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歡迎訪問華林科納(江蘇)半導體設備技術有限公司官網(wǎng)
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始于90年代末

濕法制程整體解決方案提供商

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發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領域,濕法設備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術的不斷發(fā)展,濕法設備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領域的關鍵設備,如SPM酸清洗、有機清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標準成套設備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機設備 設備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機設備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應用領域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進封裝等專有技術系統(tǒng)潔凈性技術均勻性技術晶圓片N2干燥技術模塊化系統(tǒng)集成技術自動傳輸及精確控制技術溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術主要技術特點系統(tǒng)結構緊湊、安全腔體獨立密封,具有多種功能可實現(xiàn)晶圓干進干出采用工控機控制,功能強大,操作簡便可根據(jù)用戶要求提供個性化解決方案設備制造商華林科納(江蘇)半導體設備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費的半導體行業(yè)相關清洗設備解決方案。
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
旋轉式噴鍍臺結合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應用要求等特點,在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉噴鍍技術傾斜式旋轉噴鍍單元分由兩個部分組成,一為陰極夾具、旋轉單元、導線電刷、N2 保護單元組成的陰極回轉體,二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉噴鍍結構示意圖如下:從鍍制結構方式、鍍制工藝應用分析可以看出,采用傾斜式旋轉噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結構方式易實現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉運動使槽內電場不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進行鍍液噴射,實現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結構方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉噴鍍技術、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結構本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結構,鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進行相關模擬、仿真和驗證,鍍液入口采用扇形噴咀式結構,可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結構的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉噴鍍方法進行晶圓電鍍工藝處理,由于結構上的特點,該方法經(jīng)實驗驗證具有:①結構簡單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應用,產(chǎn)品已通過技術定型鑒定和用戶驗收。實現(xiàn)的主要工藝指標:最...
發(fā)布時間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機1. 應用范圍:l 本機臺適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設備為垂直式雙槽體機臺,可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統(tǒng)設計, 高穩(wěn)定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機臺內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長:單片式清洗裝置的優(yōu)點(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對應)例:附著粒子數(shù)…10個/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設備相關信息可以關注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經(jīng)管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能。控制模式:手動控制模式、自動控制模式設備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N1507設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內:酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內部管路及組件采PFA 451 HP 材質;4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動單片式腐蝕清洗機應用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應用領域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進封裝等  設 備 名 稱CSE-單片清洗機類  型單片式適 用 領 域半導體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短(相較于槽式清洗機)2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結構,占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關設備可以關注華林科納(江蘇)半導體官網(wǎng),關注http://regal-bio.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經(jīng)管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J?、自動控制模式 設備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N2601設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內:酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內部管路及組件采PFA 451 HP 材質;4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化...
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半導體加速物聯(lián)網(wǎng)落地,英特爾加速零售變革

時間: 2018-09-12
點擊次數(shù): 83

萬物互聯(lián)蘊含數(shù)萬億美元經(jīng)濟價值,全社會積極擁抱,無論是谷歌和阿里巴巴等互聯(lián)網(wǎng)巨頭,亦是IBM和微軟等老牌科技企業(yè),還有高通、英偉達和英特爾等半導體廠商,都早已瞄準這一新風口。各廠商不斷強調物聯(lián)網(wǎng)戰(zhàn)略,谷歌以物聯(lián)網(wǎng)操作系統(tǒng)Android Things 為核心,讓開發(fā)者大規(guī)模構建和維護物聯(lián)網(wǎng)設備,并推出Edge TPU芯片,將谷歌強大的AI能力擴展到各種智能設備上,讓本地就具有AI處理能力,這是谷歌搶攻物聯(lián)網(wǎng)市場核心手段。

半導體加速物聯(lián)網(wǎng)落地,英特爾加速零售變革

半導體廠商則變革物聯(lián)網(wǎng),適用各種智能設備的芯片以及人工智能、深度學習能力助推物聯(lián)網(wǎng)應用落地,例如基于深度學習視覺處理后的攝像頭,實現(xiàn)了快速、精準識別,提升應用價值,做到“看得懂”世界,讓筆者感嘆高科技引領的時代到來,萬物透過互聯(lián),賦予萬物感知、認知,我們處在了萬物互聯(lián)的好時代。

半導體廠商最大受益者

今年,物聯(lián)網(wǎng)得到了快速發(fā)展,從智能安防到智慧城市,從智能汽車到無人駕駛,從新零售到智慧零售等,萬物互聯(lián)帶給各行業(yè)變革,由于應用不斷擴大,物聯(lián)網(wǎng)也將迎來更大規(guī)模部署,而半導體廠商最先受益這一波紅利,來自Gartner分析數(shù)據(jù)顯示,物聯(lián)網(wǎng)的半導體市場將高達340億美元。物聯(lián)網(wǎng)市場的增長,對半導體行業(yè)產(chǎn)生了重大的影響。

英偉達因受益于AI芯片受市場追捧,高通對此也做出預測,物聯(lián)網(wǎng)芯片對年度能為能帶來10億美元營收,這是繼智能手機后,物聯(lián)網(wǎng)芯片將會成為高通第二大市場。英特爾在今年早些時候也給出一組數(shù)據(jù),人工智能芯片為英特爾創(chuàng)造了10億美元收入。

半導體加速物聯(lián)網(wǎng)落地,英特爾加速零售變革

作為積極擁抱物聯(lián)網(wǎng)的英特爾,去年營收創(chuàng)新高,來自數(shù)據(jù)中心(云)和物聯(lián)網(wǎng)保持高速增長,2017年物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)造了營收32億美元,同比增長20%。英特爾物聯(lián)網(wǎng)集團業(yè)務穩(wěn)步增長,第一季度物聯(lián)網(wǎng)業(yè)務營收8.40億美元,同比增長17%,第二季度營收為8.80億美元,去年同期增長22.2%,推動整體營收依舊強勁。

踏著這股浪潮,英特爾作為芯片巨頭,對物聯(lián)網(wǎng)戰(zhàn)略布局越來越清晰,且圍繞生態(tài)大肆投資相關創(chuàng)新企業(yè),僅今年在全球投資總額就超過1.15億美元,推動人工智能、云、物聯(lián)網(wǎng)和芯片技術發(fā)展。與此同時,圍繞邊緣計算中負載整合及計算視覺去構建針對物聯(lián)網(wǎng)應用的芯片平臺,從而在垂直市場推行端到端邊云分布式計算架構以支持行業(yè)運用。

英特爾加速視覺零售發(fā)展,推動物聯(lián)網(wǎng)在零售業(yè)落地

實現(xiàn)在邊緣的人工智能-計算機視覺,諸如為安防、工業(yè)、零售等重點領域帶來變革,在近日InfoComm China展上,英特爾就分享了視覺零售如何為物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展帶來新機會,發(fā)布了針對自助式設備的英特爾Smart Kiosk Module(SKM)。

在英特爾看來,在數(shù)字化轉型的浪潮中,零售業(yè)也迎來變革機遇,零售業(yè)正在利用物聯(lián)網(wǎng)技術推進實體店鋪數(shù)字化改造,增強店面場景化、立體化、智能化展示功能,而這也正是英特爾倡導視覺零售的重中之重,即數(shù)字標牌、教學及辦公場景中使用的交互式白板、公共信息亭等為代表的視覺零售的重點場景,以標準化方式整合零售硬件、軟件、API和傳感器,通過高度靈活、可擴展的創(chuàng)新解決方案,加速視覺零售的進程。

半導體加速物聯(lián)網(wǎng)落地,英特爾加速零售變革

英特爾物聯(lián)網(wǎng)事業(yè)部副總裁Jose Avalos指出,物聯(lián)網(wǎng)經(jīng)過幾年的發(fā)展,下一個階段發(fā)展將會是產(chǎn)品或者方案自治或者無人化狀態(tài)。要做到無人化,要做到自主或者自治,首先這個產(chǎn)品或者設備,必須對這個世界有感知力,通過這種感知得到大量的數(shù)據(jù),通過對數(shù)據(jù)的深度分析,能夠做出實時的決定。總而言之,下一階段人工智能發(fā)展趨勢主要包含幾個因素有感知,比如說機器視覺、智能分析Analytics、包括深度學習。

而英特爾為自助式設備首次為行業(yè)帶來了Smart Kiosk Module(SKM),英特爾SKM提供模組化的一站式解決方案,具備可擴展性和可維護性,可形成標準化,該模組可廣泛運用于銀行、商超、醫(yī)療等相關領域。

在深圳信步科技副總經(jīng)理葉志輝看來,英特爾SKM大家可以把它理解為一張顯卡,即插即用,比如說建行的智慧柜臺,智能終端都有人臉識別的功能,這個機器大家用起來可能很方便,但是在后面它可能有20到30個外設掛在上面,其實是一款很復雜的智能設備。而SKM的魅力和優(yōu)勢在于,假設某一產(chǎn)品的SKM是另外一個模塊,我可能可以很方便拿一個模塊,往上一換就可以了。

葉志輝進一步指出,SKM最重要的特點是它可以提高效率、降低成本,因為它是一種基于板集的模塊化設計,所以它可以縮短我們產(chǎn)品的開發(fā)周期,并且可以提高產(chǎn)品的穩(wěn)定性,這種靈活的搭配可以讓你很輕易的面對客人不同的需求,可以降低你新產(chǎn)品導入的一個風險。

英特爾可以為業(yè)界提供滿足計算需求、高性能并且價格合理的視覺解決方案,以英特爾SKM、英特爾SDM、會議解決方案為重點的三大領先技術,并發(fā)揮生態(tài)優(yōu)勢為視覺零售行業(yè)帶來源源不斷的創(chuàng)新活力,這三大方案加也將速視覺零售發(fā)展進程。

最后

半導體是推動物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展核心動力之一,依托強大芯片計算能力,提升云服務能力,豐富的應用帶來了物聯(lián)網(wǎng)蓬勃發(fā)展,也看到了在英特爾積極推動下,在零售、金融和安防等垂直領域得到了廣泛應用,從芯片到云計算(數(shù)據(jù)中心)再到邊緣計算,并利用AI能力,向開發(fā)者提供AI工具套件,以此提升各種智能設備感知能力,從而促使英特爾物聯(lián)網(wǎng)集團業(yè)務持續(xù)增長,也加速了物聯(lián)網(wǎng)時代的到來,開啟智能新時代。

作者系《劍指物聯(lián)》楊劍勇,物聯(lián)網(wǎng)資深人士,獲得“網(wǎng)易2017年度最佳簽約作者”,致力于深度解讀IoT和AI等前沿科技,基于對未來物聯(lián)網(wǎng)洞察和對趨勢判斷,其觀點被眾多權威媒體和知名企業(yè)引用。

來源:楊劍勇



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