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濕法制程整體解決方案提供商

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發(fā)布時間: 2016 - 06 - 22
晶片凸點(diǎn)電鍍設(shè)備-華林科納(江蘇)CSE 傳統(tǒng)的IC器件是硅圓片在前工序加工完畢后,送到封裝廠進(jìn)行減薄、劃片、引線鍵合等封裝工序。但無論是雙列直插封裝(DIP),還是四邊引線扁平封裝(QFP),封裝后的體積都比芯片本身體積大很多倍。由于手機(jī)等便攜式裝置的體積很小,所以要求器件的體積越小越好,像有300多個引出端的液晶顯示器(LCD)驅(qū)動電路,必須采用WLP的芯片尺寸封裝(CSP)。有些特殊的高頻器件,為了減小引線電感的影響,要求從芯片到外電路之間的引線越短越好。在這些情況下,華林科納的工程師采用了芯片尺寸封裝(CSP),方法之一就是在芯片的引出端上制作凸焊點(diǎn),例如金凸點(diǎn)、焊料凸點(diǎn)、銦凸點(diǎn),然后直接倒裝焊在相應(yīng)的基板上。  更多晶圓電鍍設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備官網(wǎng)regal-bio.cn;現(xiàn)在咨詢400-8768-096,18913575037可立即免費(fèi)獲取華林科納CSE提供的晶圓電鍍設(shè)備的相關(guān)方案
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 08
IPA干燥設(shè)備-華林科納CSE華林科納(江蘇)CSE-IPA干燥設(shè)備主要用于材料加工 太陽能電池片 分立器件 GPP等行業(yè)中晶片的沖洗干燥工藝,單臺產(chǎn)量大,效率高設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-IPA干燥設(shè)備應(yīng)用范圍適用于2-8”圓片及方片動平衡精度高規(guī)格工藝時間: 一般親水性晶圓片: ≤10 增加 @ 0.12 μm疏水性晶圓片: ≤30 增加 @ 0.12 μm金屬含量: 任何金屬≤ 1?1010 atoms / cm2 增加干燥斑點(diǎn): 干燥后無斑點(diǎn)IPA 消耗量: ≤ 30 ml / run 設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ;18913575037IPA 干燥系統(tǒng)組成: IPA干燥工藝原理 01: IPA干燥工藝原理 02:更多的IPA干燥系統(tǒng)設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢0513- 87733829可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體清洗解決方案。
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
刻蝕方法分為:干法刻蝕和濕法刻蝕,干法刻蝕是以等離子體進(jìn)行薄膜刻蝕的技術(shù),一般是借助等離子體中產(chǎn)生的粒子轟擊刻蝕區(qū),它是各向異性的刻蝕技術(shù),即在被刻蝕的區(qū)域內(nèi),各個方向上的刻蝕速度不同,通常Si3N4、多晶硅、金屬以及合金材料采用干法刻蝕技術(shù);濕法刻蝕是將被刻蝕材料浸泡在腐蝕液內(nèi)進(jìn)行腐蝕的技術(shù),這是各向同性的刻蝕方法,利用化學(xué)反應(yīng)過程去除待刻蝕區(qū)域的薄膜材料,通常SiO2采用濕法刻蝕技術(shù),有時金屬鋁也采用濕法刻蝕技術(shù)。下面分別介紹各種薄膜的腐蝕方法流程:二氧化硅腐蝕:在二氧化硅硅片腐蝕機(jī)中進(jìn)行,腐蝕液是由HF、NH4F、與H2O按一定比例配成的緩沖溶液。腐蝕溫度一定時,腐蝕速率取決于腐蝕液的配比和SiO2摻雜情況。摻磷濃度越高,腐蝕越快,摻硼則相反。SiO2腐蝕速率對溫度最敏感,溫度越高,腐蝕越快。具體步驟為:1、將裝有待腐蝕硅片的片架放入浸潤劑(FUJI FILM DRIWEL)中浸泡10—15S,上下晃動,浸潤劑(FUJI FILM DRIWEL)的作用是減小硅片的表面張力,使得腐蝕液更容易和二氧化硅層接觸,從而達(dá)到充分腐蝕;2、將片架放入裝有二氧化硅腐蝕液(氟化銨溶液)的槽中浸泡,上下晃動片架使得二氧化硅腐蝕更充分,腐蝕時間可以調(diào)整,直到二氧化硅腐蝕干凈為止;3、沖純水;4、甩干。二氧化硅腐蝕機(jī)理為:SiO2+4HF=SiF4+2H2OSiF4+2HF=H2SiF6H2SiF6(六氟硅酸)是可溶于水的絡(luò)合物,利用這個性質(zhì)可以很容易通過光刻工藝實(shí)現(xiàn)選擇性腐蝕二氧化硅。為了獲得穩(wěn)定的腐蝕速率,腐蝕二氧化硅的腐蝕液一般用HF、NH4F與純水按一定比例配成緩沖液。由于基區(qū)的氧化層較發(fā)射區(qū)的厚,以前小功率三極管的三次光刻(引線孔光刻)一般基極光刻和發(fā)射極光刻分步光刻,現(xiàn)在大部分都改為一步光刻,只有少部分品種還分步光刻,比如2XN003,2XN004,2XN013,2XP013等...
發(fā)布時間: 2016 - 03 - 07
設(shè)備名稱:高溫磷酸清洗機(jī)設(shè)備型號:CSE-SZ2011-16整機(jī)尺寸:約2800mm(L)×1200mm(w)×1900mm(H)節(jié)拍:根據(jù)實(shí)際工藝時間可調(diào)清洗量:批量清洗時,采用提籃裝片,單次清洗圓片的數(shù)量要求如下2"外延片,每次不少于1藍(lán),每籃不少于25片4"外延片,每次不少于1藍(lán),每籃不少于20片6"外延片,每次不少于1藍(lán),每籃不少于20片框架材料:優(yōu)質(zhì)10mm瓷白PP板機(jī)殼,優(yōu)質(zhì)碳鋼骨架,外包3mmPP板防腐機(jī)臺底部:廢液排放管路,防漏液盤結(jié)構(gòu)機(jī)臺支腳:有滑輪裝置及固定裝置,并且通過可調(diào)式地腳,可高低調(diào)整及鎖定功能DIW上水管路及構(gòu)件采用日本積水CL-PVC管材,排水管路材質(zhì)為PP管排風(fēng):位于機(jī)臺后上部工作照明:上方防酸型照明臺面板為優(yōu)質(zhì)10mmPP板(帶有圓形漏液孔,清除臺面殘留液體)附件:水、氣槍左右各兩套控制方式:PROFACE/OMRON + 三菱、OMRON 品牌 PLC 組合控制;安全保護(hù)裝置:      ●設(shè)有EMO(急停裝置),       ●強(qiáng)電弱點(diǎn)隔離      ●設(shè)備三層防漏  托盤傾斜   漏液報警  設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi)臺面布置圖:各槽工藝參數(shù)
發(fā)布時間: 2017 - 12 - 06
芯片鍍金設(shè)備-華林科納(江蘇)CSE   晶圓電鍍工藝在半導(dǎo)體、MEMS、LED 和 WL package 等領(lǐng)域中應(yīng)用非常廣泛。華林科納(江蘇)的晶圓電鍍設(shè)備針對這些應(yīng)用研發(fā)和生產(chǎn)的,對所有客戶提供工藝和設(shè)備一體化服務(wù)。產(chǎn)品分生產(chǎn)型和研發(fā)型兩大類,適合不同客戶的需求。 設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-芯片鍍金設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體、MEMS、LED操作模式:PLC集成控制具體應(yīng)用:電鍍、電鑄工藝類型:電鍍Au,Cu,Ni,Sn,Ag晶圓尺寸:8inch或以下尺寸,單片或多片基本配置:操作臺(1套),主電鍍槽(2套),腐蝕槽(2套),清洗(1套)設(shè)備功能和特點(diǎn)(不同電鍍工藝配置有所差異) 1. 產(chǎn)品名稱:芯片鍍金設(shè)備 2. 產(chǎn)品系列:CSE-XL3. 晶圓尺寸:4-6inch. 4. 集成控制系統(tǒng),內(nèi)置MST-MP-COTROL程序 5. 主體材料:勞士領(lǐng)PP 6. 四面溢流設(shè)計 7. 溫度控制系統(tǒng):70+/-1C 8. 循環(huán)過濾出系統(tǒng),流量可調(diào)。 9. 垂直噴流掛鍍操作。 10. 專用陰陽極 11. 陰極擺動裝置,頻率可調(diào)。 12. 陽極均化裝置。 13. 防氧化系統(tǒng)。 14. 充N2裝置。 15. 排風(fēng)操作臺,風(fēng)量可調(diào)。 16. 活化腐蝕系統(tǒng)。 17. 三級清洗系統(tǒng)。 18. 電鍍液體系:均為無氰電鍍液體系。 19. 工藝:表面均勻,厚度1-100um,均勻性5% 設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn 400-8768-096 ;18913575037更多晶圓電鍍設(shè)備可以關(guān)注華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備官網(wǎng)w...
發(fā)布時間: 2017 - 04 - 06
異質(zhì)結(jié)高效電池(HJT、HIT)制絨清洗設(shè)備—華林科納CSE 設(shè)備用途: 對高效太陽能電池異質(zhì)結(jié)電池片進(jìn)行制絨、清洗設(shè)備工藝流程:l  H2O2工藝:SC1處理→純水清洗→去損傷→純水清洗→制絨→純水清洗→純水清洗→PSC1→純水清洗→化學(xué)拋光(HNO3)→純水清洗→SC2處理→純水清洗→氫氟酸洗→純水清洗→預(yù)脫水→烘干l  O3工藝:預(yù)清洗(O3)→純水清洗→去損傷→純水清洗→制絨→純水清洗→純水清洗→PSC1→純水清洗→化學(xué)拋光(O3)→純水清洗→SC2處理→純水清洗→氫氟酸洗→純水清洗→預(yù)脫水→烘干技術(shù)特點(diǎn):l  兼容MES、UPS和RFID功能l  機(jī)械手分配合理,有效避免藥液交叉污染和槽體反應(yīng)超時l  結(jié)構(gòu)布局緊湊合理并且采用雙層槽結(jié)構(gòu),設(shè)備占地空間小l  先進(jìn)的400片結(jié)構(gòu),有效提高設(shè)備工藝產(chǎn)能l  工藝槽體采用“定排定補(bǔ)”模式和“時間補(bǔ)液”模式相結(jié)合,有效延長藥液使用壽命和減少換液周期l  補(bǔ)配液采用槽內(nèi)與補(bǔ)液罐雙磁致伸縮流量計線性檢測,以及可調(diào)節(jié)氣閥控流結(jié)構(gòu),有效保證初配時間和微量精補(bǔ)配液的精度l  所有與液體接觸材料優(yōu)化升級,避免材料使用雜質(zhì)析出l  采用最新低溫烘干技術(shù),保證槽內(nèi)潔凈度和溫度控制精度技術(shù)參數(shù):l  設(shè)備尺寸(mm):26600(L)*2800(W)*2570(H)l  Uptime:≥95%l  破片率:≤0.05%l  MTTR:4hl  MTBF:450hl  產(chǎn)能:6000pcs/hl  功率消耗:398KW更多異質(zhì)結(jié)高效電池制絨清洗相關(guān)設(shè)備,可以關(guān)注網(wǎng)址:http://regal-bio.cn,熱線:400-8768-096,18913575037
發(fā)布時間: 2016 - 12 - 05
單腔立式甩干機(jī)-華林科納CSE華林科納(江蘇)CSE-單腔立式甩干機(jī)系統(tǒng)應(yīng)用于各種清洗和干燥工藝設(shè)備名稱華林科納(江蘇)CSE-單腔立式甩干機(jī)優(yōu)    點(diǎn) 清洗系統(tǒng)應(yīng)用于各種清洗和干燥工藝 不同配置(可放置臺面操作的設(shè)備、單臺獨(dú)立、雙腔) 適用于晶圓尺寸至200mm 最佳的占地,設(shè)備帶有滾輪可移動 優(yōu)越的可靠性 獨(dú)特的模塊化結(jié)構(gòu) 極其便于維修 易于使用和操作一般特征 適用于晶圓直徑至200mm 25片晶圓單盒工藝 標(biāo)準(zhǔn)的高邊和低邊花籃 可選內(nèi)置電阻率檢測傳感器來控制晶圓的清洗工藝 用冷或熱的N2輔助晶圓干燥 離心頭容易更換 圖形化的界面: 基于PLC的彩色5.7“的觸摸屏 可以編輯10多個菜單,每個菜單可有10步 多等級用戶密  去靜電裝置安裝于工藝腔室區(qū) 去離子水回收 電阻率監(jiān)測裝置 機(jī)械手自動加載 可放置臺面操作的設(shè)備、單臺獨(dú)立、雙腔 SECS/GEM 去離子水加熱系統(tǒng) 底座置放不銹鋼滾輪 溶劑滅火裝置 適用特殊設(shè)計的花籃設(shè)備制造商華林科納(江蘇)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 regal-bio.cn 0513-87733829;更多的單腔立式甩干機(jī)設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)(regal-bio.cn),現(xiàn)在熱線咨詢400-8798096可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體清洗解決方案。
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添加時間: 2020 - 08 - 29
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8月29日,由行業(yè)知名企業(yè)華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司主辦的的泛半導(dǎo)體濕法培訓(xùn)會議在江蘇如皋順利召開。此次會議聚集了包括磬允電子科技有限公司總經(jīng)理羅仕洲、第三代半導(dǎo)體聯(lián)盟秘書長陸敏、深圳市益普科技有限公司總經(jīng)理張心誠、旭有機(jī)材商貿(mào)有限公司董事長李禮明等12位半導(dǎo)體行業(yè)知名專家以及行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)代表分享最新的半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展趨勢分析以及相關(guān)技術(shù)經(jīng)驗培訓(xùn)會開幕時,第三代半導(dǎo)體聯(lián)盟秘書長陸敏以及華林科納CEO...
添加時間: 2019 - 04 - 10
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3月22日,為期3天的SEMICON China 2019上海電子展正式落下帷幕,展會最后一天,展臺內(nèi)依舊人頭攢動,熱鬧非凡。眾多客商對華林科納的濕制程設(shè)備、閥門器件表示出濃厚的興趣,紛紛駐足觀看,交流研究。作為濕制程設(shè)備專業(yè)制造商,在展會期間,華林科納吸引了一波又一波的商客前來參觀,現(xiàn)場高漲的人氣無不在彰顯著華林科納的品牌實(shí)力。3月21日,華林科納在SEMICON China 2019 展會結(jié)束...
添加時間: 2016 - 04 - 26
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添加時間: 2018 - 03 - 26
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SEMICON China是中國首屈一指的半導(dǎo)體旗艦展覽,每年吸引全球高數(shù)量和高質(zhì)量的觀眾到場參觀,包括企業(yè)高層領(lǐng)導(dǎo)人、采購商和投資人、技術(shù)工程師、中央及產(chǎn)業(yè)發(fā)展熱點(diǎn)地區(qū)政府官員,是業(yè)界公認(rèn)的會見新老供應(yīng)商,洽談生意,獲取最新產(chǎn)品、技術(shù)和解決方案的首要平臺。華林科納CSE再次參加了2018年SEMICON China展會,展會期間參展了公司四大系列產(chǎn)品,其產(chǎn)品優(yōu)勢吸引了眾多知名企業(yè)領(lǐng)導(dǎo)蒞臨參觀,其...
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