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濕法制程整體解決方案提供商

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發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領域,濕法設備占據約40%以上的工藝,隨著工藝技術的不斷發(fā)展,濕法設備已經成為LED外延及芯片制造領域的關鍵設備,如SPM酸清洗、有機清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產工藝,現已形成可滿足LED產業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標準成套設備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機設備 設備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機設備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應用領域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進封裝等專有技術系統(tǒng)潔凈性技術均勻性技術晶圓片N2干燥技術模塊化系統(tǒng)集成技術自動傳輸及精確控制技術溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術主要技術特點系統(tǒng)結構緊湊、安全腔體獨立密封,具有多種功能可實現晶圓干進干出采用工控機控制,功能強大,操作簡便可根據用戶要求提供個性化解決方案設備制造商華林科納(江蘇)半導體設備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(regal-bio.cn),現在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費的半導體行業(yè)相關清洗設備解決方案。
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
旋轉式噴鍍臺結合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應用要求等特點,在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉噴鍍技術傾斜式旋轉噴鍍單元分由兩個部分組成,一為陰極夾具、旋轉單元、導線電刷、N2 保護單元組成的陰極回轉體,二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉噴鍍結構示意圖如下:從鍍制結構方式、鍍制工藝應用分析可以看出,采用傾斜式旋轉噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結構方式易實現槽體密封和附加N2 保護功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉運動使槽內電場不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進行鍍液噴射,實現攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結構方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產需求。傾斜旋轉噴鍍技術、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結構本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結構,鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進行相關模擬、仿真和驗證,鍍液入口采用扇形噴咀式結構,可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結構的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉噴鍍方法進行晶圓電鍍工藝處理,由于結構上的特點,該方法經實驗驗證具有:①結構簡單;②工藝參數控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產并在工藝線上得到較好的應用,產品已通過技術定型鑒定和用戶驗收。實現的主要工藝指標:最...
發(fā)布時間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機1. 應用范圍:l 本機臺適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設備為垂直式雙槽體機臺,可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統(tǒng)設計, 高穩(wěn)定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機臺內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長:單片式清洗裝置的優(yōu)點(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數非常少(到25nm可對應)例:附著粒子數…10個/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據每個客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設備相關信息可以關注華林科納CSE官網(www.hlkncas.com),現在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J健⒆詣涌刂颇J皆O備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N1507設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內:酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內部管路及組件采PFA 451 HP 材質;4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動單片式腐蝕清洗機應用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應用領域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進封裝等  設 備 名 稱CSE-單片清洗機類  型單片式適 用 領 域半導體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短(相較于槽式清洗機)2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結構,占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關設備可以關注華林科納(江蘇)半導體官網,關注http://regal-bio.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送,經管道至設備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J健⒆詣涌刂颇J?#160;設備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設備型號CSE-CDS-N2601設計基準1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設置于化學房內:酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房;3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材,內部管路及組件采PFA 451 HP 材質;4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關;8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設備主要功能:每種化學液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化...
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用于生物傳感應用的納米材料

時間: 2021-02-26
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生物傳感器裝置由其生物或受生物啟發(fā)的受體單元定義,對相應的分析物具有獨特的特異性。這些分析物通常具有生物學起源,例如細菌或病毒的DNA或從被感染或受污染的生物體的免疫系統(tǒng)(抗體,抗原)產生的蛋白質。當具有特定特異性的生物受體單元可用時,此類分析物也可以是簡單的分子,例如葡萄糖或污染物。生物傳感器開發(fā)中的許多其他挑戰(zhàn)之一是生物識別事件(轉導)的有效信號捕獲。這種換能器將分析物與生物元素的相互作用轉化為電化學,電化學發(fā)光,磁,重量或光學信號。為了增加靈敏度并降低甚至單個分子的檢測限,納米材料是有希望的候選物,因為它有可能以減小的體積固定增加量的生物受體單元,甚至自身充當轉導元件。在此類納米材料中,對金納米顆粒,半導體量子點,聚合物納米顆粒,碳納米管,納米金剛石和石墨烯進行了深入研究。由于該研究領域的巨大發(fā)展,本文以非窮盡的方式總結了納米材料的優(yōu)勢,重點關注的是納米物體,這些物體比“僅僅”增加表面積提供了更多的有益特性。納米材料是有希望的候選物,因為它有可能以減小的體積固定更多數量的生物受體單元,甚至可以自己充當轉導元件。在此類納米材料中,對金納米顆粒,半導體量子點,聚合物納米顆粒,碳納米管,納米金剛石和石墨烯進行了深入研究。由于該研究領域的巨大發(fā)展,本文以非窮盡的方式總結了納米材料的優(yōu)勢,重點關注的是納米物體,這些物體比“僅僅”增加表面積提供了更多的有益特性。納米材料是有希望的候選物,因為它有可能以減小的體積固定更多數量的生物受體單元,甚至可以自己充當轉導元件。在此類納米材料中,對金納米顆粒,半導體量子點,聚合物納米顆粒,碳納米管,納米金剛石和石墨烯進行了深入研究。由于該研究領域的巨大發(fā)展,本文以非窮盡的方式總結了納米材料的優(yōu)勢,重點關注的是納米物體,這些物體比“僅僅”增加表面積提供了更多的有益特性。

介紹

像在許多不同的技術領域一樣,納米材料已經證明了其在生物傳感應用中的適用性。此類納米物體的智能使用顯著提高了性能,同時提高了靈敏度并降低了幾個數量級的檢測極限。所有納米材料的一個普遍優(yōu)勢是高比表面,因此已經能夠固定數量增加的生物受體單元。然而,持續(xù)的挑戰(zhàn)之一是用于將生物特異性實體緊密結合到此類納米材料上的固定策略。因此,用于固定酶的技術是開發(fā)可靠的生物傳感器的關鍵因素之一。

在參考文獻中總結了納米材料生物功能化的有效方法(PutzbachRonkainen2013年)。簡而言之,非共價方法代表了納米材料與生物實體之間的靜電相互作用,π-π堆積,聚合物中的陷獲或范德華力。這些原則保留了納米材料和生物分子的所有特定特性。

共價結合:將共價生物分子附著到納米材料上的策略在表面功能化的穩(wěn)定性和可重復性方面具有優(yōu)勢,并降低了非特異性的物理吸附。共價鍵可以例如通過經典的酰胺偶聯(lián)反應,交聯(lián)或點擊化學形成。一個缺點是生物分子的不受控制的錨定會影響負責識別事件的域。

通過超分子或配位相互作用固定生物分子:這項技術近年來在將生物物種結合到表面上已獲得廣泛認可。在生物傳感器工程領域中使用的最著名的例子是生物素/抗生物素蛋白(或抗生蛋白鏈菌素)系統(tǒng)(Wilchek and Bayer1988)。生物素化的生物分子可以通過親和素(或抗生蛋白鏈菌素)橋連接到生物素化的底物。已經報道了其他親和系統(tǒng),如次氮基三乙酸(NTA/ Cu 2+ /組氨酸復合物(Haddour等,2005)或宿主-客體系統(tǒng)金剛烷/β-環(huán)糊精(Holzinger等,2009)。)。與其他固定方法相比,此類系統(tǒng)的優(yōu)勢是可逆性,從而可以重新生成換能器元件。此外,所有功能部件(例如功能化換能器表面和修飾的生物受體)都可以單獨表征,以確保所構建生物傳感器的可重復性。

根據化學成分,幾乎所有的納米材料都可以通過直接官能化(在某些情況下已經在合成過程中)或通過涂覆功能性聚合物而不影響其特定性能而具備適當的功能(Biju,2014年)。這種功能化不僅允許生物受體單元的可再現固定,而且還可以提高這些材料的生物相容性。

生物傳感設備中的一個特殊問題是識別事件無法通過使用的轉導技術直接檢測到。親和性生物傳感器就是這種情況,例如抗原與其抗體之間的免疫反應或相應的DNA鏈雜交。在此,必須使用經過標記修飾的其他生物特異性成分(二級抗體或DNA鏈),以進行光學或電化學轉導。某些納米材料的特定特性顯然有助于“無標記”轉導技術的發(fā)展,或者在用作標記時有助于清晰的信號放大。

金納米顆粒

在貴金屬納米粒子組中,金納米粒子由于其生物相容性,其光學和電子特性以及相對簡單的生產和修飾而最常用于生物傳感器應用(Li等,2010a)(Biju,2014年)。

特別令人感興趣的是金表面的光學行為,其中一種特定波長的光照射會引起導帶中電子的振蕩,這被稱為共振表面等離子體激元。當粒徑遠小于入射波長時,振蕩電子將無法沿表面?zhèn)鞑?,就像經典表面等離子體共振(SPR)裝置那樣。然后,電子密度在粒子的一側極化,在該一側,等離子體激元與光頻率發(fā)生共振振蕩(圖1)。這種現象用米氏理論(Mulvaney1996;Hao等,2004)描述,并且強烈依賴于納米粒子的大小,形狀和環(huán)境的介電常數(Kelly等,2002)。這種環(huán)境依賴性對于(生物)分析而言是一個巨大的優(yōu)勢,因為識別事件可能導致振蕩頻率發(fā)生變化,從而導致肉眼可觀察到的金納米顆粒的顏色發(fā)生變化。在這種情況下,開發(fā)了一系列有效的比色生物傳感器用于DNA或寡核苷酸檢測或免疫傳感器(Reynolds等,2000Oldenburg等,2002LiuLu,2004;Xu等,2009)。

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