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發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領(lǐng)域,濕法設(shè)備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展,濕法設(shè)備已經(jīng)成為L(zhǎng)ED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目需求的全自動(dòng)濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)成套設(shè)備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺(tái)圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測(cè)試。 CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應(yīng)用領(lǐng)域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進(jìn)封裝等專有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動(dòng)傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點(diǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨(dú)立密封,具有多種功能可實(shí)現(xiàn)晶圓干進(jìn)干出采用工控機(jī)控制,功能強(qiáng)大,操作簡(jiǎn)便可根據(jù)用戶要求提供個(gè)性化解決方案設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)清洗設(shè)備解決方案。
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺(tái)結(jié)合微組裝工藝對(duì)鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應(yīng)用要求等特點(diǎn),在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個(gè)部分組成,一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導(dǎo)線電刷、N2 保護(hù)單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體,二為三角形槽體、陽(yáng)極和電力線擋板組成的陽(yáng)極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下:從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應(yīng)用分析可以看出,采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢(shì)。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實(shí)現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護(hù)功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使槽內(nèi)電場(chǎng)不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進(jìn)行鍍液噴射,實(shí)現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設(shè)計(jì)最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢(shì)斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu),鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場(chǎng)環(huán)境。通過進(jìn)行相關(guān)模擬、仿真和驗(yàn)證,鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu),可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場(chǎng)。從而通過改變流場(chǎng)的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點(diǎn)可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進(jìn)行晶圓電鍍工藝處理,由于結(jié)構(gòu)上的特點(diǎn),該方法經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證具有:①結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應(yīng)于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時(shí)可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應(yīng)用,產(chǎn)品已通過技術(shù)定型鑒定和用戶驗(yàn)收。實(shí)現(xiàn)的主要工藝指標(biāo):最...
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機(jī)1. 應(yīng)用范圍:l 本機(jī)臺(tái)適用於半導(dǎo)體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺(tái),可同Run 50片.l 可對(duì)旋乾步驟進(jìn)行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設(shè)備已超過20年以上的應(yīng)用馬達(dá)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì), 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計(jì), 震動(dòng)值均控制於300 um 以下.l 高潔淨(jìng)設(shè)計(jì),微塵控制於每次運(yùn)轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機(jī)臺(tái)內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達(dá): DC無刷馬達(dá)750Wl 真空負(fù)壓軸封設(shè)計(jì),隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測(cè)保護(hù)(加熱器空燒保護(hù))l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關(guān)90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動(dòng)態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動(dòng)異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機(jī)+ PLC可程式自動(dòng)化控制器(人機(jī) Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲(chǔ)存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?#216; 儲(chǔ)存能力記憶模組...
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機(jī)-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長(zhǎng):?jiǎn)纹角逑囱b置的優(yōu)點(diǎn)(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對(duì)應(yīng))例:附著粒子數(shù)…10個(gè)/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個(gè)/W2.藥液純水的消費(fèi)量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個(gè)客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強(qiáng)制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體清洗解決方案。
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 03 - 07
自動(dòng)供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng) 適用對(duì)象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng)設(shè)備型號(hào)CSE-CDS-N1507設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡(jiǎn)稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房?jī)?nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測(cè)器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶(自動(dòng)切換)、配兩臺(tái)泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動(dòng)化與親和力。在...
發(fā)布時(shí)間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機(jī)-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動(dòng)單片式腐蝕清洗機(jī)應(yīng)用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進(jìn)封裝等  設(shè) 備 名 稱CSE-單片清洗機(jī)類  型單片式適 用 領(lǐng) 域半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設(shè)備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時(shí)間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點(diǎn)1、單片處理時(shí)間短(相較于槽式清洗機(jī))2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠(yuǎn)低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu),占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體官網(wǎng),關(guān)注http://regal-bio.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動(dòng)供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對(duì)象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設(shè)備型號(hào)CSE-CDS-N2601設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡(jiǎn)稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房?jī)?nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測(cè)器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶(自動(dòng)切換)、配兩臺(tái)泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動(dòng)化...
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理解波導(dǎo):增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)近眼顯示器的關(guān)鍵技術(shù)

時(shí)間: 2021-02-26
點(diǎn)擊次數(shù): 161

增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(AR)便攜式和可穿戴設(shè)備的市場(chǎng)正在迅速增長(zhǎng)。在各種硬件實(shí)現(xiàn)形式中,帶透明眼鏡的頭戴式顯示器(HMD)或近眼顯示器(NED)可提供最有效和身臨其境的AR體驗(yàn)。由于其輕薄的特性,光波導(dǎo)被認(rèn)為是消費(fèi)級(jí)增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(AR)眼鏡的無與倫比的選擇,但由于其價(jià)格高昂和技術(shù)壁壘,它仍然被禁止。隨著諸如Hololens IIMagic Leap One之類的主流AR可穿戴設(shè)備采用波導(dǎo)解決方案并展示了其批量生產(chǎn)能力,以及最近披露的針對(duì)AR光模塊制造商DigiLens,NedARLingXi的融資新聞,波導(dǎo)已成為人們關(guān)注的焦點(diǎn)。 AR玻璃行業(yè)的熱門話題。

光波導(dǎo)在AR NED系統(tǒng)中如何工作?所謂的“陣列波導(dǎo)”,“幾何波導(dǎo)”,“衍射波導(dǎo)”,“全息波導(dǎo)”和“體積波導(dǎo)”之間是什么關(guān)系?波導(dǎo)是如何在使AR玻璃行業(yè)發(fā)生革命的過程中開發(fā)的?

1.光波導(dǎo)—隨需應(yīng)變

光學(xué)系統(tǒng)通常由用于VRAR近眼顯示器(NED)的微型顯示器和成像光學(xué)系統(tǒng)組成。微型顯示器可以像微型OLED或時(shí)尚的微型LED面板一樣主動(dòng)提供圖像,也可以通過在基于液晶的顯示器(包括透射型LCD和反射型LCOS),數(shù)字微鏡器件(DMD)和激光上間接照明來間接提供圖像光束掃描儀(LBS)均由微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)啟用。與VR相似,顯示像素被成像到一定距離并形成虛擬圖像以投射到人眼。與VR不同,AR NED需要“透視”功能,以便眼睛能夠同時(shí)查看現(xiàn)實(shí)世界。成像系統(tǒng)無法阻擋正視圖,因此,這需要一個(gè)或幾個(gè)附加的光學(xué)元件來形成“光學(xué)組合器”。光學(xué)組合器反射虛擬圖像,同時(shí)將外部光傳輸?shù)饺搜?,將虛擬內(nèi)容疊加在真實(shí)場(chǎng)景的頂部,以使它們相互補(bǔ)充和“增強(qiáng)”。

理解波導(dǎo):增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)近眼顯示器的關(guān)鍵技術(shù)?

AR NED市場(chǎng)上已經(jīng)展示了多種光學(xué)組合器解決方案,這些解決方案通常以反射鏡或部分反射鏡,透鏡或棱鏡為代表。反射表面可以是平坦的,彎曲的或自由形成的,而某些表面可以是偏振的。在這里,我們使用一種簡(jiǎn)單的方法對(duì)光學(xué)解決方案,它們?cè)谑袌?chǎng)上的代表產(chǎn)品進(jìn)行分類,并簡(jiǎn)要比較它們的特性。由于有關(guān)不同光學(xué)解決方案的文章已經(jīng)非常豐富,因此在此我們將不進(jìn)行詳細(xì)介紹,而將重點(diǎn)放在光波導(dǎo)上。顯然,目前還沒有理想的解決方案,因此所有人都可以一起繁榮發(fā)展。每個(gè)AR玻璃產(chǎn)品都需要根據(jù)目標(biāo)方案或用例選擇最合適的玻璃,

不過,在所有當(dāng)前的光學(xué)解決方案中,我們認(rèn)為,基于其光學(xué)性能,外觀和批量生產(chǎn)能力,光波導(dǎo)具有實(shí)現(xiàn)消費(fèi)級(jí)AR眼鏡的最大潛力。

理解波導(dǎo):增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)近眼顯示器的關(guān)鍵技術(shù)?

2.波導(dǎo)技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)

光波導(dǎo)技術(shù)是最近作為一種獨(dú)特的光合路器而引入的,因?yàn)樗ǔ2怀休d光功率。但是,這并不是一個(gè)全新的概念,其原理與通信網(wǎng)絡(luò)的光纖相同。唯一的區(qū)別是,在我們的案例中,后者傳輸?shù)氖羌t外光而不是可見光。為了使光像游泳蛇一樣在波導(dǎo)內(nèi)部來回反射,“全內(nèi)反射(TIR)”是關(guān)鍵。要進(jìn)行TIR,必須滿足兩個(gè)條件:(1)波導(dǎo)中的高折射率材料(n1> n2);(2)光的入射角大于臨界角θc。

光學(xué)引擎生成虛擬圖像后,波導(dǎo)將圖像耦合,然后通過TIR在幾乎零泄漏的情況下將其傳輸?shù)讲AЩ鍍?nèi)部,然后在到達(dá)觀看者的眼睛位置時(shí)將圖像耦合出去。在整個(gè)過程中,波導(dǎo)通常不會(huì)影響圖像本身,因此它是獨(dú)立于成像系統(tǒng)的光學(xué)組合器。

理解波導(dǎo):增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)近眼顯示器的關(guān)鍵技術(shù)?

使用波導(dǎo)作為光學(xué)組合器的最大優(yōu)勢(shì)是AR眼鏡設(shè)計(jì)中的空間優(yōu)化。通過使微顯示器和成像光學(xué)器件不受干擾(位于額頭頂部或側(cè)面),不僅可以最大程度地減少視力障礙,還可以優(yōu)化設(shè)備的重量平衡并改善人體工程學(xué)。下面列出了波導(dǎo)配置的優(yōu)缺點(diǎn),并將在本文的全文中進(jìn)行解釋。

優(yōu)點(diǎn)

大眼罩和改進(jìn)的機(jī)械公差以適應(yīng)更多的人群-1D2D出瞳擴(kuò)展。

視野清晰和重量平衡-波導(dǎo)將虛擬圖像傳輸?shù)窖劬Α?/span>

眼鏡外觀,接近消費(fèi)品-扁平且薄的目鏡,良好的外部透光率。

適用于設(shè)計(jì)迭代和批量生產(chǎn)-具有定制輪廓,納米加工的平板玻璃基板。

多層可堆疊—在3D深度下創(chuàng)建不同深度的虛擬圖像。

?插件

相對(duì)較低的光學(xué)效率-低的輸入/輸出耦合效率,并且犧牲了大眼罩。

幾何波導(dǎo):復(fù)雜的制造工藝,可能的低成品率。

衍射波導(dǎo):衍射引起的色散會(huì)導(dǎo)致彩虹和霧霾影響圖像質(zhì)量。

衍射波導(dǎo):高設(shè)計(jì)壁壘。

理解波導(dǎo):增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)近眼顯示器的關(guān)鍵技術(shù)?

3.波導(dǎo)類別和比較

如上所述,波導(dǎo)的主要部分是透明的薄玻璃基板(厚度通常在亞納米到幾納米之間變化),由于TIR的緣故,光在頂面和底面之間反射的光很少泄漏。如果對(duì)波導(dǎo)中允許進(jìn)行TIR的輸入角度范圍進(jìn)行計(jì)算,則會(huì)發(fā)現(xiàn)視場(chǎng)(FOV)受玻璃折射率的限制。因此,為了獲得更高的FOV,康寧和肖特等玻璃制造商正在以晶圓規(guī)模開發(fā)高折射率玻璃基板,特別是針對(duì)該市場(chǎng)。

使波導(dǎo)技術(shù)彼此不同的地方在于用于將光耦合進(jìn)出波導(dǎo)的結(jié)構(gòu),它們之間通過光的TIR傳輸連接。光波導(dǎo)通??煞譃閹缀晤愋秃脱苌漕愋汀缀尾▽?dǎo)是所謂的“陣列波導(dǎo)””,它通過一系列透反射鏡在一個(gè)維度上擴(kuò)展了眼盒。幾何波導(dǎo)的領(lǐng)先光學(xué)公司是Lumus。到目前為止,市場(chǎng)上還沒有成熟的AR玻璃產(chǎn)品,但數(shù)量很多。衍射波導(dǎo)覆蓋表面浮雕光柵(SRG)結(jié)構(gòu)和體積全息光柵(VHG)結(jié)構(gòu)。HololensMagic Leap都使用SRG結(jié)構(gòu),而Digilens則是VHG的先驅(qū)以及去年蘋果公司采用的Akonia。VHG技術(shù)相對(duì)不那么成熟,目前提供有限的FOV,但可能會(huì)提供更好的色彩性能。由于篇幅的限制,我們將首先介紹幾何波導(dǎo),并將衍射波導(dǎo)保存到下一次。

1)幾何波導(dǎo)

幾何波導(dǎo)大約是在二十年前首次引入的,并由以色列公司Lumus率先開發(fā)。如圖5a)所示,來自光學(xué)引擎的光通過反射鏡或棱鏡結(jié)構(gòu)耦合到波導(dǎo)中。當(dāng)?shù)竭_(dá)觀看者眼球正前方的位置時(shí),玻璃基板內(nèi)部會(huì)發(fā)生多個(gè)TIR反射,光線會(huì)遇到一系列透反射表面以釋放圖像。甲透反射(透射+反射)表面以一定角度嵌入波導(dǎo)基板內(nèi)部,以將一部分光反射到我們的眼睛,并使其余的光通過以進(jìn)一步傳播。它還可以傳輸來自現(xiàn)實(shí)世界的光,以用作光學(xué)組合器。然后,透射光遇到另一個(gè)透反射表面,并重復(fù)相同的透射和反射過程。

在常規(guī)的光學(xué)成像系統(tǒng)中,光僅通過所謂的“出射光瞳”出射。在此,透反射表面會(huì)重復(fù)幾次以提供相同的圖像輸出,從而在水平方向上擴(kuò)大出瞳。這種設(shè)計(jì)稱為“一維出射光瞳擴(kuò)展(EPE) ”。您可能想知道,多個(gè)出瞳會(huì)在我們的眼睛中造成雙像還是陰影像?不用擔(dān)心,出瞳只是虛擬圖像的“傅立葉平面”,人眼將通過其唯一的透鏡將該平面的角度信息轉(zhuǎn)換為空間信息。然后圖像在“圖像平面”上形成-我們的視網(wǎng)膜,所有處于相同角度的光線(即使它們來自不同的出瞳)也會(huì)合并到同一像素上,因此只能生成一張圖像。它可能有點(diǎn)抽象而無法理解,但這是EPE的本質(zhì)。例如,如果到波導(dǎo)的輸入光束的直徑為4毫米,而沒有EPE結(jié)構(gòu),則輸出光瞳將保持為4毫米,因?yàn)椴▽?dǎo)除了傳輸光以外沒有對(duì)光進(jìn)行任何修改。這意味著您的眼睛只能在瞳孔中心在此4毫米范圍內(nèi)移動(dòng)的情況下清楚地看到虛像。通過實(shí)施EPE結(jié)構(gòu),出瞳可以擴(kuò)展到10毫米以上,從而使您的眼睛的運(yùn)動(dòng)盒更大。

對(duì)于AR眼鏡來說,眼盒對(duì)于適應(yīng)不同瞳距的用戶來說非常重要,視年齡,性別等,瞳距在51毫米至77毫米之間。

該技術(shù)解決了AR眼鏡產(chǎn)品設(shè)計(jì)中的許多問題,例如機(jī)械公差,產(chǎn)品SKU(例如,男女的不同規(guī)格),人體工程學(xué)和用戶界面設(shè)計(jì)等。因此,采用EPE的光波導(dǎo)推動(dòng)了AR眼鏡的發(fā)展。邁向消費(fèi)級(jí)產(chǎn)品。但是,沒有免費(fèi)的午餐。眼盒的擴(kuò)展是以平均后每個(gè)點(diǎn)的光輸出較少為代價(jià)的。這是與常規(guī)方法相比波導(dǎo)具有較低光學(xué)效率的主要原因。

幾何波導(dǎo)利用常規(guī)的幾何光學(xué)設(shè)計(jì)過程,仿真工具和制造過程,而不涉及任何花哨的亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)。由于幾何光學(xué)結(jié)構(gòu)不會(huì)對(duì)顏色造成任何偏差,因此生成的圖像可以具有很高的質(zhì)量。但是,在制造過程中似乎存在挑戰(zhàn)。挑戰(zhàn)之一是透反射鏡的涂層。由于在波導(dǎo)內(nèi)部傳播期間留下的光越來越少,因此對(duì)于每個(gè)反射鏡而言,所需的反射/透射比將有所不同,以確保在整個(gè)眼盒內(nèi)輸出均勻的光。而且由于光由于LCOS的性質(zhì)而被偏振,而LCOS經(jīng)常被用作幾何波導(dǎo)系統(tǒng)的微型顯示器,因此每個(gè)反射鏡的表面上可以具有十層以上的薄膜涂層。

此外,在對(duì)每個(gè)鏡子進(jìn)行鍍膜處理之后,需要將它們堆疊并粘在一起,然后以精確的角度切割。膠合和切割的精度也會(huì)影響玻璃板的平行度,從而影響圖像質(zhì)量。盡管每個(gè)步驟都是常規(guī)的光學(xué)制造工藝,并且可能具有很高的成品率,但是將所有繁瑣的步驟和部件組合在一起以實(shí)現(xiàn)合理的總成品率卻頗具挑戰(zhàn)性。任何處理步驟的不精確性都可能導(dǎo)致最終的虛擬圖像出現(xiàn)缺陷,例如黑線,不均勻性,重影等。此外,盡管制造進(jìn)步已使微顯示關(guān)閉時(shí)鏡面陣列的可見度降至最低,但我們?nèi)匀豢梢栽谀跨R上將它們視為“條紋”,這會(huì)阻礙正常視力,并且還會(huì)影響AR眼鏡的外觀。

理解波導(dǎo):增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)近眼顯示器的關(guān)鍵技術(shù)


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