?單晶制絨操作工藝
?????? 單晶硅片制絨工藝流程，主要包括以下幾個方面。
??1.裝片
?????? ①戴好防護口罩和干凈的橡膠手套。
?????? ②將倉庫領來的硅片從箱子中取出，以2o0片為一個生產批次，把硅片插入清洗小花籃，在裝片過程中，由于硅片易碎，插片員需輕拿輕放；來料中如有缺角、崩邊、隱裂等缺陷的硅片，不能流人生產線，及時報告品管員，將這些硅片分類放置、集中處理；有缺片現(xiàn)象時，要在缺片記錄上記錄缺片的批號、廠商、箱號和缺片數(shù)。
????? ?③在“工藝流程卡”上準確記錄硅片批號、生產廠家、電阻率、投入數(shù)、投入時間和主要操作員。
?????? ④裝完一個生產批次后，把“工藝流程卡”隨同硅片一起放在盒架上，等待制絨。
??2.開機
?????? ①操作員打開工藝排風，打開壓縮空氣閥門，打開設備進水總閥。
???? ? ②操作員打開機器電源，待設備自檢完成并顯示正常后，在手動操作界面下手動打開槽蓋，檢查槽蓋的靈活性，檢查機械手運行是否正常。
????? ?③操作員將裝好硅片的小花籃放在花籃承載框中，然后將承載框搬到上料臺上。
????? ?④操作員在“手動”模式下檢查單晶制絨工藝參數(shù)是否正常，按照工藝參數(shù)，計算出
所含有naoh、na2sio3、(ch3)2choh和酒精的量，配溶液之前先清洗好制絨槽。關閉排水閥，打開進水閥門，向制絨槽中緩慢加入78℃的純水，然后向槽中加人naoh，打開循環(huán)泵，充分攪拌均勻，(ch3)2choh和添加劑在上料時加入制絨槽(化學藥品的添加順序不能混淆)，按照要求向氫氟酸槽和鹽酸槽中加入hf和hcl。
????? ?⑤操作員將運行模式設置為“自動”，按“啟動”鍵啟動程序。
?? 3.生產過程
???? ? ①將裝好硅片的小花籃放在花籃承載框中，然后將承載框搬到上料臺上。
????? ?②工藝槽溫度設定和啟動加熱。根據(jù)參數(shù)設定工藝溫度，啟動加熱器使槽內液體升溫。要特別注意：槽內沒有水或溶液不能開加熱器，否則會燒壞加熱器。每次只能啟動3個槽同時加熱，待恒溫后，再啟動另外3個槽。
???????③加熱制絨液體到設定溫度以后，根據(jù)本班目標生產量在控制菜單上進行參數(shù)設置(包括粗拋、堿蝕、噴淋、鼓泡漂洗時間和產量的設置)。
????? ?④參數(shù)設置完畢，在手動狀態(tài)下按“復位”鍵，運行模式撥到“自動”狀態(tài)，按“啟動”鍵，機器進行復位，待機械手停止運動后即可上料生產。若不立即生產，則暫時撥回“手動”狀態(tài)。
????? ?⑤配制溶液
????? ?a.濃度要求? 粗拋液的濃度要求為：粗拋液中naoh：h2o=11.8％(質量比)；粗拋液自動補堿箱中naoh：h2o=15％(質量比)；制絨液中naoh：h2o=1.76％(質量比)，na2sio3：h2o=1.26％(質量比)，c2h5oh：h2o=5.0％(體積比)。
???? ? b.溶液配置過程
???? ? 粗拋液配置過程? 清洗好粗拋槽，關閉排水閥門，打開進水閥門，向槽中緩慢放水，同時向槽中倒入naoh粉末，控制速度，在槽中約放入2／3槽水的同時加入10kg naoh，關閉槽蓋，在控制面板上打開加熱開關，對槽中液體開始加熱。待溫度升至70℃時，打開槽蓋，再向槽中倒人10kg naoh粉末并注水，同時用水瓢對溶液進行攪拌，以使naoh充分溶解，液面升至溢水口下方2cm處時停止注水。
????? ?制絨液配置計算出170l制絨液所含有的naoh、na2sio3和無水乙醇的量，清洗好制絨槽，關閉排水閥門，打開進水閥門，向槽中緩慢放水，同時向槽中倒入naoh、na2sio3和無水乙醇，過程中用水瓢不斷攪拌溶液，待加完naoh、na2sio3和無水乙醇后，放水調整液面至溢水口下方2cm處，關閉槽蓋，在控制面板上打開加熱開關，對槽中液體開始加熱。生產時再向槽中加入1l無水乙醇。
?????? c.參數(shù)設置。
??? ?? ⑥生產過程
????? ?a.運行模式設置為“自動”，按“啟動”鍵啟動程序，按照制絨機設定好的參數(shù)進行生產。
????? ?b.機械手將承載框平移，依次送到各處理工位，對硅片進行超聲預清洗、制絨、鹽酸中和、氫氟酸去氧化層等，經(jīng)過11個處理工位全過程處理后，承載框由自動機械手移到出料工位，再由操作員將小花籃取出。
????? ?11個處理工位具體為：超聲預清洗→溫水漂洗→腐蝕制絨→噴淋→漂洗→hcl處理→漂洗→hf處理→漂洗→噴淋→漂洗。
????? ?c.每制絨一籃，粗拋液、制絨液內都要補充naoh，補充量根據(jù)消耗量確定，并適當補充去離子水。
????? ?注意? 整個自動運行過程中，操作員不能離開，需時刻監(jiān)視設備運行情況。
????? ?⑦甩干
????? ?a.將裝滿硅片的小花籃放入甩干機中，啟動設備，甩干。注意每班開機后先空甩一次。
????? ?b.操作員將花籃承載框放人傳遞窗中，上料員從傳遞窗中取出花籃承載框，并放到指定地點。
????? ?c.記錄甩干后合格的硅片，并通過傳遞窗流向下一道擴散工序。
????? ?⑧自檢
?????? a.在制絨過程中和甩干后，各操作過程的操作員需對每一批次硅片進行自檢，符合工藝、質量要求才能流至下道工序，不符合要求的及時通知品管員。
?????? b.自檢時，主要觀察是否有裂痕、缺角、崩邊、指紋印、污漬、藥液水珠、明顯發(fā)白及發(fā)亮，均無的為制絨合格，正常往下流。將無法繼續(xù)生產的硅片取出，并填寫出片數(shù)，記錄好流程卡。
?????? ⑨關機在長時間不進行生產的情況下，停止設備運行，關閉電源，鎖上電鎖，關閉氣體閥門，關閉總電源，鎖好電柜。清潔、維護設備。
??4.設備操作規(guī)程運行需滿足的條件
???? ? ①電源啟動。
????? ?②壓縮空氣0.5mpa。
????? ?③氮氣0.3mpa。
????? ?④水閥打開并調制規(guī)定流量。
?????? ⑤所有槽液位達到上限。
?????? ⑥機械臂在上料臺上限位。
?????? ⑦加熱器溫度達到設定值。
?????? ⑧凈化送風排風通暢微正壓。
????5.工藝衛(wèi)生要求
????? ?①不允許用手直接接觸硅片，插片時戴好一次性手套。插完硅片后，應立即更換，不得重復使用。
????? ?②制絨車間要保持清潔，地面常有堿液或干堿，要經(jīng)常打掃。
?????? ③盛過堿液或乙醇的塑料桶要及時刷洗，不可無標識長時間用桶盛堿液或乙醇。
?????? ④物品和工具定點放置，用過的工具要放回原位，嚴禁亂放，保持硅片盒和小花籃清潔。
???? ? ⑤每班下班前要對制絨設備進行衛(wèi)生清理，擦掉機器上面的堿，擦掉槽蓋上的硅膠。
?? 6.注意事項
???? ? ①停做滯留的硅片要用膠帶封好箱，標簽注明材料批號、供應商和實際數(shù)目。
????? ?②每批投片前要檢查化學腐蝕槽中的液位，不合適的要及時調整。
???? ? ③小花籃和承載框任何時候不能放在地上。
????? ?④嚴格按照工序控制標準檢查絨面質量，絨面不合格的硅片要按照檢驗卡片和工序控制點操作指導卡規(guī)定的程序進行處置。
????? ?⑤硅片在制絨槽時，絕不能拿出硅片檢查絨面情況，要進入漂洗槽后再查看絨面情況。
?????? ⑥操作化學藥品時，一定要戴好防護面具和防護手套。
???? ? ⑦制絨設備的窗戶在不必要時不要打開。機器設備在運行時，不得把頭、手伸進機器內，以防造成傷害事故。
???? ? ⑧制絨機衛(wèi)生保養(yǎng)時，要防止電線浸水短路，擦洗槽蓋時要防止溶液的污染。
???? ? ⑨在正常生產運行過程中，設備出現(xiàn)任何異常或報警，應及時通知設備、工藝、品質人員，生產現(xiàn)場留守1人觀察，禁止操作。