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發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造領(lǐng)域,濕法設(shè)備占據(jù)約40%以上的工藝,隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展,濕法設(shè)備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。華林科納(江蘇)CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝,現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項目需求的全自動濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)成套設(shè)備。 LED 芯片的制造工藝流程為:外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應(yīng)用領(lǐng)域集成電路、聲表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進(jìn)封裝等專有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨立密封,具有多種功能可實現(xiàn)晶圓干進(jìn)干出采用工控機(jī)控制,功能強(qiáng)大,操作簡便可根據(jù)用戶要求提供個性化解決方案設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798-096可立即獲取免費的半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)清洗設(shè)備解決方案。
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺結(jié)合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應(yīng)用要求等特點,在6" (150mm)晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個部分組成,一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導(dǎo)線電刷、N2 保護(hù)單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體,二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下:從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應(yīng)用分析可以看出,采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護(hù)功能。二是在這種鍍制工藝中,陰極的旋轉(zhuǎn)運動使槽內(nèi)電場不均問題得以解決,從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式,可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進(jìn)行鍍液噴射,實現(xiàn)攪拌功能,消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設(shè)計最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu),鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行,可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進(jìn)行相關(guān)模擬、仿真和驗證,鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu),可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點可使電鍍液的用量減至最少程度。 華林科納(江蘇)CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進(jìn)行晶圓電鍍工藝處理,由于結(jié)構(gòu)上的特點,該方法經(jīng)實驗驗證具有:①結(jié)構(gòu)簡單;②工藝參數(shù)控制容易;③有利氣泡的消除;④鍍制均勻性得到提高;⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應(yīng)于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝,同時可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng),目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應(yīng)用,產(chǎn)品已通過技術(shù)定型鑒定和用戶驗收。實現(xiàn)的主要工藝指標(biāo):最...
發(fā)布時間: 2016 - 06 - 22
雙腔甩干機(jī)1. 應(yīng)用范圍:l 本機(jī)臺適用於半導(dǎo)體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺,可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進(jìn)行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設(shè)備已超過20年以上的應(yīng)用馬達(dá)控制系統(tǒng)設(shè)計, 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨(jìng)設(shè)計,微塵控制於每次運轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機(jī)臺內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達(dá): DC無刷馬達(dá)750Wl 真空負(fù)壓軸封設(shè)計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(hù)(加熱器空燒保護(hù))l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關(guān)90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨,並做動態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統(tǒng)l  控制器操作介面: 7”記憶人機(jī)+ PLC可程式自動化控制器(人機(jī) Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?#216; 儲存能力記憶模組...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
枚葉式清洗機(jī)-華林科納CSE華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長:單片式清洗裝置的優(yōu)點(與浸漬.槽式比較)1.晶片表面的微粒數(shù)非常少(到25nm可對應(yīng))例:附著粒子數(shù)…10個/W以下(0.08UM以上粒子)(參考)槽式200個/W2.藥液純水的消費量少藥液…(例)1%DHF的情況  20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size(根據(jù)每個客戶可以定制) 液體濺射(塵埃強(qiáng)制除去)  (推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題   更多的半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(www.hlkncas.com),現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096;18913575037可立即獲取免費的半導(dǎo)體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
自動供酸系統(tǒng)(CDS)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-CDS自動供酸系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能。控制模式:手動控制模式、自動控制模式設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-CDS自動供酸系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N1507設(shè)計基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化與親和力。在...
發(fā)布時間: 2018 - 01 - 23
單片清洗機(jī)-華林科納CSESingle wafer cleaner system華林科納(江蘇)CSE-自動單片式腐蝕清洗機(jī)應(yīng)用于清洗(包括光刻板清洗)刻蝕 去膠 金屬剝離等;可處理晶圓尺寸2'-12';可處理晶圓材料:硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等;主要應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路   聲表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先進(jìn)封裝等  設(shè) 備 名 稱CSE-單片清洗機(jī)類  型單片式適 用 領(lǐng) 域半導(dǎo)體、太陽能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸設(shè)備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量:1L/min/片4、蝕刻均一性良好(SiO?氧化膜被稀釋HF處理):≤2%5、干燥時間:≤20S6、藥液回收率:>95%單片式優(yōu)點1、單片處理時間短(相較于槽式清洗機(jī))2、節(jié)約成本(藥液循環(huán)利用,消耗量遠(yuǎn)低于槽式)3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu),占地面積小 更多的單片(枚葉)式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體官網(wǎng),關(guān)注http://regal-bio.cn ,400-8768-096,18913575037
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
氫氟酸HF自動供液系統(tǒng)-華林科納(江蘇)CSEChemical Dispense System System 華林科納(江蘇)半導(dǎo)體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送,經(jīng)管道至設(shè)備;具有自動化程度高,配比精確,操作簡便等特點;具有良好的耐腐蝕性能??刂颇J剑菏謩涌刂颇J?、自動控制模式 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-氫氟酸(HF)供液系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N2601設(shè)計基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)(Chemical Dispense System System)簡稱:CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi):酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房;3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材,內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì);4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點;5. 過濾器:配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼;6. 供液泵:每種化學(xué)液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān);8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能:每種化學(xué)液體配兩個桶(自動切換)、配兩臺泵(一用一備)、帶過濾器;系統(tǒng)控制單元:配帶OMRON 8”彩色觸摸屏,OMRON品牌PLC系統(tǒng);2. 操作模式: CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制,操作介面以流程方式執(zhí)行,兼具自動化...
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硅行業(yè)專業(yè)術(shù)語(上)

時間: 2016-03-23
點擊次數(shù): 330

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Acceptor - An element,such as boron,indium,and gallium used to create a free hole in a semiconductor.The acceptor atoms are required to have one less valence electron than the semiconductor.
受主——一種用來在半導(dǎo)體中形成空穴的元素,比如硼、銦和鎵。受主原子必須比半導(dǎo)體元素少一價電子。?

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Alignment Precision - Displacement of patterns that occurs during the photolithography process.
套準(zhǔn)精度——在光刻工藝中轉(zhuǎn)移圖形的精度。?

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Anisotropic - A process of etching that has very little or no undercutting
各向異性——在蝕刻過程中,只做少量或不做側(cè)向凹刻。?


Area Contamination - Any foreign particles or material that are found on the surface of a wafer. This is viewed as discolored or smudged, and it is the rest of stains, fingerprints, water spots, etc.
沾污區(qū)域——任何在晶圓片表面的外來粒子或物質(zhì)。由沾污、手印和水滴產(chǎn)生的污染。?

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Azimuth, in Ellipsometry - The angle measured between the plane of incidence and the major axis of the ellipse.
橢圓方位角——測量入射面和主晶軸之間的角度。?

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Backside - The bottom surface of a silicon wafer. (Note: This term is not preferred; instead, use ‘back surface’.)
背面——晶圓片的底部表面。(注:不推薦該術(shù)語,建議使用“背部表面”)?

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Base Silicon Layer - The silicon wafer that is located underneath the insator layer, which supports the silicon film on top of the wafer.
底部硅層——在絕緣層下部的晶圓片,是頂部硅層的基礎(chǔ)。?

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Bipolar - Transistors that are able to use both holes and electrons as charge carriers.
雙極晶體管——能夠采用空穴和電子傳導(dǎo)電荷的晶體管。?

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Bonded Wafers - Two silicon wafers that have been bonded together by silicon dioxide, which acts as an insating layer.
綁定晶圓片——兩個晶圓片通過二氧化硅層結(jié)合到一起,作為絕緣層。?

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Bonding Interface - The area where the bonding of two wafers occurs.
綁定面——兩個晶圓片結(jié)合的接觸區(qū)。?

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Buried Layer - A path of low resistance for a current moving in a device. Many of these dopants are antimony and arsenic.
埋層——為了電路電流流動而形成的低電阻路徑,攙雜劑是銻和砷。?

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Buried?Oxide?Layer?(BOX)?-?The?layer?that?ins*不良詞語

*ates between the two wafers.
氧化埋層(BOX)——在兩個晶圓片間的絕緣層。?

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Carrier - Valence holes and conduction electrons that are capable of carrying a charge through a solid surface in a silicon wafer.
載流子——晶圓片中用來傳導(dǎo)電流的空穴或電子。?

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Chemical-Mechanical Polish (CMP) - A process of flattening and polishing wafers that utilizes both chemical removal and mechanical buffing. It is used during the fabrication process.
化學(xué)-機(jī)械拋光(CMP)——平整和拋光晶圓片的工藝,采用化學(xué)移除和機(jī)械拋光兩種方式。此工藝在前道工藝中使用。?

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Chuck Mark - A mark found on either surface of a wafer, caused by either a robotic end effector, a chuck, or a wand.
卡盤痕跡——在晶圓片任意表面發(fā)現(xiàn)的由機(jī)械手、卡盤或托盤造成的痕跡。?

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Cleavage Plane - A fracture plane that is preferred.
解理面——破裂面?

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Crack - A mark found on a wafer that is greater than 0.25 mm in length.
裂紋——長度大于0.25毫米的晶圓片表面微痕。?

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Crater - Visible under diffused illumination, a surface imperfection on a wafer that can be distinguished individually.
微坑——在擴(kuò)散照明下可見的,晶圓片表面可區(qū)分的缺陷。?

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Conductivity (electrical) - A measurement of how easily charge carriers can flow throughout a material.
傳導(dǎo)性(電學(xué)方面)——一種關(guān)于載流子通過物質(zhì)難易度的測量指標(biāo)。?

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Conductivity Type - The type of charge carriers in a wafer, such as “N-type” and “P-type”.
導(dǎo)電類型——晶圓片中載流子的類型,N型和P型。?

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Contaminant,?Partic*不良詞語

*ate (see light point defect)
污染微粒(參見光點缺陷)?

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Contamination Area - An area that contains particles that can negatively affect the characteristics of a silicon wafer.
沾污區(qū)域——部分晶圓片區(qū)域被顆粒沾污,造成不利特性影響。?

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Contamination?Partic*不良詞語*ate?-?Particles?found?on?the?surface?of?a?silicon?wafer.?
沾污顆?!A片表面上的顆粒。?

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Crystal Defect - Parts of the crystal that contain vacancies and dislocations that can have an impact on a circuit’s electrical performance.
晶體缺陷——部分晶體包含的、會影響電路性能的空隙和層錯。

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Crystal Indices (see Miller indices)
晶體指數(shù)(參見米勒指數(shù))?

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Depletion Layer - A region on a wafer that contains an electrical field that sweeps out charge carriers.
耗盡層——晶圓片上的電場區(qū)域,此區(qū)域排除載流子。?

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Dimple - A concave depression found on the surface of a wafer that is visible to the eye under the correct lighting conditions.
表面起伏——在合適的光線下通過肉眼可以發(fā)現(xiàn)的晶圓片表面凹陷。?

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Donor - A contaminate that has donated extra “free” electrons, thus making a wafer “N-Type”.
施主——可提供“自由”電子的攙雜物,使晶圓片呈現(xiàn)為N型。?

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Dopant - An element that contributes an electron or a hole to the conduction process, thus altering the conductivity. Dopants for silicon wafers are found in Groups III and V of the Periodic Table of the Elements.
攙雜劑——可以為傳導(dǎo)過程提供電子或空穴的元素,此元素可以改變傳導(dǎo)特性。晶圓片攙雜?劑可以在元素周期表的III和V族元素中發(fā)現(xiàn)。?

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Doping - The process of the donation of an electron or hole to the conduction process by a dopant.
摻雜——把攙雜劑摻入半導(dǎo)體,通常通過擴(kuò)散或離子注入工藝實現(xiàn)。

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Edge Chip and Indent - An edge imperfection that is greater than 0.25 mm.
芯片邊緣和縮進(jìn)——晶片中不完整的邊緣部分超過0.25毫米。?

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Edge Exclusion Area - The area located between the fixed quality area and the periphery of a wafer. (This varies according to the dimensions of the wafer.)
邊緣排除區(qū)域——位于質(zhì)量保證區(qū)和晶圓片外圍之間的區(qū)域。(根據(jù)晶圓片的尺寸不同而有所不同。)?

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Edge Exclusion, Nominal (EE) - The distance between the fixed quality area and the periphery of a wafer.
名義上邊緣排除(EE)——?質(zhì)量保證區(qū)和晶圓片外圍之間的距離。?

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Edge Profile - The edges of two bonded wafers that have been shaped either chemically or mechanically.
邊緣輪廓——通過化學(xué)或機(jī)械方法連接起來的兩個晶圓片邊緣。

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Etch - A process of chemical reactions or physical removal to rid the wafer of excess materials.
蝕刻——通過化學(xué)反應(yīng)或物理方法去除晶圓片的多余物質(zhì)。?

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Fixed Quality Area (FQA) - The area that is most central on a wafer surface.
質(zhì)量保證區(qū)(FQA)——晶圓片表面中央的大部分。?

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Flat - A section of the perimeter of a wafer that has been removed for wafer orientation purposes.
平邊——晶圓片圓周上的一個小平面,作為晶向定位的依據(jù)。

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Flat Diameter - The measurement from the center of the flat through the center of the wafer to the opposite edge of the wafer. (Perpendicar to the flat)
平口直徑——由小平面的中心通過晶圓片中心到對面邊緣的直線距離。?

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Four-Point Probe - Test equipment used to test resistivity of wafers.
四探針——測量半導(dǎo)體晶片表面電阻的設(shè)備。?

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Furnace and Thermal Processes - Equipment with a temperature gauge used for processing wafers. A constant temperature is required for the process.
爐管和熱處理——溫度測量的工藝設(shè)備,具有恒定的處理溫度。

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Front Side - The top side of a silicon wafer. (This term is not preferred; use front surface instead.)
正面——晶圓片的頂部表面(此術(shù)語不推薦,建議使用“前部表面”)。?

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Goniometer - An instrument used in measuring angles.
角度計——用來測量角度的設(shè)備。?

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Gradient, Resistivity (not preferred; see resistivity variation)
電阻梯度(不推薦使用,參見“電阻變化”)?

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Groove - A scratch that was not completely polished out.
凹槽——沒有被完全清除的擦傷。?

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Hand Scribe Mark—A marking that is hand scratched onto the back surface of a wafer for identification purposes.
?手工印記——為區(qū)分不同的晶圓片而手工在背面做出的標(biāo)記。
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