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始于90年代末

濕法制程整體解決方案提供商

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推薦產品 / 產品中心
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領域,濕法設備占據約40%以上的工藝,隨著工藝技術的不斷發(fā)展,濕法設備已經成為LED外延及芯片制造領域的關鍵設備,如SPM酸清洗、有機清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產工藝,現已形成可滿足LED產業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標準成套設備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機設備 設備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機設備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應用領域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進封裝等專有技術系統(tǒng)潔凈性技術均勻性技術晶圓片N2干燥技術模塊化系統(tǒng)集成技術自動傳輸及精確控制技術溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術主要技術特點系統(tǒng)結構緊湊、安全腔體獨立密封,具有多種功能可實現晶圓干進干出采用工控機控制,功能強大,操作簡便可根據用戶要求提供個性化解決方案設備制造商華林科納(江蘇)半導體設備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(regal-bio.cn),現在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費的半導體行業(yè)相關清洗設備解決方案。
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
旋轉式噴鍍臺結合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應用要求等特點,在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉噴鍍技術傾斜式旋轉噴鍍單元分由兩個部分組成,一為陰極夾具、旋轉單元、導線電刷、N2 保護單元組成的陰極回轉體,二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉噴鍍結構示意圖如下:從鍍制結構方式、鍍制工藝應用分析可以看出,采用傾斜式旋轉噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結構方式易實現槽體密封和附加N2 保護功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉運動使槽內電場不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進行鍍液噴射,實現攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結構方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產需求。傾斜旋轉噴鍍技術、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結構本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結構,鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進行相關模擬、仿真和驗證,鍍液入口采用扇形噴咀式結構,可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結構的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉噴鍍方法進行晶圓電鍍工藝處理,由于結構上的特點,該方法經實驗驗證具有:①結構簡單;②工藝參數控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產并在工藝線上得到較好的應用,產品已通過技術定型鑒定和用戶驗收。實現的主要工藝指標:最...
發(fā)布時間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機1. 應用范圍:l 本機臺適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設備為垂直式雙槽體機臺,可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統(tǒng)設計, 高穩(wěn)定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機臺內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長:單片式清洗裝置的優(yōu)點(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數非常少(到25nm可對應)例:附著粒子數…10個/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據每個客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設備相關信息可以關注華林科納CSE官網(www.hlkncas.com),現在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J健⒆詣涌刂颇J皆O備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N1507設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內:酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內部管路及組件采PFA 451 HP 材質;4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動單片式腐蝕清洗機應用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應用領域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進封裝等  設 備 名 稱CSE-單片清洗機類  型單片式適 用 領 域半導體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短(相較于槽式清洗機)2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結構,占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關設備可以關注華林科納(江蘇)半導體官網,關注http://regal-bio.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J健⒆詣涌刂颇J?#160;設備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N2601設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內:酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內部管路及組件采PFA 451 HP 材質;4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化...
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氧化鎵-新一代半導體材料

時間: 2021-09-03
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氧化鎵-新一代半導體材料氧化鎵-新一代半導體材料

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氧化鎵-新一代半導體材料

? ? ? 在所有其他參數相同的情況下,對于電子應用,寬帶隙(WBG)半導體優(yōu)于窄帶半導體(如硅),因為導帶和價帶之間的大能量分離允許這些器件在高溫和較高電壓下工作。例如,與行業(yè)巨頭硅1.1eV的相對窄帶隙相比,氮化鎵(GaN)的帶隙為3.4eV

? ? ? 帶隙測量將電子推入導電狀態(tài)需要多少能量;更大的帶隙使材料能夠承受更強的電場,因此與由帶隙較低的材料組成的部件相比,組件可以更薄(對于給定的電壓)、更輕、處理更多的功率。

? ? ? 具有較大帶隙的半導體已經被開發(fā)用于硅不能提供足夠功率密度以獲得必要結果的應用。尤其是碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)在功率開關和/或功率放大器應用方面取得了巨大進步。除了這些公認的市場,用于自動駕駛汽車的激光雷達傳感器和用于機器人的運動控制是其他新興領域。SiC MOSFETs在手機應用中也很常見,GaN功率晶體管在數據中心服務器電源等600 V細分市場也有應用。

? ? ? 現在,寬帶隙半導體在市場上的可用性和性能已經確定但是,就在碳化硅和氮化鎵站穩(wěn)腳跟的時候,另一種帶隙更大的半導體出現了。寬帶隙半導體氧化鎵(Ga2O3)有望成為肖特基勢壘二極管和場效應晶體管等功率轉換系統(tǒng)的下一代器件。由寬帶隙半導體制成的肖特基整流器具有快速的開關速度,對于提高電機控制器和電源的效率以及低正向壓降和高溫可操作性非常重要。

? ? ? Ga2O3的帶隙是4.4至4.9電子伏,取決于晶體結構,這代表著氮化鎵和碳化硅的主要增長。當然,還有其他帶隙更寬的半導體,如氮化鋁(AlN)和金剛石,但到目前為止,這些只是學術界感興趣的。

? ? ? 預計氧化鎵在高功率和高頻器件中特別有用。與其他半導體不同,它也可以直接從熔融狀態(tài)生產,從而能夠大規(guī)模生產高質量的晶體。

? ? ? 由于Ga2O3作為高擊穿電壓器件應用的主要候選物的潛力,對Ga2O 3的興趣在過去幾年中迅速增長。它在高功率開關中的應用由大約8 MV/cm的高臨界場強支持。像氮化鎵一樣,Ga2O3具有比硅更高的臨界電場強度,其更高的電子遷移率使得器件在給定的導通電阻和擊穿電壓下具有更小的尺寸。這允許設備在物理上更小。

? ? ? ?Ga2O3電子產品的最初目標是用于DC/DC和DC/交流應用的高功率轉換器。肖特基二極管可以在開關模式功率轉換器中補充600伏硅或碳化硅整流器。人們應該記住,在電源開關應用中,工作電壓受到擊穿電場強度(Ebr)的限制,這是這里的關鍵規(guī)格。Ga2O3的臨界場強是硅的20倍以上,是SiC和GaN的2倍以上。因此,它應該能夠在高電壓和高溫下工作,同時產生比當前發(fā)電設備高得多的功率。到目前為止,用Ga2O3演示的電子器件包括擊穿電壓> 1 kV的千伏級肖特基整流器和臨界場強大于典型氮化鎵或碳化硅值的金屬氧化物半導體場效應晶體管。

? ? ? ?由于許多關鍵器件參數隨著帶隙值呈指數級提高,因此這種提高足以證明全面開發(fā)新技術的努力是合理的。也就是說,必須補充的是,Ga2O3有局限性——與其他WBG材料相比,它的熱導率非常低。

? ? ? 由于已經提到的原因,Ga2O3可能會補充碳化硅和氮化鎵,但預計不會取代它們。那么,除了更成熟的碳化硅和氮化鎵功率器件技術之外,它還需要發(fā)揮什么作用呢?

? ? ? ?如上所述,氧化鎵的導熱性很差。當你制造一個大功率設備時,你需要有一個良好的導熱性來從設備中提取熱量。首先,氧化鎵的低熱導率可以通過襯底或通過減薄襯底、使用散熱器以及頂部散熱來緩解。

? ? ? 此外,請記住,碳化硅功率器件從構思到商業(yè)化需要幾十年的時間。同樣,商用GaN射頻(rf)晶體管最早出現在2004年,2008年有100 V器件,2012年有600 V器件。市售的碳化硅和氮化鎵功率器件仍然具有高成本,并且碳化硅和氮化鎵不能像硅一樣從熔體中生長。

? ? ? 氮化鎵和碳化硅目前覆蓋許多相同的電壓范圍,氮化鎵器件占主導地位,從幾十到幾百伏,碳化硅從大約1千伏到幾千伏。氮化鎵器件的未來——近期——電壓范圍應該從商用的1200伏器件到3300伏的實驗器件,而碳化硅器件將擴展到600伏。換句話說,這些技術在很大程度上是互補的,并將繼續(xù)共存。Ga2O3不會取代這些材料,但它可能在更高的電壓下補充它們。

? ? ? 此外,現有的硅、碳化硅和氮化鎵在工藝成熟度方面具有巨大優(yōu)勢,這一優(yōu)勢對于硅來說尤其如此。

? ? ? 對于Ga2O3來說,這一旅程才剛剛開始,因為關于其基本性質的報告和研究才剛剛開始出現。飛機電子、雷達和電子戰(zhàn)系統(tǒng)電源、汽車電子、電動機控制器和功率調節(jié)等應用需要高效電源和功率轉換器。


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