久久国产亚洲精品超热碰_日本福利在线观看_亚洲AV永久无码5G_女生私密在线一区二区_国产精品视频大全_三级国产亚洲_无码人妻中文二区_岳装睡到我房间和我做_影音先锋精品网址_黄色污污视频网站

歡迎訪問(wèn)華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司官網(wǎng)
手機(jī)網(wǎng)站
始于90年代末

濕法制程整體解決方案提供商

--- 全國(guó)服務(wù)熱線 --- 0513-87733829
 
 
 
新聞資訊 新聞中心
400-8798-096
聯(lián)系電話
聯(lián)系我們
掃一掃
QQ客服
SKYPE客服
旺旺客服
新浪微博
分享到豆瓣
推薦產(chǎn)品 / 產(chǎn)品中心
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領(lǐng)域,濕法設(shè)備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展,濕法設(shè)備已經(jīng)成為L(zhǎng)ED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目需求的全自動(dòng)濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)成套設(shè)備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺(tái)圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測(cè)試。 CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應(yīng)用領(lǐng)域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進(jìn)封裝等專有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動(dòng)傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點(diǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨(dú)立密封,具有多種功能可實(shí)現(xiàn)晶圓干進(jìn)干出采用工控機(jī)控制,功能強(qiáng)大,操作簡(jiǎn)便可根據(jù)用戶要求提供個(gè)性化解決方案設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)清洗設(shè)備解決方案。
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺(tái)結(jié)合微組裝工藝對(duì)鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應(yīng)用要求等特點(diǎn),在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個(gè)部分組成,一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導(dǎo)線電刷、N2 保護(hù)單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體,二為三角形槽體、陽(yáng)極和電力線擋板組成的陽(yáng)極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下:從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應(yīng)用分析可以看出,采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢(shì)。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實(shí)現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護(hù)功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使槽內(nèi)電場(chǎng)不均問(wèn)題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進(jìn)行鍍液噴射,實(shí)現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來(lái)的影響。五是采用三角形鍍槽設(shè)計(jì)最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢(shì)斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu),鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場(chǎng)環(huán)境。通過(guò)進(jìn)行相關(guān)模擬、仿真和驗(yàn)證,鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu),可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場(chǎng)。從而通過(guò)改變流場(chǎng)的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點(diǎn)可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進(jìn)行晶圓電鍍工藝處理,由于結(jié)構(gòu)上的特點(diǎn),該方法經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證具有:①結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應(yīng)于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時(shí)可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應(yīng)用,產(chǎn)品已通過(guò)技術(shù)定型鑒定和用戶驗(yàn)收。實(shí)現(xiàn)的主要工藝指標(biāo):最...
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機(jī)1. 應(yīng)用范圍:l 本機(jī)臺(tái)適用於半導(dǎo)體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺(tái),可同Run 50片.l 可對(duì)旋乾步驟進(jìn)行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設(shè)備已超過(guò)20年以上的應(yīng)用馬達(dá)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì), 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計(jì), 震動(dòng)值均控制於300 um 以下.l 高潔淨(jìng)設(shè)計(jì),微塵控制於每次運(yùn)轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機(jī)臺(tái)內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達(dá): DC無(wú)刷馬達(dá)750Wl 真空負(fù)壓軸封設(shè)計(jì),隔離槽外污染l 不銹鋼N2過(guò)濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測(cè)保護(hù)(加熱器空燒保護(hù))l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關(guān)90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動(dòng)態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂(lè)故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動(dòng)異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機(jī)+ PLC可程式自動(dòng)化控制器(人機(jī) Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲(chǔ)存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?#216; 儲(chǔ)存能力記憶模組...
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機(jī)-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長(zhǎng):?jiǎn)纹角逑囱b置的優(yōu)點(diǎn)(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對(duì)應(yīng))例:附著粒子數(shù)…10個(gè)/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個(gè)/W2.藥液純水的消費(fèi)量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個(gè)客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強(qiáng)制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問(wèn)題   更多的半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體清洗解決方案。
發(fā)布時(shí)間: 2016 - 03 - 07
自動(dòng)供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng) 適用對(duì)象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng)設(shè)備型號(hào)CSE-CDS-N1507設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡(jiǎn)稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房?jī)?nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說(shuō)明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過(guò)濾器:配有10” PFA材質(zhì)過(guò)濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測(cè)器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶(自動(dòng)切換)、配兩臺(tái)泵(一用一備)、帶過(guò)濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動(dòng)化與親和力。在...
發(fā)布時(shí)間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機(jī)-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動(dòng)單片式腐蝕清洗機(jī)應(yīng)用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進(jìn)封裝等  設(shè) 備 名 稱CSE-單片清洗機(jī)類  型單片式適 用 領(lǐng) 域半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設(shè)備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時(shí)間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點(diǎn)1、單片處理時(shí)間短(相較于槽式清洗機(jī))2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠(yuǎn)低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu),占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體官網(wǎng),關(guān)注http://regal-bio.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時(shí)間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動(dòng)供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對(duì)象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動(dòng)化程度高,配比精確,操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn);具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設(shè)備型號(hào)CSE-CDS-N2601設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡(jiǎn)稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房?jī)?nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說(shuō)明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn);5. 過(guò)濾器:配有10” PFA材質(zhì)過(guò)濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺(tái)或者一臺(tái) PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測(cè)器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶(自動(dòng)切換)、配兩臺(tái)泵(一用一備)、帶過(guò)濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動(dòng)化...
新聞中心 新聞資訊

鍍膜后清洗機(jī)

時(shí)間: 2021-03-03
點(diǎn)擊次數(shù): 60

鍍膜后清洗機(jī)

一、入料→切液1→溶劑滾刷洗→切液2DI水噴淋洗→DI水超聲波清洗→DI

水滾刷洗→切液3BJ清洗→DI水噴淋洗→DI水沖洗→風(fēng)刀干燥→下片含

除靜電裝置

循環(huán)使用并溢流水方向:

DI水沖洗(可控制入水量1015L/Min范圍)DI水噴淋洗B(水箱)BJ

清洗(水箱)DI水滾刷洗(水箱)DI水噴淋洗A(水箱)→排水管

二、清洗工件規(guī)格及描述

基板尺寸:250mm×250mm(最小);650mm×650mm(最大)

基板厚度:0.41.1mm

ITO玻璃特征:玻璃表面已雙面鍍了ITO,經(jīng)本設(shè)備清洗后到需方的設(shè)備進(jìn)

行噴油()等表面處理.

三、設(shè)備的能力

輸送高度930±30mm百級(jí)間高度

工作寬度700mm(有效最大:650mm)

傳動(dòng)方式傘齒輪傳動(dòng)(外傳動(dòng))

輸送速度1~3m/min(變頻無(wú)級(jí)可調(diào))(客戶正常使用:2.5~3m/min)

輸送方向左進(jìn)右出

設(shè)備尺寸9615(長(zhǎng))1580()1300()(mm)(不含電控柜,風(fēng)柜)

四、耗用資源

總耗電量182KW

總耗氣量20003000NL/Min由客戶提供0.4MPa以上的潔凈壓縮空氣

純水耗量1015L/Min由客戶提供15兆以上純水

總抽氣量80M3/Min壓力≥750Pa由客戶提供抽風(fēng)系統(tǒng)

五、其它選項(xiàng)

()用電安全

1.設(shè)備采用三相380V,50HZ,并且設(shè)備接地.

2.設(shè)備電控柜總電源開關(guān)采用“三菱”漏電保護(hù)開關(guān).

()操作要求

1.人機(jī)界面采用“三菱”觸摸屏,方便操作及歷史故障查訊紀(jì)錄.

2.每組上下噴管壓力分別調(diào)整,以便到達(dá)最佳噴淋效果.

3.變頻器調(diào)速:傳動(dòng)系統(tǒng),滾刷裝置

4.每組風(fēng)刀均設(shè)計(jì)高度表示刻度.

5.設(shè)備的所有過(guò)濾系統(tǒng)分別有壓力顯示,以便觀察泵浦的工作情況及濾芯

的更換是否.

()電控系統(tǒng)

1.設(shè)備的入口設(shè)計(jì)感應(yīng)開關(guān)以便在超時(shí)間(按三分鐘設(shè)計(jì))無(wú)入片情況下加

熱、水泵、氣源等主要功能會(huì)停止達(dá)到省水、電設(shè)計(jì).

2.過(guò)溫保護(hù):噴淋液溫設(shè)計(jì)上限60

3.泵浦保護(hù):設(shè)計(jì)水箱低液保護(hù)

4.上下片端部分別設(shè)置急停開關(guān)、暫停、起動(dòng)開關(guān),方便在生產(chǎn)及保護(hù)設(shè)

,設(shè)備的中部設(shè)計(jì)急停開關(guān).

六、主要規(guī)格

1.滾軸間距:65mm(出料段為70mm、風(fēng)干段為:50mm)

2.機(jī)身結(jié)構(gòu)

機(jī)架材質(zhì):SUS304型材:50×50×σ2方管

槽體材料:SUS316L鋼板&=4mm

3.儲(chǔ)液箱

材質(zhì):SUS316L鋼板&=1.5mm

4.輸送滾輪

材質(zhì):SUS316L軸芯,輪面丁晴橡膠(滾刷段超聲段)表面無(wú)氣孔

SUS316L軸芯,入料噴淋風(fēng)切段采用UPE滾輪,風(fēng)刀干燥及出料

段采用UPE滾輪

滾輪規(guī)格:φ16㎜軸芯,外徑:φ32

5.傳動(dòng)齒輪:進(jìn)口藍(lán)色MC尼龍齒輪與鋼齒輪傳動(dòng)

6.主傳動(dòng)軸

材質(zhì):進(jìn)口軸承鋼

規(guī)格:φ20

7.管道系統(tǒng)

進(jìn)水管:1SUS316L鋼管

噴淋管:3/4SUS316L鋼管

排水管:1SUS304鋼管

總排水管:2.5SUS304鋼管排水口預(yù)留2.5〞內(nèi)牙接口

七、主要要求

1.PLC及觸摸屏使用日本三菱公司產(chǎn)品

2.溫控器使用歐姆龍公司產(chǎn)品

3.變頻器采用日本三菱品牌

4.氣缸,節(jié)流閥采用SMC產(chǎn)品.

5.電線采用深圳金龍羽防腐線纜防水布線

6.光電開關(guān)采用OMRON傳感器

7.三菱空氣開關(guān)帶30mA漏電保護(hù)采用'和泉'牌繼電器

8.SUS304不銹鋼機(jī)架,槽體材料SUS316L鋼板&=4mm,儲(chǔ)液箱材質(zhì)SUS316L

鋼板&=1.5mm電控箱材質(zhì)SUS304鋼板&=2mm所有儲(chǔ)液槽有液位標(biāo)識(shí)

9.總進(jìn)水配不銹鋼流量計(jì)流速可調(diào)

10.入料/出料

a)可排液到水箱

b)附緊急開關(guān)1組包括停止電機(jī)傳動(dòng)及啟動(dòng)

c)玻璃定位調(diào)節(jié)導(dǎo)向裝置(用于人工發(fā)片時(shí))。

d)出料位置安裝一組除去靜電裝置離子風(fēng)扇

11.切液1切液2和切液3

a)氣體溫度為常溫(切液1和切液2獨(dú)立用一臺(tái)風(fēng)機(jī)切液3用一臺(tái)

風(fēng)機(jī))

b)上下風(fēng)刀與玻璃行走方向成0°共六對(duì)。

c)保證能切去大部分藥液

12.滾刷

a)洗劑滾刷洗有6對(duì)滾刷和DI水滾刷有6對(duì)滾刷共12對(duì)

b)設(shè)置完善的噴淋水回流系統(tǒng)槽體呈錐形方便回收噴淋完的藥

c)藥液槽上方有漏斗加液

d)所有滾刷均由精密調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)上、下與玻璃壓緊量最大調(diào)節(jié)

5,上滾刷有百份表顯示相對(duì)高度需簡(jiǎn)單易懂

e)滾刷段的槽體強(qiáng)度必須有效加強(qiáng),為了加強(qiáng)滾刷段的槽體的強(qiáng)度,采用腔室內(nèi)加支撐桿防變形及利于維護(hù),支撐桿的直徑

16-20mm;腔體外部滾刷固定座處加裝4mm不銹鋼板或鋁板(目的

是加強(qiáng)整體強(qiáng)度和較少滾刷電機(jī)的振動(dòng)).

f)滾刷要求可以從清洗槽內(nèi)直接拆卸,滾刷兩端為聯(lián)軸方式。

g)滾刷毛加強(qiáng)確保品質(zhì)以防止對(duì)ITO膜層的劃傷.

h)滾刷電機(jī)和毛滾刷在公司做7天老化處理,以防止不良電機(jī)漏油、

品質(zhì)不良、不良毛滾刷出廠

i)毛刷滾的回轉(zhuǎn)數(shù)要能在50450rpm的范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整.

j)高度調(diào)整要在能夠單獨(dú)在一側(cè)進(jìn)行操作.

k)高度調(diào)整機(jī)構(gòu)本身左右兩側(cè)不能有高度差.

l)安裝要做成要不影響機(jī)械原點(diǎn)(±0.1mm以下)構(gòu)造安裝時(shí)也可

以采用相應(yīng)的治具定位塊等來(lái)輔助進(jìn)行.

m)采用“三菱”數(shù)顯式變頻器來(lái)調(diào)節(jié)滾刷轉(zhuǎn)速,可直接在觸摸屏上

設(shè)定及顯示轉(zhuǎn)速。

n)洗劑滾刷洗、DI水滾刷洗,4條滾刷為1臺(tái)變頻調(diào)速,共配置6

臺(tái)變頻器;

o)所有滾刷段前后均有壓滾軸。

13.壓力噴淋:

a)噴淋采用上下噴淋噴口角度可調(diào)噴淋壓力可調(diào)。

b)所有噴淋管采用SUS316L鋼管盡量減少使用水膠布,并且加強(qiáng)

加工噴嘴管牙的管理.

14.BJ清洗

a)設(shè)有氣體和液體壓力

15.DI水沖洗

a)設(shè)有電磁閥用不銹鋼流量計(jì)控制水閥入水

b)噴淋壓力和角度可調(diào)。

16.風(fēng)刀干燥

a)采用三對(duì)風(fēng)刀干燥系統(tǒng)

b)分風(fēng)器及風(fēng)量調(diào)節(jié)閥

c)有加熱裝置保證玻璃干燥不吸水

17.循環(huán)系統(tǒng)及過(guò)濾系統(tǒng)

a)美國(guó)“小巨人”磁力泵或者德國(guó)“威樂(lè)”泵附近管道需加強(qiáng)

固定

b)SUS316L材質(zhì)過(guò)濾器過(guò)濾器必須固定

c)所有泵浦吸入口均設(shè)有防止吸入碎玻璃、片狀物、條狀物粗過(guò)

濾頭

d)加強(qiáng)水泵附近的管路和過(guò)濾器的固定,防止頻繁的啟動(dòng)導(dǎo)致管

路松動(dòng)引起的漏水.

18.水槽

a)設(shè)人工和自動(dòng)補(bǔ)水功能

b)藥液槽可拆洗有液位標(biāo)識(shí)

c)儲(chǔ)液槽采用自動(dòng)補(bǔ)水有電磁閥控制有效防止液位晃動(dòng)對(duì)補(bǔ)

水控制閥的影響

d)水槽外置300,以便于對(duì)其清洗.

19.安全報(bào)警

a)無(wú)入片三分鐘情況下自動(dòng)待機(jī)產(chǎn)能統(tǒng)計(jì)、自/手動(dòng)切換功能

b)卡片、疊片、液位過(guò)高/低、溫度過(guò)高/低報(bào)警功能

c)I/O監(jiān)視系統(tǒng)可復(fù)位在報(bào)警解除后可對(duì)報(bào)警信息進(jìn)行刪除

20.電器

a)人機(jī)界面三菱10.4”彩色觸摸屏,觸摸屏控制采用“日本

三菱PLC可編程控制器控制全操作過(guò)程可實(shí)現(xiàn)手動(dòng)/自動(dòng)

切換操作可設(shè)置控制工藝參數(shù)可預(yù)存10套以上產(chǎn)品工藝

b)控制補(bǔ)液和加熱異常情況實(shí)現(xiàn)緊急停車并設(shè)置聲光報(bào)警設(shè)

備兩端設(shè)置急停按鈕和報(bào)警裝置程序不加密方便維護(hù)人員

檢查和監(jiān)視程序運(yùn)行溫度及超聲功率參數(shù)可調(diào)節(jié)和鎖定

c)控制按鈕有帶燈按鈕開關(guān)泵、電機(jī)、循環(huán)、加熱系統(tǒng)單獨(dú)開

關(guān)其狀態(tài)顯示在控制面板,獨(dú)立電控箱電路方面進(jìn)行功能

分塊強(qiáng)電、弱電分塊便于維護(hù)

d)各種電纜采用耐用防腐電纜防水管道布線預(yù)留足夠20%

長(zhǎng)度

e)使用SMC電磁閥

f)整機(jī)歐姆龍近接傳感器、溫控器、PT100溫度傳感器Idec

RUS-D24中間繼電器西門子、富士接觸器、斷路器接觸器

使用施耐德品牌各器件拆裝方便便於維修保養(yǎng)

g)所有控制信號(hào)全都入PLC進(jìn)行邏輯處理不得電器連線互鎖

信號(hào)線與電源線分線槽、屏蔽、隔離架空布線電氣圖詳細(xì)準(zhǔn)

與實(shí)物對(duì)應(yīng)清晰各器件、線徑、線號(hào)、交直流線路標(biāo)識(shí)

齊全使用固態(tài)繼電器進(jìn)行加熱控制(不是接觸器)各變頻器

RS485PLC通訊連接

h)各電器電路圖設(shè)計(jì)須經(jīng)雙方審核確認(rèn)

i)設(shè)備方向?yàn)樽筮M(jìn)右出,電器控制柜距離主設(shè)備左側(cè)<3米。

j)線槽設(shè)置在機(jī)架下部.

21.整機(jī)

a)管道盡可能實(shí)用焊接工業(yè)只是為了運(yùn)輸機(jī)器維修和運(yùn)輸方便的

部分才用法蘭連接

b)每個(gè)槽均設(shè)排液口也便維修清理排液口裝有可拆卸式不銹鋼

網(wǎng)防止零件脫落或玻璃進(jìn)入管道中堵塞管道

c)各器件拆裝方便便於維修保養(yǎng)整機(jī)所有信號(hào)均使用24VDC傳送

主機(jī)中電器均使用IP65以上防水

d)全不銹鋼電控柜。清洗機(jī)機(jī)身至少三處獨(dú)立接地(國(guó)標(biāo)阻抗)

e)設(shè)備為組合式結(jié)構(gòu),便于運(yùn)輸和安裝。

22.設(shè)備外罩:

a)門板采用透明PVC板。

b)蓋用用透明PVC板。

23.設(shè)備設(shè)有抽風(fēng)口

a)由客戶自行連接抽風(fēng)總管及抽風(fēng)總管,以減少設(shè)備產(chǎn)生的霧氣對(duì)設(shè)

備及環(huán)境的影響)。

b)設(shè)有單獨(dú)的排氣室作為緩沖區(qū)域,配有排氣閥1個(gè),水氣分溜器,風(fēng)量

調(diào)節(jié)閥.

24.主傳動(dòng)的軸承座要用可調(diào)節(jié)高低的軸承座,避免軸承憋壞和直線差.

25.風(fēng)干段的過(guò)濾系統(tǒng),杜絕因過(guò)濾器泄漏產(chǎn)生的灰、粉類異物.

26.主傳動(dòng)齒輪處加裝防護(hù)罩板

27.整體噪音控制在82dB以下。

28.主供水管上合理配置兩把手動(dòng)塑料噴槍(含網(wǎng)管),在最后一道為DI水沖

洗段加裝電導(dǎo)率表及流量計(jì).

八、設(shè)備各工藝段說(shuō)明

1.入料

一.規(guī)格

01工作長(zhǎng)度700

02管路DN40|

03排液到水箱

二.配置

01附緊急開關(guān)1組包括停止電機(jī)傳動(dòng)及啟動(dòng)

02三色指示燈顯示在控制柜上

03玻璃定位調(diào)節(jié)導(dǎo)向裝置(用于人工發(fā)片時(shí))

2.切液1、2

一.規(guī)格

01.工作長(zhǎng)度260㎜260

02.切液結(jié)構(gòu)

風(fēng)刀排列方式上下風(fēng)刀與玻璃行走方向成0

風(fēng)刀SUS316L4(兩對(duì))

高壓風(fēng)泵3.8KW1臺(tái)四把風(fēng)刀用一臺(tái)風(fēng)泵

過(guò)濾系統(tǒng)中效無(wú)隔板過(guò)濾器

配置調(diào)節(jié)閥

03.氣體溫度為常溫

04.能力:保證能切去大部份藥液

3.洗劑滾刷洗

01.工作長(zhǎng)度1730

02.噴淋結(jié)構(gòu)

噴嘴6504SUS316L傘型噴嘴

噴嘴壓力/流量0.61kg/cm2,0.65~0.91L/min

噴管材質(zhì)SUS316L14(上下各7)

壓力表使用壓力0~4.0kg/cm2

4個(gè)(上下各噴淋管各1個(gè),過(guò)

濾器前后各1個(gè))

噴嘴排列方式7/8只排列

噴嘴泵浦美國(guó)“小巨人”磁力泵1080W1臺(tái)

過(guò)濾系統(tǒng)20μ

過(guò)濾器250㎜×12(SUS316L材質(zhì))

水槽容量180L(設(shè)超溫保護(hù)及人工/自動(dòng)補(bǔ)水;水槽外貼帶鋁膜的

保溫棉,)

液位計(jì)H、L、LL

03.溫控系統(tǒng)

加熱器:8KW×3(SUS316L)

溫度控制E5CZQ2PT100溫度可調(diào)整可校正(設(shè)備最大使用

溫度:60)

04.滾刷裝置

滾刷馬達(dá)90W×6臺(tái)

滾刷轉(zhuǎn)數(shù)100~450±50轉(zhuǎn)/分種

滾刷輪美國(guó)“杜邦”尼龍絲NL66、φ0.10.15㎜規(guī)格

φ70×700(值毛式滾刷)

滾刷輪排列方式上、下對(duì)刷共12

驅(qū)動(dòng)方式聯(lián)軸器直連式

05.PH控制“GF”控制器+PH值過(guò)低或過(guò)高時(shí)均接入PLC,輸出報(bào)

警信號(hào).

4.DI水噴淋洗

一.規(guī)格

01.工作長(zhǎng)度390

02.噴淋結(jié)構(gòu)

噴嘴6504SUS316L傘型噴嘴

噴嘴壓力/流量1.53kg/cm2,1.1~1.31L/min

噴管材質(zhì)SUS316L4(上下各2)

壓力表使用壓力0~4.0kg/cm2

4個(gè)(上下各噴淋管各1個(gè),過(guò)

濾器前后各1個(gè))

噴嘴排列方式7/8只排列

噴嘴泵浦“威樂(lè)”不銹鋼泵750W1臺(tái)

過(guò)濾系統(tǒng)10μ

過(guò)濾器250㎜×11個(gè)(SUS316L材質(zhì))

水槽容量100L(設(shè)超溫保護(hù)及人工/自動(dòng)補(bǔ)水;水槽外貼帶鋁膜的

保溫棉,)

液位計(jì)H、L、LL

03.溫控系統(tǒng)

加熱器:8KW1(SUS316L)

溫度控制E5CZQ2PT100溫度可調(diào)整可校正(設(shè)備最大使用

溫度:60)

5.DI水超聲波清洗

一.規(guī)格

01.工作長(zhǎng)度910

02.超聲系統(tǒng)振板上下結(jié)構(gòu)安裝

震板規(guī)格460㎜×340㎜×110

震板材質(zhì)SUS304σ2

超聲功率1800W×4(HKD-1036P)

超聲頻率40KHZ

震板結(jié)構(gòu)震板內(nèi)粘超聲震子:24個(gè)/

數(shù)量:4

噴嘴泵浦“威樂(lè)”不銹鋼泵1.1KW1臺(tái)

過(guò)濾系統(tǒng)5μ

過(guò)濾器250㎜×51(SUS304材質(zhì))

水槽容量200L×1個(gè)

液位計(jì)HM、L

03.溫控系統(tǒng)

加熱器:8KW×2(SUS316)

溫度控制E5CZR2PT100溫度可調(diào)整可校正

6.DI水滾刷洗

01.工作長(zhǎng)度1730

02.噴淋結(jié)構(gòu)

噴嘴6504SUS316L傘型噴嘴

噴嘴壓力/流量0.61kg/cm2,0.65~0.91L/min

噴管材質(zhì)SUS316L14(上下各7)

壓力表使用壓力0~4.0kg/cm2

4個(gè)(上下各噴淋管各1個(gè),過(guò)

濾器前后各1個(gè))

噴嘴排列方式7/8只排列

噴嘴泵浦美國(guó)“小巨人”磁力泵1080W1臺(tái)

過(guò)濾系統(tǒng)5μ

過(guò)濾器250㎜×12(SUS316L材質(zhì))

水槽容量150L(設(shè)超溫保護(hù)及人工/自動(dòng)補(bǔ)水;水槽外貼帶鋁膜的

保溫棉,溢流到DI水噴淋洗

液位計(jì)H、L、LL

03.溫控系統(tǒng)

加熱器:8KW(SUS316L)

溫度控制E5CZQ2PT100溫度可調(diào)整可校正(設(shè)備最大使用

溫度:60)

04.滾刷裝置

滾刷馬達(dá)90W×12臺(tái)

滾刷轉(zhuǎn)數(shù)100~450±50轉(zhuǎn)/分種

滾刷輪美國(guó)“杜邦”尼龍絲NL66、φ0.10.15㎜規(guī)格

φ70×700(值毛式滾刷)

滾刷輪排列方式上、下對(duì)刷共12

驅(qū)動(dòng)方式聯(lián)軸器直連式

7.切液3

一.規(guī)格

01.工作長(zhǎng)度260

03.切液結(jié)構(gòu)

風(fēng)刀排列方式上下風(fēng)刀與玻璃行走方向成0

風(fēng)刀SUS316L2(一對(duì))

高壓風(fēng)泵1.5KW1臺(tái)

過(guò)濾系統(tǒng)中效無(wú)隔板過(guò)濾器

配置調(diào)節(jié)閥

03.氣體溫度為常溫

04.能力:保證能切去大部份藥液

8.BJ清洗(二流體噴淋洗)

一.規(guī)格

01.工作長(zhǎng)度390

02.噴淋結(jié)構(gòu)

噴嘴“裕盛”SUS316LSS6010YS二流體傘型噴嘴

噴嘴壓力/流量(液體)2.04.0kg/cm2,1~2L/min

噴嘴壓力/流量(氣體)2.04.0kg/cm2,36~52L/min

噴管材質(zhì)SUS316L4(上下各二條)

壓力表(液體)使用壓力0~6.0kg/cm2

4個(gè)(上下各噴淋管各1

個(gè),過(guò)濾器前后各1個(gè))

壓力表(氣體)使用壓力0~6.0kg/cm2

1個(gè)

噴嘴排列方式間隔50㎜一個(gè),每條噴管14,28個(gè)

噴嘴泵浦“威樂(lè)”不銹鋼泵1500W1臺(tái)(泵浦壓力大于4.0

kg/cm2

過(guò)濾系統(tǒng)(液體)1μ

過(guò)濾器(液體)250㎜×11(SUS316L材質(zhì))

過(guò)濾系統(tǒng)(氣體)由客戶提供潔凈壓縮空氣,設(shè)備本身配SMC調(diào)壓

閥、SMC油物分離器、SMC主過(guò)濾器.

水槽容量100L(設(shè)人工和自動(dòng)補(bǔ)水,水槽外貼帶鋁膜的保溫棉)

液位計(jì)H、L、LL

03.溫控系統(tǒng)

加熱器:8KW(SUS304)

溫度控制E5CZQ2PT100溫度可調(diào)整可校正(設(shè)備最大使用

溫度:60)

9.DI水噴淋洗

一.規(guī)格

01.工作長(zhǎng)度585

02.噴淋結(jié)構(gòu)

噴嘴6504SUS316L傘型噴嘴

噴嘴壓力/流量1.01.5kg/cm2,1~1.3L/min

噴管材質(zhì)SUS316L8(上下各4)

壓力表使用壓力0~4.0kg/cm2

4個(gè)(上下各噴淋管各1個(gè),過(guò)

濾器前后各1個(gè))

噴嘴排列方式7/8只排列

噴嘴泵浦“威樂(lè)”不銹鋼泵1080W1臺(tái)(泵浦壓力大于2.0

kg/cm2)

過(guò)濾系統(tǒng)1μ

過(guò)濾器250㎜×11個(gè)(SUS316L材質(zhì))

水槽容量100L(設(shè)人工和自動(dòng)補(bǔ)水,水槽外貼帶鋁膜的保溫棉,

溢流到BJ清洗段)

液位計(jì)H、L、LL

03.溫控系統(tǒng)

加熱器:8KW(SUS304)

溫度控制E5CZQ2PT100溫度可調(diào)整可校正(設(shè)備最大使用

溫度:60)

10.DI水沖洗

一.規(guī)格

01.工作長(zhǎng)度390

02.噴淋結(jié)構(gòu)

噴嘴6503SUS316L傘型噴嘴

噴嘴壓力/流量0.51kg/cm2,0.43~0.68L/min

噴管材質(zhì)SUS316L4(上下各2)

壓力表使用壓力0~4.0kg/cm2

2個(gè)

噴嘴排列方式7/8只排列

噴嘴泵浦“威樂(lè)”不銹鋼泵750W1臺(tái)(泵浦壓力大于2.0

kg/cm2)

過(guò)濾系統(tǒng)0.1μ

過(guò)濾器250㎜×11個(gè)(SUS316L材質(zhì))

水槽容量100L(設(shè)人工和自動(dòng)補(bǔ)水,且溢流到DI水噴淋洗B)

配置:流量計(jì)和電導(dǎo)率表

11.風(fēng)刀干燥

一.規(guī)格

01.工作長(zhǎng)度960

02.切液結(jié)構(gòu)

風(fēng)刀排列方式前兩對(duì)風(fēng)刀與玻璃行走方向成25~30.后一對(duì)風(fēng)

刀與玻璃行走方向成0

高壓風(fēng)機(jī)5.5KW1臺(tái)3.8KW1臺(tái)

風(fēng)刀SUS316L6

加熱功率1.5KW1

過(guò)濾系統(tǒng)初、高效過(guò)濾器(配風(fēng)柜,烘干室凈化度要求100

級(jí)0.3μ)風(fēng)柜使用SUS304鋼板1

配置:分風(fēng)器及風(fēng)量調(diào)節(jié)閥

12.下片(含除靜電裝置)(百級(jí)間內(nèi))

一.規(guī)格

01.工作長(zhǎng)度1050

二.配置

01.附緊急開關(guān)1組包括停止電機(jī)傳動(dòng)及啟動(dòng)

02.入料口加裝一塊透明板300mm寬。


Copyright ©2005 - 2013 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
犀牛云提供企業(yè)云服務(wù)
華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址:中國(guó)江蘇南通如皋高新區(qū)桃金東路90號(hào)
電話:0513-87733829
Email:xzl1019@aliyun.com
regal-bio.cn

傳真:0513-87733829
郵編:226500


X
1

QQ設(shè)置

3

SKYPE 設(shè)置

4

阿里旺旺設(shè)置

2

MSN設(shè)置

5

電話號(hào)碼管理

  • 400-8798-096
6

二維碼管理

8

郵箱管理

展開