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濕法制程整體解決方案提供商

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發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領(lǐng)域,濕法設(shè)備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展,濕法設(shè)備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)成套設(shè)備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應(yīng)用領(lǐng)域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進(jìn)封裝等專有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點(diǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨(dú)立密封,具有多種功能可實現(xiàn)晶圓干進(jìn)干出采用工控機(jī)控制,功能強(qiáng)大,操作簡便可根據(jù)用戶要求提供個性化解決方案設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)清洗設(shè)備解決方案。
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺結(jié)合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應(yīng)用要求等特點(diǎn),在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個部分組成,一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導(dǎo)線電刷、N2 保護(hù)單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體,二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下:從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應(yīng)用分析可以看出,采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護(hù)功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動使槽內(nèi)電場不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進(jìn)行鍍液噴射,實現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設(shè)計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu),鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進(jìn)行相關(guān)模擬、仿真和驗證,鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu),可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點(diǎn)可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進(jìn)行晶圓電鍍工藝處理,由于結(jié)構(gòu)上的特點(diǎn),該方法經(jīng)實驗驗證具有:①結(jié)構(gòu)簡單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應(yīng)于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應(yīng)用,產(chǎn)品已通過技術(shù)定型鑒定和用戶驗收。實現(xiàn)的主要工藝指標(biāo):最...
發(fā)布時間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機(jī)1. 應(yīng)用范圍:l 本機(jī)臺適用於半導(dǎo)體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺,可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進(jìn)行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設(shè)備已超過20年以上的應(yīng)用馬達(dá)控制系統(tǒng)設(shè)計, 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨(jìng)設(shè)計,微塵控制於每次運(yùn)轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機(jī)臺內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達(dá): DC無刷馬達(dá)750Wl 真空負(fù)壓軸封設(shè)計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(hù)(加熱器空燒保護(hù))l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關(guān)90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機(jī)+ PLC可程式自動化控制器(人機(jī) Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?#216; 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機(jī)-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長:單片式清洗裝置的優(yōu)點(diǎn)(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對應(yīng))例:附著粒子數(shù)…10個/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個/W2.藥液純水的消費(fèi)量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強(qiáng)制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J?、自動控制模式設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N1507設(shè)計基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機(jī)-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動單片式腐蝕清洗機(jī)應(yīng)用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進(jìn)封裝等  設(shè) 備 名 稱CSE-單片清洗機(jī)類  型單片式適 用 領(lǐng) 域半導(dǎo)體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設(shè)備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點(diǎn)1、單片處理時間短(相較于槽式清洗機(jī))2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠(yuǎn)低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu),占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體官網(wǎng),關(guān)注http://regal-bio.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J?、自動控制模式 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N2601設(shè)計基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化...
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超高壓清洗機(jī)設(shè)計

時間: 2021-04-12
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超高壓清洗機(jī)設(shè)計

.高壓水沖毛機(jī):

高壓水沖毛機(jī)(清洗機(jī))系用于混凝土澆筑施工中混凝土水平施工縫表面沖毛處理的專用機(jī)械,是高壓水射流技術(shù)在生產(chǎn)實際中的一種應(yīng)用。該機(jī)以清水作為工作介質(zhì),自來水經(jīng)高壓泵加壓后,經(jīng)節(jié)流閥、噴槍、噴嘴,使高壓水變?yōu)楦咚偕淞鞔驌粲诨炷帘砻妗T诟邏核鞯臎_蝕作用下,混凝土表面乳化皮層迅速剝落呈粗砂狀,從而達(dá)到表面處理要求??捎糜陔娏?、石油、化工、輕工等各工業(yè)部門的管道、管束內(nèi)外壁,容器與罐槽內(nèi)壁的清洗剝層;車輛、船舶、閘門及鋼質(zhì)設(shè)備的表面除銹、除脂;市政管道疏通、清洗;鑄件清理等工作。其驅(qū)動力有電機(jī)或內(nèi)燃機(jī)兩種方式,以供用戶選擇。

.混凝土沖毛

·混凝土輸送帶的沖洗、噴霧、保濕

·大型混凝土清除和剝離鋼筋

·混凝土結(jié)構(gòu)的水清拆

.機(jī)型擴(kuò)展

其中,本機(jī)型可以擴(kuò)展為表格中對應(yīng)的流量和壓力,以適用于不同行業(yè)的清洗。

.本機(jī)組成

SL-10027型高壓水射流清洗機(jī),本機(jī)包含01部套-調(diào)壓部套02部套-泵體部套03-柱塞筒部套04-壓力顯示部套05-傳動箱部套06-底架部套07-外罩部套08-潤滑冷卻部套09-電氣控制部套。

1、進(jìn)水系統(tǒng)

–采用增壓泵進(jìn)水,避免氣蝕現(xiàn)象的產(chǎn)生

–采用高精密過濾器過濾,保證不會有任何雜質(zhì)進(jìn)入泵體內(nèi)部;

–大口徑管路,保證進(jìn)水充分要求;

–采用能量包分配形式進(jìn)料,保證每個缸體的充分進(jìn)料;

–卡箍式易裝拆結(jié)構(gòu),并且容易清洗;

2、泵體系統(tǒng)

–進(jìn)排閥采用大流道上導(dǎo)向式蝶閥結(jié)構(gòu),有效地降低泵體內(nèi)部泄漏,充分保證流量達(dá)到設(shè)定值;

–閥芯閥座采用切削金屬用的工具鋼,非常耐磨,使用壽命很長;

–獨(dú)立的單向閥閥套設(shè)計,安裝維修迅速方便;

–整體鍛造的不銹鋼泵體經(jīng)嚴(yán)格的固溶和探傷處理,極為堅固耐用;

–分體式耐高壓泵體,解決高壓應(yīng)力集中而產(chǎn)生的泵體開裂;

–采用三段式泵體設(shè)計,增強(qiáng)了泵體的安裝強(qiáng)度,同時維護(hù)更加方便;

3、柱塞和柱塞筒系統(tǒng)

–往復(fù)柱塞采用組合式等壓雙向密封結(jié)構(gòu),密封可靠耐用;

–柱塞密封圈采用高壓行業(yè)普遍采用的矩形填料密封,但是我們的密封圈材料是采用四氟超細(xì)纖維而不是普通的編制物,該材料在浸潤后的膨脹性和耐磨性非常好;

–柱塞采用切削金屬用的工具鋼,非常耐磨,使用壽命很長;–將泵體與柱塞筒分成兩個部分,以分散聚集內(nèi)應(yīng)力,保證泵體的強(qiáng)度;

–自緊式柱塞密封設(shè)計,延長了密封圈的連續(xù)使用壽命;–柱塞筒本體與柱塞筒螺母采用不同的材料,解決了材料間的抗咬合問題;

–泵體與柱塞密封圈部件采用易拆裝結(jié)構(gòu)設(shè)計,把停機(jī)時間縮到最短;

–柱塞冷卻采用閉式內(nèi)循環(huán)油冷卻系統(tǒng),避免了以往用水冷產(chǎn)生的許多不良弊端;

–大行程往復(fù)設(shè)計,提高了密封圈的耐磨性;

4、傳動系統(tǒng)

–采用模塊式部件化,通過集成化的裝配,降低了整機(jī)的故障率;萬一整機(jī)出現(xiàn)故障時,由于是模塊化的設(shè)計,可以對部件進(jìn)行整體更換,(即:把新的成套機(jī)構(gòu)直接安裝上去,把舊的零部件拆下并安心地進(jìn)行維修)把停機(jī)時間降低到最?。?/span>

–在設(shè)備的維護(hù)檢修方面,由于采用臥式平鋪結(jié)構(gòu)設(shè)計,均質(zhì)機(jī)的所有大型零部件均在同一平面,各自有著相對獨(dú)立的空間,而且只要打開設(shè)備外罩的頂蓋,各部位機(jī)構(gòu)一覽無疑,不需要進(jìn)行很大的拆卸便能進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng);

–采用一級柔性減速機(jī)構(gòu)和二級硬性減速機(jī)構(gòu):一級采用V形三角帶(SPC系列重載帶)具有減震和安全防護(hù)性、二級采用齒輪定速比減速,提供強(qiáng)勁的扭矩;

–采用低速運(yùn)動設(shè)計,大大降低了單向閥的開啟次數(shù),同時也降低了各磨擦付的磨損,從而增加了易損件的使用壽命;–曲軸采用合金鋼鍛件而不是鑄鐵,并經(jīng)探傷處理,達(dá)到最大的強(qiáng)度;(合金鋼鍛件的抗疲勞強(qiáng)度及抗彎強(qiáng)度比鑄鐵要高好幾倍)

–軸瓦采用巴氏合金,大型發(fā)動機(jī)均采用該材質(zhì)的軸瓦,在運(yùn)行中有良好的自磨保護(hù)功能,保護(hù)曲軸不會被損壞;并且該材料本身有極好的耐磨性;

–整體式十字頭導(dǎo)向系統(tǒng),導(dǎo)向極為精確,確保柱塞的運(yùn)行精度(柱塞同心度);

–安全可靠的潤滑方式:采用強(qiáng)制壓力潤滑系統(tǒng)+飛濺自潤滑系統(tǒng),利用壓力油泵將潤滑油輸送到每一個潤滑點(diǎn),并結(jié)合飛濺潤滑,保證傳動箱組件安全穩(wěn)定地運(yùn)行;同時主要部分采用雙油路潤滑,所以只要傳動箱內(nèi)不缺油及潤滑油不變性,傳動箱基本上可以處于免維護(hù)狀態(tài);

–配備強(qiáng)制冷卻系統(tǒng),設(shè)有專門的列管式冷卻器對潤滑油進(jìn)行強(qiáng)制冷卻,保證設(shè)備在24小時連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下油溫穩(wěn)定在65℃以下,保持了潤滑油良好的油溫特性,設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)更安全;

–每個關(guān)鍵點(diǎn)都有儀表監(jiān)測,可以無需打開傳動箱而又能方便地知道設(shè)備的運(yùn)行情況,同時也便于及早地發(fā)現(xiàn)問題,提高了設(shè)備的可靠性;

5、電控系統(tǒng)

本機(jī)有主電機(jī)55KW、油泵電機(jī)1.5KW和增壓泵電機(jī)3KW組成,開機(jī)時先開增壓泵電機(jī)、再開油泵電機(jī)、最后再開主電機(jī)關(guān)機(jī)時先關(guān)主電機(jī)、再關(guān)油泵電機(jī)、最后關(guān)增壓泵電機(jī)這種控制先后順序。

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