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始于90年代末

濕法制程整體解決方案提供商

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發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領(lǐng)域,濕法設(shè)備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展,濕法設(shè)備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)成套設(shè)備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應(yīng)用領(lǐng)域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進(jìn)封裝等專有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨立密封,具有多種功能可實現(xiàn)晶圓干進(jìn)干出采用工控機(jī)控制,功能強(qiáng)大,操作簡便可根據(jù)用戶要求提供個性化解決方案設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)清洗設(shè)備解決方案。
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺結(jié)合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應(yīng)用要求等特點,在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個部分組成,一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導(dǎo)線電刷、N2 保護(hù)單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體,二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下:從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應(yīng)用分析可以看出,采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護(hù)功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動使槽內(nèi)電場不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進(jìn)行鍍液噴射,實現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設(shè)計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu),鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進(jìn)行相關(guān)模擬、仿真和驗證,鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu),可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進(jìn)行晶圓電鍍工藝處理,由于結(jié)構(gòu)上的特點,該方法經(jīng)實驗驗證具有:①結(jié)構(gòu)簡單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應(yīng)于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應(yīng)用,產(chǎn)品已通過技術(shù)定型鑒定和用戶驗收。實現(xiàn)的主要工藝指標(biāo):最...
發(fā)布時間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機(jī)1. 應(yīng)用范圍:l 本機(jī)臺適用於半導(dǎo)體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺,可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進(jìn)行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設(shè)備已超過20年以上的應(yīng)用馬達(dá)控制系統(tǒng)設(shè)計, 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨(jìng)設(shè)計,微塵控制於每次運(yùn)轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機(jī)臺內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達(dá): DC無刷馬達(dá)750Wl 真空負(fù)壓軸封設(shè)計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(hù)(加熱器空燒保護(hù))l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關(guān)90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機(jī)+ PLC可程式自動化控制器(人機(jī) Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?#216; 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機(jī)-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長:單片式清洗裝置的優(yōu)點(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對應(yīng))例:附著粒子數(shù)…10個/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個/W2.藥液純水的消費(fèi)量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強(qiáng)制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能。控制模式:手動控制模式、自動控制模式設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N1507設(shè)計基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機(jī)-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動單片式腐蝕清洗機(jī)應(yīng)用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進(jìn)封裝等  設(shè) 備 名 稱CSE-單片清洗機(jī)類  型單片式適 用 領(lǐng) 域半導(dǎo)體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設(shè)備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短(相較于槽式清洗機(jī))2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠(yuǎn)低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu),占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體官網(wǎng),關(guān)注http://regal-bio.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J健⒆詣涌刂颇J?#160;設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N2601設(shè)計基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化...
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負(fù)責(zé)此項研究的伊利諾伊大學(xué)材料與工程學(xué)教授保羅·布勞恩說,由于小型化儲能技術(shù)一直以來都是一個難題,微型設(shè)備通常都由片外電池或電源提供能源。其難點主要在于3D電極,這種電極十分復(fù)雜,在普通電池上實現(xiàn)的難

時間: 2016-05-31
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國家能源局、工業(yè)和信息化部、國家認(rèn)監(jiān)委日前聯(lián)合下發(fā)《關(guān)于促進(jìn)先進(jìn)光伏技術(shù)產(chǎn)品應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)升級的意見》(以下簡稱《意見》),提出應(yīng)提高光伏產(chǎn)品市場準(zhǔn)入標(biāo)準(zhǔn),支持先進(jìn)技術(shù)產(chǎn)品擴(kuò)大市場,全面實施“領(lǐng)跑者”計劃,引導(dǎo)光伏技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)升級。備受政策支持的光伏行業(yè)再獲利好,令投資者大呼光伏行業(yè)暖春已至。

承接2014年利好趨勢,2015年入年以來,光伏行業(yè)已獲包括國務(wù)院、國家能源局、發(fā)改委、工信部在內(nèi)的多個政府機(jī)關(guān)和部委的政策力挺?!蛾P(guān)于下達(dá)2015年光伏發(fā)電建設(shè)實施方案的通知》、《關(guān)于進(jìn)一步深化電力體制改革的若干意見》等多項核心扶持政策的出臺,對于光伏行業(yè)而言已達(dá)到強(qiáng)有力的提振作用。而此次三部委聯(lián)合發(fā)布的《意見》無疑又是一劑強(qiáng)心針。值得注意的是,區(qū)別于以往政策,三部委此次發(fā)文首次將“領(lǐng)跑者”計劃準(zhǔn)入標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行量化,且明確提出將以政策資金和政府采購方式對“領(lǐng)跑者”先進(jìn)技術(shù)產(chǎn)品進(jìn)行政策傾斜。

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“領(lǐng)跑者”需拿技術(shù)說話

所謂“領(lǐng)跑者”專項計劃實則衍生于2015年1月8日發(fā)改委等八部門發(fā)布的《能效“領(lǐng)跑者”制度實施方案》。能效“領(lǐng)跑者”是指同類可比范圍內(nèi)能源利用效率最高的產(chǎn)品、企業(yè)或單位。具體到此次三部委所提的“領(lǐng)跑者”專項計劃,國家能源局將每年安排專門的市場規(guī)模實施該計劃,要求項目采用先進(jìn)技術(shù)產(chǎn)品?!兑庖姟分赋?,2015年,“領(lǐng)跑者”先進(jìn)技術(shù)產(chǎn)品應(yīng)達(dá)到以下指標(biāo):多晶硅電池組件和單晶硅電池組件的光電轉(zhuǎn)換效率分別達(dá)到16.5%和17%以上;高倍聚光光伏組件光電轉(zhuǎn)換效率達(dá)到30%以上;硅基、銅銦鎵硒、碲化鎘及其他薄膜電池組件的光電轉(zhuǎn)換效率分別達(dá)到12%、13%、13%和12%以上。實則是將“領(lǐng)跑者”計劃的準(zhǔn)入標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行轉(zhuǎn)化率上的量化。由此可見,光伏企業(yè)進(jìn)入“領(lǐng)跑者”計劃的唯一敲門磚便是技術(shù)。

根據(jù)這一標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行拔尖,無疑將有利于光伏行業(yè)的龍頭企業(yè),漢能、英利、天合光能等大型光伏企業(yè)被看好。此外,薄膜發(fā)電技術(shù)產(chǎn)品被單獨提出并明確列入此次意見中,有觀點指出這體現(xiàn)出國家相關(guān)機(jī)構(gòu)對于薄膜發(fā)電的強(qiáng)大信心。作為國內(nèi)致力于薄膜發(fā)電技術(shù)創(chuàng)新和發(fā)展的大型企業(yè),漢能被看作是一大受益方。

據(jù)了解,作為一家全球化的清潔能源跨國公司和全球薄膜太陽能發(fā)電領(lǐng)導(dǎo)者,漢能已通過技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新和一系列全球性的并購和整合,掌握了世界最先進(jìn)的薄膜太陽能發(fā)電技術(shù)。在過去的兩年中,漢能已先后并購銅銦鎵硒(CIGS)薄膜電池制造商Solibro、美國領(lǐng)先的太陽能企業(yè)MiaSolé和Global?Solar?Energy公司以及美國阿爾塔設(shè)備公司(Alta?Devices)。目前,其薄膜發(fā)電技術(shù)已達(dá)到國際領(lǐng)先水平。漢能的銅銦鎵硒(CIGS)組件經(jīng)德國弗勞恩霍夫太陽能系統(tǒng)研究院(Fraunhofer?ISE)認(rèn)證的最高轉(zhuǎn)化率達(dá)到21%;砷化鎵(GaAs)組件獲得美國國家可再生能源實驗室(NREL)認(rèn)證的最高轉(zhuǎn)化率達(dá)到?30.8%,這也是薄膜發(fā)電技術(shù)轉(zhuǎn)換率最高的世界紀(jì)錄。用技術(shù)說話,漢能勢必進(jìn)入“領(lǐng)跑者”行列。

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請“領(lǐng)跑者”技術(shù)產(chǎn)品先行

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除了細(xì)化“領(lǐng)跑者”準(zhǔn)入標(biāo)準(zhǔn)外,此次三部委發(fā)布的《意見》還為“領(lǐng)跑者”技術(shù)應(yīng)用護(hù)航到底?!兑庖姟分赋觯瑧?yīng)發(fā)揮財政資金和政府采購支持光伏發(fā)電技術(shù)進(jìn)步的作用。國家支持的解決無電人口用電、偏遠(yuǎn)地區(qū)缺電問題和光伏扶貧等公益性項目、國家援外項目、國家和各級能源主管部門組織實施的各類光伏發(fā)電應(yīng)用示范項目、各級地方政府使用財政資金支持的光伏發(fā)電項目以及在各級政府機(jī)構(gòu)建筑設(shè)施上安裝的光伏發(fā)電項目,優(yōu)先采用“領(lǐng)跑者”先進(jìn)技術(shù)產(chǎn)品。實則是通過國家及政府的力量鼓勵“領(lǐng)跑者”技術(shù)進(jìn)行落地應(yīng)用。而在這一點上,漢能早已做出有益的嘗試。

2014年11月APEC在北京召開,就在朋友圈驚呼“APEC藍(lán)”的時候,漢能已經(jīng)將太陽能薄膜發(fā)電技術(shù)運(yùn)用在了APEC會議核心區(qū)的車棚上,使其不僅實現(xiàn)節(jié)能環(huán)保,還做到了透光、美觀,成為APEC場館內(nèi)的一道別樣的風(fēng)景。

此外,漢能還積極尋求與地方政府的合作,以太陽能薄膜發(fā)電技術(shù)助推新農(nóng)村建設(shè)。去年10月,漢能與甘肅省玉門市政府合作建設(shè)東渠村美麗鄉(xiāng)村分布式光伏發(fā)電項目,并使其成為當(dāng)?shù)卣懊利愢l(xiāng)村”建設(shè)的示范項目。通過引入漢能薄膜太陽能技術(shù)進(jìn)行樓宇屋頂分布式光伏發(fā)電改造,為當(dāng)?shù)剞r(nóng)民帶來清潔電力供給,并擴(kuò)寬致富渠道。在總結(jié)了甘肅玉門的成功模式后,漢能于今年3月與安徽省淮北市濉溪縣劉橋鎮(zhèn)鎮(zhèn)政府簽訂戶用光伏發(fā)電系統(tǒng)及相關(guān)服務(wù)項目供應(yīng)合同,為當(dāng)?shù)鼐用襁M(jìn)行樓屋頂薄膜發(fā)電組件鋪設(shè)。此外,漢能還與當(dāng)?shù)卣炗唴f(xié)議,無償捐贈價值48萬元的戶用光伏發(fā)電供當(dāng)?shù)鼐蠢显菏褂谩?/span>

“領(lǐng)跑者”計劃成為此番三部委聯(lián)合發(fā)文中最抓人眼球的亮點,同時也是以漢能為代表的光伏企業(yè)在即將到來的產(chǎn)業(yè)升級中必爭的關(guān)鍵點。能否成功躋身“領(lǐng)跑者”之列,搭上財政資金和政府采購支持的便車,還得拿過硬的技術(shù)說話。

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