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始于90年代末

濕法制程整體解決方案提供商

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發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領域,濕法設備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術的不斷發(fā)展,濕法設備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領域的關鍵設備,如SPM酸清洗、有機清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標準成套設備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機設備 設備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機設備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應用領域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進封裝等專有技術系統(tǒng)潔凈性技術均勻性技術晶圓片N2干燥技術模塊化系統(tǒng)集成技術自動傳輸及精確控制技術溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術主要技術特點系統(tǒng)結構緊湊、安全腔體獨立密封,具有多種功能可實現(xiàn)晶圓干進干出采用工控機控制,功能強大,操作簡便可根據(jù)用戶要求提供個性化解決方案設備制造商華林科納(江蘇)半導體設備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費的半導體行業(yè)相關清洗設備解決方案。
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺結合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應用要求等特點,在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個部分組成,一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導線電刷、N2 保護單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體,二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結構示意圖如下:從鍍制結構方式、鍍制工藝應用分析可以看出,采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結構方式易實現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉(zhuǎn)運動使槽內(nèi)電場不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進行鍍液噴射,實現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結構方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結構本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結構,鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進行相關模擬、仿真和驗證,鍍液入口采用扇形噴咀式結構,可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結構的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進行晶圓電鍍工藝處理,由于結構上的特點,該方法經(jīng)實驗驗證具有:①結構簡單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應用,產(chǎn)品已通過技術定型鑒定和用戶驗收。實現(xiàn)的主要工藝指標:最...
發(fā)布時間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機1. 應用范圍:l 本機臺適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設備為垂直式雙槽體機臺,可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統(tǒng)設計, 高穩(wěn)定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機臺內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長:單片式清洗裝置的優(yōu)點(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對應)例:附著粒子數(shù)…10個/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設備相關信息可以關注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經(jīng)管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J健⒆詣涌刂颇J皆O備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N1507設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動單片式腐蝕清洗機應用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應用領域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進封裝等  設 備 名 稱CSE-單片清洗機類  型單片式適 用 領 域半導體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短(相較于槽式清洗機)2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結構,占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關設備可以關注華林科納(江蘇)半導體官網(wǎng),關注http://regal-bio.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經(jīng)管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J?、自動控制模式 設備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N2601設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化...
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行業(yè)新聞:廣州半導體協(xié)會成立,為廣州注入“芯”動能

時間: 2018-06-05
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6月2日至3日,廣州市半導體座談會、廣州半導體高峰論壇在黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)舉行,廣州市半導體協(xié)會在該區(qū)宣布正式成立。該協(xié)會將帶動打造廣州半導體發(fā)展行業(yè)聯(lián)盟,構建協(xié)同發(fā)展的產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈,推動廣州半導體產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)跨越式發(fā)展,對本地半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有里程碑意義。

中國科學院院士、復旦大學校長許寧生,國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司總裁丁文武、中科院微電子所所長葉甜春、復旦大學微電子學院執(zhí)行院長張衛(wèi)、中山大學微電子學院院長鄧少芝等10余名院士專家、50余家市內(nèi)半導體企業(yè)代表及來自社會各界的160名代表參加了本次活動。

汽車電子芯片可作為穗差異化發(fā)展突破口

在6月2日舉行的廣州市半導體座談會上,來自業(yè)界、學界、投資界和政界的近30位嘉賓圍繞全球視野下廣州的半導體產(chǎn)業(yè),尤其對集成電路產(chǎn)業(yè)應如何謀篇布局展開了熱烈討論。

“我很高興看到廣州的半導體產(chǎn)業(yè)動起來了?!敝锌圃何㈦娮铀L葉甜春認為,集成電路是全球化的產(chǎn)業(yè),沒有一個地方能夠全部做全,不如選擇在一個點上做深做透,關鍵是要差異化,要比競爭者更先進、更有競爭力、更有引領性,做到不可替代。

粵芯CEO、廣州開發(fā)區(qū)集成電路價值創(chuàng)新園顧問陳衛(wèi)在發(fā)言中說道:“汽車電子芯片有這么大的需求,為什么中國的IC設計廠進不去?就是因為我們?nèi)狈ψ约旱恼J證平臺,終端客戶只能用國外的產(chǎn)品。”他透露,粵芯正與廣汽、北汽商談,希望合作打造一個有公信力的認證平臺,為中國自己的IC設計企業(yè)服務,使國內(nèi)的汽車企業(yè)都能放心使用國產(chǎn)的產(chǎn)品。此外,廣州的資本、市場雙雙在線,搭建這樣一個平臺,還有助于培養(yǎng)更多的人才?!皬幕浶咀銎?,我們要做差異化?!标愋l(wèi)表示。

在中國科學院院士、復旦大學校長許寧生看來,中國的需求是全世界產(chǎn)業(yè)發(fā)展的動力,“我們到了參與全球競爭最尖端、最核心技術的關鍵節(jié)點,應該借這個機會形成自己的核心競爭力?!?/p>

廣東省經(jīng)信委原黨組副書記、巡視員鄒生表示,接下來重點要做三件事:一是充分發(fā)揮廣東產(chǎn)業(yè)基金的作用,抓緊投資芯片項目;二是借助目前的東風,做好廣州芯片設計的產(chǎn)業(yè)整合;三是抓好應用企業(yè)的對接,發(fā)揮廣東制造業(yè)大省的優(yōu)勢,瞄準智能制造、物聯(lián)網(wǎng)等,把人才聚集起來。

廣州市半導體協(xié)會凝結粵港澳大灣區(qū)價值創(chuàng)新合力

6月3日,廣州市半導體協(xié)會在黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)宣布成立,并舉行揭牌儀式。該協(xié)會由粵芯發(fā)起并任會長單位,51個單位共同創(chuàng)會。

翻閱創(chuàng)會會員名單,其中既有安凱微電子、昂寶電子等多家黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)電子信息企業(yè),還有來自深圳、佛山的上下游企業(yè);既有華南理工大學、中山大學、華南師范大學、廣州大學等本地高校院所,澳門大學亦加入其中,集結了粵港澳大灣區(qū)的行業(yè)力量。

復旦大學微電子學院執(zhí)行院長張衛(wèi)認為,廣州的集成電路產(chǎn)業(yè)要放在廣東省、珠三角、粵港澳大灣區(qū)的背景下來看,“廣州將來要成為粵港澳大灣區(qū)的一個核心,粵芯應該成為我們粵港澳大灣區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)價值創(chuàng)新平臺的核心?!?/p>

“今天廣州半導體協(xié)會成立后,各方面的資源開始向廣州集聚。我們希望廣州成為國家集成電路產(chǎn)業(yè)的一支主力軍,不只是生力軍,共同把中國的集成電路產(chǎn)業(yè)帶上一個新高度?!比~甜春表示。

黃埔區(qū)區(qū)長、廣州開發(fā)區(qū)管委會常務副主任陳小華在致辭中提到,希望各位專家、企業(yè)家把更多的科研成果、產(chǎn)業(yè)項目“投資到黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)這個離成功最近的地方,共謀產(chǎn)業(yè)發(fā)展,共創(chuàng)美好未來,共同推動廣州‘芯’強起來?!?/p>

據(jù)介紹,該協(xié)會將承擔會員培訓交流、市場評估、會展招商、行業(yè)統(tǒng)計調(diào)查、企業(yè)和產(chǎn)品認定評測等業(yè)務職能?!皡f(xié)會將發(fā)揮溝通紐帶的作用,為政府出謀劃策,與中國半導體協(xié)會做好對接,為產(chǎn)業(yè)鏈上的企業(yè)提供服務。”陳衛(wèi)介紹。

廣州半導體產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展勢頭強勁

近年來,廣州牢牢抓住半導體產(chǎn)業(yè)新一輪發(fā)展的“春天”,提前布局集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展高地,加快建設“中國制造2025”試點示范城市,先后出臺了《廣州市鼓勵發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)若干規(guī)定》、《廣州市加快IAB產(chǎn)業(yè)發(fā)展五年行動計劃》,明確將集成電路作為產(chǎn)業(yè)發(fā)展的領域重點和方向。

經(jīng)過不懈努力,廣州在集成電路設計、封裝和測試,以及半導體器件、光電器件等領域逐步實現(xiàn)了從無到有、漸具規(guī)模。廣州IAB產(chǎn)業(yè)計劃的實施,拉開了半導體產(chǎn)業(yè)蓄勢而發(fā)的序幕。

2017年底,黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)引進了廣州市首個晶圓制造項目——粵芯項目,落地中新廣州知識城,將建成國內(nèi)第一座以虛擬IDM為營運策略的12寸芯片廠,也是廣州第一條12寸芯片生產(chǎn)線,填補了廣州制造業(yè)“缺芯”空白。

該項目建成達產(chǎn)后,將實現(xiàn)月產(chǎn)40000片12英寸晶圓的生產(chǎn)能力,將滿足物聯(lián)網(wǎng)、汽車電子等創(chuàng)新應用的模擬芯片需求,實現(xiàn)百億級的銷售目標,進一步帶動上下游企業(yè)形成千億元產(chǎn)值的規(guī)模。

在粵芯項目的帶動下,15家關聯(lián)企業(yè)簽約落戶在此,包括14個產(chǎn)業(yè)項目和一只規(guī)模達50億元的集成電路產(chǎn)業(yè)基金,構建起“芯片設計—晶圓制造—封裝測試—終端應用”為一體的作業(yè)模式,形成產(chǎn)業(yè)項目集聚集群集約的全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)圈,這里將建設成為廣州創(chuàng)“芯”智造園。 (出自:南方網(wǎng)

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