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發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領(lǐng)域,濕法設(shè)備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展,濕法設(shè)備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目需求的全自動(dòng)濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)成套設(shè)備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺(tái)圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應(yīng)用領(lǐng)域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進(jìn)封裝等專有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動(dòng)傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點(diǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨(dú)立密封,具有多種功能可實(shí)現(xiàn)晶圓干進(jìn)干出采用工控機(jī)控制,功能強(qiáng)大,操作簡便可根據(jù)用戶要求提供個(gè)性化解決方案設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)清洗設(shè)備解決方案。
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺(tái)結(jié)合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應(yīng)用要求等特點(diǎn),在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個(gè)部分組成,一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導(dǎo)線電刷、N2 保護(hù)單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體,二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下:從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應(yīng)用分析可以看出,采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實(shí)現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護(hù)功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使槽內(nèi)電場不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進(jìn)行鍍液噴射,實(shí)現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設(shè)計(jì)最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu),鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進(jìn)行相關(guān)模擬、仿真和驗(yàn)證,鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu),可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點(diǎn)可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進(jìn)行晶圓電鍍工藝處理,由于結(jié)構(gòu)上的特點(diǎn),該方法經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證具有:①結(jié)構(gòu)簡單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應(yīng)于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時(shí)可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應(yīng)用,產(chǎn)品已通過技術(shù)定型鑒定和用戶驗(yàn)收。實(shí)現(xiàn)的主要工藝指標(biāo):最...
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機(jī)1. 應(yīng)用范圍:l 本機(jī)臺(tái)適用於半導(dǎo)體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺(tái),可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進(jìn)行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設(shè)備已超過20年以上的應(yīng)用馬達(dá)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì), 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計(jì), 震動(dòng)值均控制於300 um 以下.l 高潔淨(jìng)設(shè)計(jì),微塵控制於每次運(yùn)轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機(jī)臺(tái)內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達(dá): DC無刷馬達(dá)750Wl 真空負(fù)壓軸封設(shè)計(jì),隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(hù)(加熱器空燒保護(hù))l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關(guān)90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動(dòng)態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動(dòng)異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機(jī)+ PLC可程式自動(dòng)化控制器(人機(jī) Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲(chǔ)存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?#216; 儲(chǔ)存能力記憶模組...
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機(jī)-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長:單片式清洗裝置的優(yōu)點(diǎn)(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對應(yīng))例:附著粒子數(shù)…10個(gè)/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個(gè)/W2.藥液純水的消費(fèi)量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個(gè)客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強(qiáng)制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體清洗解決方案。
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 03 - 07
自動(dòng)供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng)設(shè)備型號(hào)CSE-CDS-N1507設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶(自動(dòng)切換)、配兩臺(tái)泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動(dòng)化與親和力。在...
發(fā)布時(shí)間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機(jī)-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動(dòng)單片式腐蝕清洗機(jī)應(yīng)用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進(jìn)封裝等  設(shè) 備 名 稱CSE-單片清洗機(jī)類  型單片式適 用 領(lǐng) 域半導(dǎo)體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設(shè)備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時(shí)間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點(diǎn)1、單片處理時(shí)間短(相較于槽式清洗機(jī))2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠(yuǎn)低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu),占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體官網(wǎng),關(guān)注http://regal-bio.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動(dòng)供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設(shè)備型號(hào)CSE-CDS-N2601設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶(自動(dòng)切換)、配兩臺(tái)泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動(dòng)化...
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關(guān)于 GaN 需要了解的 10 件事

時(shí)間: 2021-12-16
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關(guān)于 GaN 需要了解的 10 件事

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寬帶隙材料,例如氮化鎵正在成為使電子性能更上一層樓的技術(shù)。與硅器件相比,基于GaN的電子元件具有許多重要優(yōu)勢,包括更緊湊的尺寸、更高的功率密度、更高的效率、更低的開關(guān)損耗和更好的熱管理。這些因素對于?滿足與高功率和高密度應(yīng)用相關(guān)的日益嚴(yán)格的要求至關(guān)重要。



1.為什么GaN的寬帶隙如此重要?

幾十年來,大多數(shù)電力電子器件都是以硅為基礎(chǔ)的,硅是一種可以低成本制造并且?guī)缀鯖]有缺陷的半導(dǎo)體。硅的理論性能現(xiàn)在幾乎已經(jīng)完全達(dá)到,突出了這種材料的一些限制,包括有限的電壓阻斷和有限的傳熱能力、效率和不可忽略的傳導(dǎo)損耗。寬帶隙(WBG)半導(dǎo)體,如氮化鎵(氮化鎵),提供優(yōu)于硅的性能,如更高的效率和開關(guān)頻率,更高的工作溫度和更高的工作電壓。

氮化鎵的帶隙為3.2電子伏(eV),比硅的帶隙高出近3倍,等于1.1 eV。這意味著需要更多的能量來激發(fā)半導(dǎo)體導(dǎo)電帶中的價(jià)電子。雖然這種特性限制了氮化鎵在超低電壓應(yīng)用中的使用,但它具有允許更高擊穿電壓和更高溫度下更高熱穩(wěn)定性的優(yōu)勢。GaN大大提高了功率轉(zhuǎn)換級(jí)的效率,在高效電壓轉(zhuǎn)換器、功率MOSFETs和肖特基二極管的生產(chǎn)中成為硅的寶貴替代品。與硅相比,氮化鎵可以獲得重要的改進(jìn),例如更高的能效、更小的尺寸、更輕的重量和更低的總成本。


2.GaN和SiC相似嗎?

氮化鎵和碳化硅都是寬帶隙材料。雖然這些材料具有出色的性能,但它們的特性、應(yīng)用和柵極驅(qū)動(dòng)要求各不相同。碳化硅可以在高功率和超高壓(650伏以上)應(yīng)用中與IGBT晶體管競爭。同樣,在電壓高達(dá)650伏的電源應(yīng)用中,氮化鎵可以與當(dāng)前的金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管和超級(jí)結(jié)金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管競爭。


3.耗盡模式和增強(qiáng)模式有何不同?

GaN晶體管的基本結(jié)構(gòu),稱為d型或耗盡型,如圖1上側(cè)所示。源極(S)和漏極(D)電極穿過AlGaN上層,與下層形成歐姆接觸,由二維電子氣體(2DEG)形成。源極和漏極之間的短路保持活躍,直到2DEG層釋放的電子耗盡,之后氮化鎵半絕緣層介入阻擋電流。為了實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn),柵電極(G)必須放置在AlGaN層的頂部。通常,柵電極由直接置于層表面的肖特基接觸組成。通過向該電極施加負(fù)電壓,肖特基勢壘變成反向極化,有利于電子在下層的移動(dòng)。因此,為了使器件處于關(guān)斷狀態(tài),有必要對漏極和源極施加負(fù)電壓。這種結(jié)構(gòu)的主要缺點(diǎn)是它通常處于開啟狀態(tài),在通電階段給設(shè)計(jì)者帶來潛在的問題。然而,d模式結(jié)構(gòu)提供了與傳統(tǒng)低壓硅MOSFET具有相同柵極特性的重要優(yōu)勢,允許使用已經(jīng)可用的MOSFET柵極驅(qū)動(dòng)器。

在高功率應(yīng)用中,使用增強(qiáng)型結(jié)構(gòu)(e模式)。當(dāng)沒有柵極電壓施加到電子甘晶體管(如圖1的底側(cè)所示)時(shí),晶體管保持關(guān)斷狀態(tài),沒有電流流動(dòng)。該器件由硅晶片制成,在硅晶片上沉積氮化鎵異質(zhì)結(jié),當(dāng)沒有電壓施加到柵極時(shí),形成通常處于關(guān)斷狀態(tài)的器件。導(dǎo)電通道是通過在高強(qiáng)度氮化鎵層上沉積一薄層氮化鎵制成的。AlGaN和GaN之間的界面產(chǎn)生應(yīng)變壓電效應(yīng),形成高度可移動(dòng)的二維電子氣體(2DEG)。器件的上層由電介質(zhì)和金屬布線保護(hù)組成。如此獲得的結(jié)構(gòu)允許場效應(yīng)晶體管通過向柵電極施加正電壓而進(jìn)入導(dǎo)通狀態(tài)。

關(guān)于 GaN 需要了解的 10 件事?

1: GaN耗盡模式和增強(qiáng)模式結(jié)構(gòu)

4.GaN如何在高頻下工作?

氮化鎵高電子遷移率晶體管在導(dǎo)通電阻和品質(zhì)因數(shù)(FOM)方面都有很好的表現(xiàn)。根據(jù)額定電壓和電流,品質(zhì)因數(shù)可能比超結(jié)場效應(yīng)晶體管低4到10倍。因此,氮化鎵適用于高頻操作。使用具有低RDS(開)值的GaN HEMT降低了傳導(dǎo)損耗并提高了效率。


5.GaN有體二極管嗎?

氮化鎵HEMTs沒有本征體二極管,因此反向恢復(fù)電荷為零。這些器件自然能夠反向?qū)?,并根?jù)柵極電壓具有不同的特性。在系統(tǒng)層面,反向傳導(dǎo)能力可能比傳統(tǒng)的IGBTs更具優(yōu)勢,因?yàn)椴恍枰床⒙?lián)二極管。

通過消除反向恢復(fù)損耗,氮化鎵甚至可以在高開關(guān)頻率下高效工作。例如,在連續(xù)導(dǎo)通模式下的無橋圖騰柱功率因數(shù)校正(PFC)中,由于反向恢復(fù)損耗高,使用超結(jié)MOSFETs是不切實(shí)際的。如圖2所示,通過使用氮化鎵晶體管作為高頻開關(guān),反向恢復(fù)損耗被完全消除,相關(guān)的開關(guān)損耗顯著降低。

關(guān)于 GaN 需要了解的 10 件事?

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6.為什么GaN高擊穿場是優(yōu)勢???


7.對于射頻應(yīng)用,GaN的主要優(yōu)勢是什么?

氮化鎵的電子遷移率為2000 cm2/Vs,比電子遷移率為1500 cm2/Vs的硅高得多。因此,氮化鎵晶體中的電子移動(dòng)速度比硅快30%以上。這一突出的特性使氮化鎵在射頻應(yīng)用中具有重要優(yōu)勢,因?yàn)樗梢蕴幚肀裙韪叩拈_關(guān)頻率。


8.GaN熱導(dǎo)率低是個(gè)問題嗎?

氮化鎵的熱導(dǎo)率比硅低(1.3 W/cmK對1.5 W/cmK)。然而,氮化鎵的高效率有助于降低電路產(chǎn)生的熱負(fù)載,這意味著它將在比硅更冷的溫度下工作。這提供了更好的熱管理,并避免了對外部散熱器的需求。


9.GaN晶體管的dv/dt要求是什么??

與硅相比,氮化鎵支持更快的開關(guān)速率,因此需要更高的壓擺率(100 V/ns或更高的dV/dt)。這有助于大幅降低開關(guān)損耗。


10.關(guān)閉氮化鎵晶體管需要負(fù)電壓嗎??



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