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?設備概述
華林科納CSE硅片有機清洗機，設備設計由華林科納聘請的從事半導體生產(chǎn)的專家親自指導，采用國際先進的生產(chǎn)加工工藝，在超凈廠房組裝測試，有可靠的質(zhì)量保障。設備由不銹鋼骨架，外包10mm厚瓷白防火PP板，潔凈美觀，耐腐蝕。電控面板置于機臺上方，方便操作，并有防腐蝕保護，具有嚴格的安全防護措置。此設備腐蝕清洗裝置主要是浸泡式清洗腐蝕、清洗主體(槽體部分/管路部分等),抽風系統(tǒng)，電控及操作臺等部分組成，腐蝕漂洗能力強,性能穩(wěn)定,安全可靠。適用于4、6、8英寸硅片的清洗處理，腐蝕漂洗能力強,性能穩(wěn)定,安全可靠。
設備結(jié)構(gòu)
??? ※?此設備腐蝕清洗裝置主要由水平通過式腐蝕、清洗主體(槽體部分/管路部分等),抽風系統(tǒng),機械臂，電控及操作臺等部分組成;
??? ※?設備工藝流程:根據(jù)設備所放場地布置要求(與客戶溝通確定),設備左進右出，經(jīng)手動放置上料位→AB清洗槽→AB清洗槽→DI沖水槽→HCL清洗槽→DI溢流槽→下料臺，工藝處理合格后經(jīng)操作人員手動下料;
??? ※?安全門：進口優(yōu)質(zhì)透明PVC活動門（左右、上下推拉式），防止有毒氣體揮發(fā)到室內(nèi)，保證設備外部環(huán)境符合勞動保護的相關標準，以保證設備操作人員及其周圍工作人員的身體健康；
?? ?※?提籃設計精巧，槽體間轉(zhuǎn)移時將殘留液體降到最低；
?? ?※?機械臂采用絲杠平穩(wěn)控制方式,提籃不會晃動;
??? ※?提升重量不大于15KG;
??? ※?機械臂的定位精度高;
??? ※?機械手單獨急停開關、系統(tǒng)急停開關和機械手電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全。
??? ※?機械臂的橫向移動和縱向提升均采用日本進口伺服電機，閉環(huán)控制，定位精度≤1.0mm，?可靠性高；采用圓導軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動，機械臂升降部及懸臂部均用噴塑及?PP包裹，確保機械臂壽命；
設備主要技術(shù)參數(shù)
??? ※?設備外形尺寸(參考)3200mm(長)?×1500?mm?(寬)?×2000?mm?(高)
??? ※?外殼：德國進口10mm磁白色NPP板
??? ※?骨架：50*25?SUS方管，外包3mmNPP板；
??? ※?排風：位于機臺后部；
??? ※?管路系統(tǒng)：位于機臺后方，?DIW管路及構(gòu)件采用進口clean-PVC管材，滿足18MW去離子水水質(zhì)要求；
??? ※?有機械手自動從上料位抓取花籃，自動完成清洗工藝到下料位，手動取出；
??? ※?防漏裝置：具有藥液漏夜在線監(jiān)測裝置；
??? ※?電源（用戶提供）：380VAC±10％頻率50HZ±10%；
??? ※?整機額定電功率(參考)：?5KW;
?? ?※?電氣性能:E級,并有良好的接地;
?? ?※?DI水:壓力2-3KG/C㎡,流量2m3/hr(max),電阻率18M;
?? ?※?氣源：N2（用戶提供）：0.5～0.7Mpa,流量：200L/MIN；;
??? ※?排氣管路：PVDF??Φ150×2??排量30m3/min??負壓150Pa??調(diào)節(jié)風閥?PVDF
??? ※?環(huán)境要求:空氣溫度5—30?℃?;相對濕度:80%
電器控制
??? ※?采用優(yōu)質(zhì)進口日本歐姆龍PLC可編程控制器控制全操作過程，可手動操作，方便工藝操作時間的修改；
??? ※?人機界面為觸摸屏，接口中有手動操作、故障報警、安全保護等功能，各工作位過程完成提前提示報警，觸摸屏選用優(yōu)質(zhì)進口日本歐姆龍產(chǎn)品；
??? ※?觸摸屏加鎖定，以防非授權(quán)人員修改或設定參數(shù)；
??? ※?設備照明：設備其它部位--低電壓燈，根據(jù)工作需要可控照明；
??? ※?設備的主機、附件及所有附屬設施應采取設備安全防護措施，具有防止意外斷氣、斷電后，維持工作構(gòu)件正確位置等安全保護措施及裝置；
??? ※?設備整體采取人性化設計，方便操作；并裝有漏電保護和聲光報警提示裝置，保證性能安全可靠；
??? ※?電控部分導線采用耐高溫、耐腐蝕的專用導線，電氣控制部分內(nèi)部還通有壓縮空氣保護，可防水耐腐蝕；
??? ※?設備所有處于腐蝕腔中的線纜均通過PE管進行保護，免受腐蝕；
?? ?※?所有的電控系統(tǒng)均裝有漏電保護器件，并有可靠的接地裝置及緊急關機和報警系統(tǒng)；
??? ※?設備具有良好的接地裝置；
??? ※?配有獨立的配電箱，電路方面進行功能分塊，強電、弱電分塊，以便于維護；
安全防護
??? ※?設備照明：設備配有照明燈；
??? ※?設備整體采取人性化設計，方便操作；并裝有漏電、防火保護和設備漏液、故障等聲光報警提示裝置，保證性能安全可靠；
?? ?※?在設備的適當位置裝有急停按鈕，按下時各工位停止工作，以滿足安全需要；
?? ?※?設備所有處于腐蝕腔中的線纜均通過PE管進行保護，免受腐蝕；
??? ※?所有的電控系統(tǒng)均裝有漏電保護器件，并有可靠的接地裝置及緊急關機和報警系統(tǒng)；
??? ※?配有獨立的配電箱，電路方面進行功能分塊，強電、弱電分塊，以便于維護；
技術(shù)保障
??? ※?系統(tǒng)結(jié)構(gòu)采用國外典型處理方法,保證系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的合理性和適應性；
??? ※?設備禁止在工藝進行時打開安全門，如果安全門打開工藝停止；
??? ※?廢氣處理不達標或排風達不到設定的排風流量時，藥液自動排掉，片子放在DIW水中，防止片子腐蝕過度；
??? ※?設備有故障時，自動停止工藝，等故障排除，工藝重新開始；
??? ※?儲液槽液位過低，系統(tǒng)自動報警，提示補液；
??? ※?藥液槽液位或配比不能滿足工藝要求時，設備報警，并停止工藝，直至達到要求；
??? ※?在設備運行時禁止打開電控柜，防止觸電；
??? ※?結(jié)構(gòu)采用潔凈化處理技術(shù),可達到國外同類產(chǎn)品水平；
??? ※?采用國外進口元器件及專業(yè)廠家產(chǎn)品；
??? ※?國產(chǎn)元器件采用國內(nèi)專業(yè)廠家生產(chǎn)和經(jīng)證實質(zhì)量優(yōu)質(zhì)的高性能元件；
??? ※?華林科納設備的設計、生產(chǎn)、制造均采用ISO9001和軍工質(zhì)量管理體系保證；
??? ※?華林科納設備出廠前都經(jīng)過嚴格的滲漏檢查。
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