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發(fā)布時間： 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領(lǐng)域，濕法設(shè)備占據(jù)約40%以上的工藝，隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展，濕法設(shè)備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備，如SPM酸清洗、有機清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納（江蘇）CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝，現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標準成套設(shè)備。 LED 芯片的制造工藝流程為：外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機設(shè)備 設(shè)備名稱華林科納（江蘇）CSE-外延片清洗機設(shè)備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應(yīng)用領(lǐng)域集成電路、聲表面波（SAW）器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進封裝等專有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨立密封，具有多種功能可實現(xiàn)晶圓干進干出采用工控機控制，功能強大，操作簡便可根據(jù)用戶要求提供個性化解決方案設(shè)備制造商華林科納（江蘇）半導體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ；18915583058更多的外延片清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)（regal-bio.cn），現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費的半導體行業(yè)相關(guān)清洗設(shè)備解決方案。
發(fā)布時間： 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺結(jié)合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應(yīng)用要求等特點，在6＂ （150mm）晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個部分組成，一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導線電刷、Ｎ２ 保護單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體，二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下：從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應(yīng)用分析可以看出，采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護功能。二是在這種鍍制工藝中，陰極的旋轉(zhuǎn)運動使槽內(nèi)電場不均問題得以解決，從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式，可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進行鍍液噴射，實現(xiàn)攪拌功能，消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設(shè)計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu)，鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行，可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進行相關(guān)模擬、仿真和驗證，鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu)，可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納（江蘇）CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進行晶圓電鍍工藝處理，由于結(jié)構(gòu)上的特點，該方法經(jīng)實驗驗證具有：①結(jié)構(gòu)簡單；②工藝參數(shù)控制容易；③有利氣泡的消除；④鍍制均勻性得到提高；⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應(yīng)于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝，同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng)，目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應(yīng)用，產(chǎn)品已通過技術(shù)定型鑒定和用戶驗收。實現(xiàn)的主要工藝指標：最...
發(fā)布時間： 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機1. 應(yīng)用范圍:l 本機臺適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機臺，可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設(shè)備已超過20年以上的應(yīng)用馬達控制系統(tǒng)設(shè)計, 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設(shè)計,微塵控制於每次運轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機臺內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設(shè)計，隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關(guān)90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子，並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨，並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告，氣體不足，傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen，整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/，皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?#216; 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間： 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機-華林科納CSE華林科納（江蘇）半導體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長：單片式清洗裝置的優(yōu)點（與浸漬.槽式比較）1.晶片表面的微粒數(shù)非常少（到25nm可對應(yīng)）例：附著粒子數(shù)…10個/W以下（0.08UM以上粒子）（參考）槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…（例）1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size（根據(jù)每個客戶可以定制） 液體濺射（塵埃強制除去）  （推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)（www.hlkncas.com），現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096；18913575037可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發(fā)布時間： 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)（CDS）-華林科納（江蘇）CSEChemical Dispense System System 華林科納（江蘇）半導體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途：本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送，經(jīng)管道至設(shè)備；具有自動化程度高，配比精確，操作簡便等特點；具有良好的耐腐蝕性能。控制模式：手動控制模式、自動控制模式設(shè)備名稱華林科納（江蘇）CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N1507設(shè)計基準1.供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS2. CDS 將設(shè)置于化學房內(nèi)：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房；3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材，內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì)；4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點；5. 過濾器：配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼；6. 供液泵：每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進口隔膜泵；7. Empty Sensor & Level Sensor：酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān)；8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能：每種化學液體配兩個桶（自動切換）、配兩臺泵（一用一備）、帶過濾器；系統(tǒng)控制單元：配帶OMRON 8”彩色觸摸屏，OMRON品牌PLC系統(tǒng)；2. 操作模式： CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間： 2018 - 01 - 23
單片清洗機-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納（江蘇）CSE-自動單片式腐蝕清洗機應(yīng)用于清洗（包括光刻板清洗）刻蝕 去膠 金屬剝離等；可處理晶圓尺寸2'-12'；可處理晶圓材料：硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等；主要應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進封裝等  設(shè) 備 名 稱CSE-單片清洗機類  型單片式適 用 領(lǐng) 域半導體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設(shè)備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量：1L/min/片4、蝕刻均一性良好（SiO?氧化膜被稀釋HF處理）：≤2%5、干燥時間：≤20S6、藥液回收率：＞95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短（相較于槽式清洗機）2、節(jié)約成本（藥液循環(huán)利用，消耗量遠低于槽式）3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu)，占地面積小 更多的單片（枚葉）式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注華林科納（江蘇）半導體官網(wǎng)，關(guān)注http://regal-bio.cn ,400-8768-096，18913575037
發(fā)布時間： 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納（江蘇）CSEChemical Dispense System System 華林科納（江蘇）半導體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途：本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送，經(jīng)管道至設(shè)備；具有自動化程度高，配比精確，操作簡便等特點；具有良好的耐腐蝕性能?？刂颇Ｊ剑菏謩涌刂颇Ｊ健⒆詣涌刂颇Ｊ?#160;設(shè)備名稱華林科納（江蘇）CSE-氫氟酸（HF）供液系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N2601設(shè)計基準1.供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS2. CDS 將設(shè)置于化學房內(nèi)：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房；3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材，內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì)；4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點；5. 過濾器：配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼；6. 供液泵：每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進口隔膜泵；7. Empty Sensor & Level Sensor：酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān)；8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能：每種化學液體配兩個桶（自動切換）、配兩臺泵（一用一備）、帶過濾器；系統(tǒng)控制單元：配帶OMRON 8”彩色觸摸屏，OMRON品牌PLC系統(tǒng)；2. 操作模式： CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，兼具自動化...
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廈門光電產(chǎn)業(yè)領(lǐng)跑全國，2017年LED外延芯片產(chǎn)值140億

時間: 2018-08-24
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　　7月份開始，PCB（印制電路板）接連漲價，LED顯示屏也“水漲船高”。業(yè)內(nèi)人士指出，下半年是LED顯示屏行業(yè)的傳統(tǒng)旺季，下游巨大的市場需求即將釋放，尤其是小間距顯示屏應(yīng)用的拓展有望迎來LED行業(yè)新一輪的爆發(fā)。

　　

　　LED行業(yè)作為半導體與泛半導體中市場規(guī)模幾千億元的市場空間，具備很好的賽道效應(yīng)，為優(yōu)秀企業(yè)成長提供潤土。廈門作為全國LED全產(chǎn)業(yè)基地之一，在全國14個LED產(chǎn)業(yè)基地中名列前茅，隨著上游外延芯片和下游LED球泡燈等應(yīng)用產(chǎn)業(yè)集中度不斷提高，在全國的頭部優(yōu)勢日益凸顯，逐步形成了強者恒強的集聚和輻射效應(yīng)。

　　

　　當下，在市委市政府“雙千億”工作引領(lǐng)下，廈門市光電產(chǎn)業(yè)正處于跨越式發(fā)展2.0版，創(chuàng)新驅(qū)動、轉(zhuǎn)型升級已成為行業(yè)主旋律：顯示產(chǎn)業(yè)從平板顯示向OLED等新型顯示方向發(fā)展；LED產(chǎn)業(yè)向燈具及智慧照明、Mini-LED、Micro-LED、健康照明、超越功能照明跨界應(yīng)用等方向快速融合發(fā)展；以氮化鎵和碳化硅等為代表的第三代半導體產(chǎn)業(yè)快速崛起；光通信產(chǎn)業(yè)向5G等高速應(yīng)用方向發(fā)展。

　　

　　完善產(chǎn)業(yè)鏈，創(chuàng)新引領(lǐng)培育產(chǎn)業(yè)發(fā)展新引擎

　　

　　今年1月份，位于廈門市的世界三大液晶基板玻璃制造廠商之一――電氣硝子二期項目正式投產(chǎn)，5月全面生產(chǎn)，月產(chǎn)能達260萬平方米，其生產(chǎn)的基板玻璃厚度只有0.4-0.5毫米，比一根0.5毫米簽字筆畫出的線的寬度還要薄，是構(gòu)成液晶面板重要的原材料之一。

　　

　　處于產(chǎn)業(yè)鏈上游的電氣硝子項目，是廈門市堅持龍頭引領(lǐng)帶動平板顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展的真實寫照。廈門從產(chǎn)業(yè)鏈切入，瞄準產(chǎn)業(yè)鏈上游、中游和下游，以鏈式布局促進產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展，逐步形成完整的平板顯示產(chǎn)業(yè)鏈。當前廈門市平板顯示行業(yè)的產(chǎn)業(yè)集中度越來越高，以LTPTFT-LCD和AMOLED為代表的新技術(shù)、新產(chǎn)品和新工藝相關(guān)的產(chǎn)業(yè)技術(shù)持續(xù)創(chuàng)新，成為支撐和引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展引擎。

　　

　　液晶面板廠商廈門天馬屢屢創(chuàng)下業(yè)界“第一”:2011年，建成中國第一條LTPS(低溫多晶硅)生產(chǎn)線(5.5代)，填補了我國高端顯示領(lǐng)域空白；2016年2月第6代LTPS產(chǎn)線全線貫通，是中國大陸首條成功點亮的第6代LTPS產(chǎn)線；去年底，與上海微電子裝備(集團)股份有限公司聯(lián)合研發(fā)的國內(nèi)首臺新型顯示用6代高分辨率TFT曝光機啟用，該設(shè)備是新型顯示行業(yè)中的關(guān)鍵核心工藝設(shè)備，有利于加強我國新型顯示行業(yè)的核心競爭力。

　　

　　此外，友達光電、宸鴻科技、宸美光電、達運精密等，其生產(chǎn)的背先模組、液晶顯示模組、觸摸屏、精密模具等產(chǎn)品在市場上具有較高的占有率。

　　

　　本土企業(yè)崛起，LED外延芯片14年保持全國第一

　　

　　廈門市光電產(chǎn)業(yè)在全國的“領(lǐng)跑”趨勢，折射出的是市委市政府高瞻遠矚的戰(zhàn)略眼光。早期，臺灣地區(qū)光電產(chǎn)業(yè)向祖國大陸進行產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移，廈門市充分發(fā)揮對臺經(jīng)濟合作和貿(mào)易往來的優(yōu)勢，主動承接這一溢出效應(yīng)，加強和推進與臺灣地區(qū)光電產(chǎn)業(yè)在技術(shù)攻關(guān)、市場拓展、產(chǎn)業(yè)配套等方面的合作，并逐步在大陸光電產(chǎn)業(yè)競爭中嶄露頭角。繼友達光電之后，冠捷、晶宇光電、宸鴻、達運等一批臺灣地區(qū)光電企業(yè)落戶廈門市，并帶動了一批本土企業(yè)快速成長，廈門市光電產(chǎn)業(yè)吸附和集聚效應(yīng)日益形成。

　　

　　當前，LED芯片產(chǎn)業(yè)仍然呈現(xiàn)產(chǎn)能向大陸轉(zhuǎn)移、行業(yè)集中度提升兩大趨勢，通過持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新，廈門市的光電產(chǎn)業(yè)技術(shù)已從國內(nèi)“并跑”階段向部分“領(lǐng)跑”的格局轉(zhuǎn)變。來自廈門市的三安光電通過擴產(chǎn)提升份額和技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新，從普通照明、背光源、裝飾照明到汽車照明、miniLED/microLED，其產(chǎn)品附加值持續(xù)提升，行業(yè)龍頭地位穩(wěn)固，且有望強者恒強。同時，乾照光電、開發(fā)晶照明和晶宇光電在外延芯片及半導體領(lǐng)域也持續(xù)創(chuàng)新，部分LED外延芯片等技術(shù)和工藝的先進性成熟性也領(lǐng)跑國內(nèi)。

　　

　　數(shù)據(jù)顯示，去年廈門LED產(chǎn)業(yè)前十大企業(yè)產(chǎn)值達263.04億元，占廈門LED全行業(yè)產(chǎn)值66.21%。其中，廈門市LED外延芯片產(chǎn)值達140億元，同比增長32.01%，LED外延芯片規(guī)模、產(chǎn)業(yè)實力和產(chǎn)量連續(xù)14年保持全國第一；LED光源類高端產(chǎn)品連續(xù)8年成為全球最大的制造和出口基地之一，占全國出口額的36.4%，占據(jù)全球產(chǎn)量的三分之一。其中，廈門市的立達信、陽光恩耐、通士達、龍勝達等四家企業(yè)位列2017年全國LED照明產(chǎn)品出口前十企業(yè)。

　　

　　亮彩數(shù)據(jù)

　　

　　●去年廈門LED產(chǎn)業(yè)前十大企業(yè)產(chǎn)值達263.04億元，占廈門LED全行業(yè)產(chǎn)值66.21%。

　　

　　●廈門市LED外延芯片規(guī)模、產(chǎn)業(yè)實力和產(chǎn)量連續(xù)14年保持全國第一。

　　

　　●廈門市LED光源類高端產(chǎn)品連續(xù)8年成為全球最大的制造和出口基地之一，占全球產(chǎn)量的三分之一。

　　

　　來源:廈門網(wǎng)
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