cn ,400-8768-096，18913575037
發(fā)布時間： 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納（江蘇）CSEChemical Dispense System System 華林科納（江蘇）半導體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途：本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送，經管道至設備；具有自動化程度高，配比精確，操作簡便等特點；具有良好的耐腐蝕性能?？刂颇Ｊ剑菏謩涌刂颇Ｊ健⒆詣涌刂颇Ｊ?#160;設備名稱華林科納（江蘇）CSE-氫氟酸（HF）供液系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N2601設計基準1.供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS2. CDS 將設置于化學房內：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房；3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材，內部管路及組件采PFA 451 HP 材質；4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點；5. 過濾器：配有10” PFA材質過濾器外殼；6. 供液泵：每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵；7. Empty Sensor & Level Sensor：酸堿類采用一般型靜電容近接開關；8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能：每種化學液體配兩個桶（自動切換）、配兩臺泵（一用一備）、帶過濾器；系統(tǒng)控制單元：配帶OMRON 8”彩色觸摸屏，OMRON品牌PLC系統(tǒng)；2. 操作模式： CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，兼具自動化...
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不懼疫情沖擊，廈門聯(lián)芯增資提產逆勢而上

時間: 2020-04-21
點擊次數: 82

新冠病毒的來臨，讓全社會嚴陣以待。全球不斷攀升的確診人數對半導體市場和供應鏈都造成了一定壓力。然而壓力面前，具有前瞻性的企業(yè)卻不懼疫情影響，逆勢而上，增資提產，為今后長期的發(fā)展提前做好準備。這些消息釋放出來也極大地提振了全行業(yè)的士氣。

形勢嚴峻

新冠病毒向行業(yè)施壓

2019年，全球半導體行業(yè)進入下行周期，智能手機、PC、筆記本電腦等需求放緩導致了半導體市場的下滑。專家原本預測2020年半導體或將重回上升軌道，5G的部署與AI的需求將成為推動半導體行業(yè)復蘇的強勁動力。然而，新型冠狀病毒肺炎疫情的突然發(fā)生，為半導體行業(yè)回暖帶來不確定性。

集邦咨詢認為，疫情擴大使得未來終端需求能見度降低，尤以專注于智能手機與消費性電子領域的IC設計業(yè)，2020年第二季度營收可能受到較大影響。集邦咨詢修改了2020年第一季度智能手機生產總數的預估，下調至2.75億只，較去年同期衰退約12%，為近5年來新低。

疫情帶來壓力的同時，也推動人們對網絡通信給予更多的依賴與重視。市場重新評估數據中心、人工智能的價值。一大批人工智能、5G芯片企業(yè)產品加速落地。研究機構預計，2020年我國人工智能市場將再續(xù)輝煌，市場規(guī)模將達到42.5億美元，預計年增長率約為51.5%。而在5G通信方面，華為中國運營商業(yè)務部副總裁楊濤預測，到2023年，與5G相關的半導體收入將達到208億美元以上。雖然疫情的爆發(fā)帶給半導體產業(yè)些許沖擊，然5G與AI的帶動作用依舊值得期待。隨著5G商用進程的加速、AI、物聯(lián)網等創(chuàng)新技術快速發(fā)展?！靶禄ā憋L口帶來的巨大的市場機遇，也將給代工行業(yè)帶來更多機會。

不畏艱難

逆行者增資提產

2020年雖然迎來一個令人沮喪的開局，其中卻也不乏令人振奮的聲音。新型冠狀病毒肆虐的同時，有著無數逆行者在與無形病毒斗爭。與此同時，眾多集成電路領域企業(yè)加急復工復產，同樣為這場戰(zhàn)“疫”做出了貢獻，提供著基礎電子產品上的物資保障。

聯(lián)芯集成電路制造（廈門）有限公司便是其中之一。2月10日，聯(lián)芯集成電路制造（廈門）有限公司正式復工。隔天，聯(lián)電集團通過蘇州和艦增資廈門聯(lián)芯35億元。根據聯(lián)電公告，聯(lián)芯現階段實收資本額約為126.97億元，最新增資的35億元，由聯(lián)電集團透過和艦全數認購。累計本次參與增資之后，聯(lián)電集團投資聯(lián)芯總金額約117.81億元。

在疫情壓力面前增資擴產只是一個方面，與此同時，聯(lián)芯對于防疫復工、保生產方面的工作也十分重視。按照國家政策要求，聯(lián)芯積極部署和落實全方位疫情防控工作，并通過相關部門審核，認真完成復工的準備工作。在公司內部，為保障堅守崗位的每位員工健康有序的進行工作，聯(lián)芯推出了一系列管理制度。自疫情發(fā)生以來，聯(lián)芯加大重視程度，把疫情防控作為當前最重要的工作。據了解，目前聯(lián)芯產能100%滿載運營，供應鏈一切正常，所有員工無一例感染，做到安全生產、抗擊疫情“兩不誤、兩確保”。

在一些境外企業(yè)撤資之時，疫情下聯(lián)電集團的增資確保了聯(lián)芯的技術實力和產能規(guī)模得以增強，為進一步實現做大做強，提升國內晶圓代工廠商的制造能力奠定堅實的基礎。在全球新冠肺炎異常嚴峻的情形下，聯(lián)芯的增加投資和提升產能，獲得了廈門政府，以及行業(yè)上下游用戶的肯定。在福建省發(fā)展和改革委員會印發(fā)的2020年度省重點項目名單上，聯(lián)芯赫然在列。作為廈門火炬高新區(qū)的龍頭項目，聯(lián)芯發(fā)揮集聚效應，帶動了不少相關配套項目的落戶，隨著一系列配套項目的相繼引進，推動了廈門火炬高新區(qū)集成電路產業(yè)進一步發(fā)展升級，加快完善廈門火炬高新區(qū)的集成電路產業(yè)鏈。

“聯(lián)芯為5G芯片龐大的產業(yè)鏈在大陸地區(qū)代工帶來了強勁需求?！笔袌鋈耸侩綄Α吨袊娮訄蟆酚浾弑硎?。隨著未來國內代工企業(yè)能力的不斷增強，聯(lián)芯的增資必將為我國優(yōu)秀的IC設計公司提供穩(wěn)定的工藝能力保障。

聯(lián)電集團對于聯(lián)芯集成的增資也是半導體領域合作共贏發(fā)展的一個有力實踐。目前，聯(lián)芯已經成為廈門火炬高新區(qū)的重要企業(yè)，是海峽兩岸合資建設的第一座12英寸晶圓廠，將進一步推動火炬高新區(qū)集成電路產業(yè)的集聚發(fā)展。

半導體產業(yè)的發(fā)展需要國際化高度分工，企業(yè)的發(fā)展離不開全產業(yè)鏈的協(xié)同合作，只有在全球合作共贏的前提下，企業(yè)才能健康發(fā)展起來，企業(yè)也只有積極融入國際半導體生態(tài)圈，堅持自主研發(fā)與合作共贏的并行之路，才能共同面對環(huán)境壓力，推動企業(yè)健康發(fā)展。聯(lián)電集團增資廈門聯(lián)芯，將兩岸的技術優(yōu)勢與市場優(yōu)勢整合起來，共同應對挑戰(zhàn)，共贏市場新機遇。這是解決當前半導體所面臨發(fā)展瓶頸有效途徑之一。（來源：中國電子報????原作者：田成杰）
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